مشخصهیابی لایه نازک نوری شامل مشخصهیابی خواص نوری، پارامترهای نوری و خواص غیر نوری است. خواص نوری عمدتاً به خواص بازتاب طیفی، عبور و اتلاف نوری (افت جذب و اتلاف بازتاب) لایه نازک نوری اشاره دارد. عبور و انعکاس اساسیترین خواص نوری لایههای نازک نوری هستند، بنابراین آزمایش عبور و انعکاس لایه نازک، تکنیک اصلی آزمایش برای لایههای نازک نوری است. پارامترهای نوری لایه نازک نوری شامل ضریب شکست، ضریب جذب و ضخامت لایه لایه نازک نوری است. به دلیل انحراف استوکیومتری در اجزای ماده لایه نازک نوری تهیه شده توسط فرآیند واقعی، ساختار دیگر همگن و متراکم نیست، بلکه ریزساختارها و نقصهای مختلفی وجود دارد، لایه لایه دیالکتریک دیگر کاملاً شفاف نیست و جذب ضعیفی دارد، در حالی که عدم یکنواختی فضایی و ناهمسانگردی فازی در ضریب شکست لایه وجود دارد و لایه دیگر یک سطح مشترک نامحدود و صاف نیست. مهمتر از همه، در فرآیند آمادهسازی واقعی، پارامترهای فرآیند آمادهسازی فیلم تأثیر بسیار زیادی بر پارامترهای نوری فیلم دارند، بنابراین تأیید پارامترهای نوری فیلم در زمان واقعی بسیار حیاتی است. علاوه بر این، فیلم نازک نوری به عنوان وسیلهای که در محیط واقعی استفاده میشود، علاوه بر ویژگیهای نوری دستگاه، باید الزامات را برآورده کند، بسیاری از ویژگیهای غیر نوری مهم دیگر نیز بر استفاده از فیلم تأثیر میگذارند، مانند چسبندگی فیلم، تنش فیلم، سختی فیلم و زبری سطح و توانایی فیلم در مقاومت در برابر محیط و غیره. بنابراین، اندازهگیری دقیق تمام پارامترها یا ویژگیهای مختلفی که بر استفاده از دستگاههای فیلم نازک تأثیر میگذارند، مهم است.
عبور و بازتاب لایههای نازک عمدتاً با استفاده از آنالیزورهای تست طیفی آزمایش میشوند. آنالیزورهای طیفی برای آزمایش لایههای نوری را میتوان بر اساس باندهای مختلف آزمایش به طیفسنجهای UV-Vis، طیفسنجهای مادون قرمز و طیفسنجهای فوریه مادون قرمز تقسیم کرد. دو مورد اول از اصل طیفسنجی طیفی برای سیستم تجزیه و تحلیل و آزمایش استفاده میکنند، و مورد دوم بر اساس اصل سیستم تجزیه و تحلیل طیفی تداخلی است. با توجه به ساختارها و شکلهای هندسی مختلف دستگاههای لایه نازک، اگرچه همه اندازهگیریهای عبور و بازتاب انجام میشود، اما برای اشکال مختلف، دقت متفاوت یا الزامات قطبش متفاوت، ممکن است به روشها و تکنیکهای آزمایش متفاوتی نیاز باشد.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید کننده دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: نوامبر-03-2023