La caractérisation des films minces optiques comprend la caractérisation des propriétés optiques, des paramètres optiques et des propriétés non optiques. Ces propriétés se réfèrent principalement à la réflectance spectrale, à la transmittance et à la perte optique (perte d'absorption et perte de réflexion). La transmittance et la réflectance sont les propriétés optiques les plus fondamentales des films minces optiques ; leur test constitue donc la technique de test de base. Les paramètres optiques des films minces optiques comprennent l'indice de réfraction, le coefficient d'absorption et l'épaisseur du film. En raison de l'écart stœchiométrique des composants du film mince optique préparé par le procédé, la structure n'est plus homogène et dense, mais présente des microstructures et divers défauts. La couche diélectrique n'est plus totalement transparente, l'absorption est faible, l'indice de réfraction présente une hétérogénéité spatiale et une anisotropie de phase, et le film n'est plus une interface infinie et lisse. Plus important encore, lors du processus de préparation, les paramètres du film ont un impact considérable sur ses paramètres optiques. Leur confirmation en temps réel est donc cruciale. De plus, en tant que dispositif utilisé dans un environnement réel, le film mince optique doit répondre aux exigences optiques. De nombreuses autres caractéristiques non optiques importantes influencent son utilisation, telles que l'adhérence, la contrainte, la dureté, la rugosité de surface et la résistance aux conditions environnementales. Il est donc essentiel de mesurer avec précision tous les paramètres ou caractéristiques qui influencent l'utilisation des dispositifs à couches minces.
La transmittance et la réflectance des couches minces sont principalement testées à l'aide d'analyseurs spectraux. Ces analyseurs se répartissent en spectrophotomètres UV-Vis, spectrophotomètres infrarouges et spectromètres de Fourier infrarouges, selon les différentes bandes de test. Les deux premiers utilisent le principe de la spectroscopie spectrale, tandis que le second repose sur le principe de l'analyse spectrale interférentielle. En raison des différentes structures géométriques et formes des couches minces, les mesures de transmittance et de réflectance, quelles que soient leur forme, leur précision ou leurs exigences de polarisation, peuvent nécessiter des méthodes et techniques de test différentes.
–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua
Date de publication : 03/11/2023