La ligne de revêtement adopte une structure modulaire permettant d'agrandir la chambre en fonction des exigences de procédé et d'efficacité. Elle peut être revêtue des deux côtés, ce qui est à la fois flexible et pratique. Équipée d'un système de nettoyage ionique, d'un système de chauffage rapide et d'un système de pulvérisation cathodique magnétron CC, elle permet de déposer efficacement des revêtements métalliques simples. L'équipement offre une vitesse de rotation rapide, un serrage pratique et un rendement élevé.
La ligne de revêtement est équipée d'un système de nettoyage ionique et de cuisson à haute température, pour une meilleure adhérence du film déposé. La pulvérisation cathodique à petit angle avec cible rotative est idéale pour le dépôt du film sur la surface intérieure des petites ouvertures.
1. L'équipement a une structure compacte et une petite surface au sol.
2. Le système de vide est équipé d'une pompe moléculaire pour l'extraction de l'air, à faible consommation d'énergie.
3. Le retour automatique du support de matériaux permet d'économiser de la main d'œuvre.
4. Les paramètres du processus peuvent être tracés et le processus de production peut être surveillé dans l'ensemble du processus pour faciliter le suivi des défauts de production.
5. La ligne de revêtement bénéficie d'un haut degré d'automatisation. Elle peut être utilisée avec un manipulateur pour relier les processus avant et arrière et réduire les coûts de main-d'œuvre.
Il peut remplacer l'impression de pâte d'argent dans le processus de fabrication des condensateurs, avec une efficacité supérieure et un coût inférieur.
Il est applicable au Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn et autres métaux simples. Il est largement utilisé dans les composants électroniques semi-conducteurs, tels que les substrats céramiques, les condensateurs céramiques, les supports céramiques pour LED, etc.