Requisitos ambientales para equipos de recubrimiento al vacío

Desdeequipo de recubrimiento al vacíoPara trabajar al vacío, el equipo debe cumplir con los requisitos ambientales de vacío. Las normas industriales para diversos tipos de equipos de recubrimiento al vacío, formuladas en mi país (incluidas las condiciones técnicas generales para equipos de recubrimiento al vacío, equipos de recubrimiento iónico al vacío, equipos de recubrimiento por pulverización catódica al vacío y equipos de recubrimiento por evaporación al vacío), estipulan claramente los requisitos ambientales. Solo cumpliendo con los requisitos ambientales, el equipo de recubrimiento al vacío puede funcionar con normalidad y, con un proceso de recubrimiento correcto, se pueden producir productos de recubrimiento de calidad.

Los requisitos del entorno de vacío generalmente incluyen los requisitos del equipo de vacío para el entorno circundante, como la temperatura del laboratorio (o taller), la escasa humedad del aire y los requisitos de las piezas o superficies en estado de vacío o en vacío. Estos dos aspectos están estrechamente relacionados. La calidad del entorno afecta directamente el uso normal del equipo de vacío, y la limpieza de la cámara de vacío o de las piezas cargadas en ella afecta directamente su rendimiento. Si el aire contiene mucho vapor de agua y polvo, y la cámara de vacío no se ha limpiado, es difícil alcanzar el grado de vacío deseado utilizando una bomba mecánica sellada con aceite para bombear aire. Como es sabido, las bombas mecánicas selladas con aceite no son adecuadas para bombear gases corrosivos para los metales, químicamente reactivos al aceite de vacío y que contengan polvo particulado. El vapor de agua es un gas condensable. Cuando la bomba bombea una gran cantidad de gas condensable, la contaminación del aceite de la bomba será más grave. Como resultado, el vacío final de la bomba caerá y se destruirá el rendimiento de bombeo de la bomba.

Las condiciones normales de trabajo de los equipos de recubrimiento al vacío son:

① Temperatura ambiente 10~30℃;

② La humedad relativa no supera el 70%;

③ La temperatura de entrada del agua de refrigeración no es superior a 25 °C;

4 Calidad del agua de refrigeración Agua del grifo de la ciudad o agua de calidad equivalente;

⑤Voltaje de alimentación: 380 V, trifásico 50 Hz o 220 V, monofásico 50 Hz (según las necesidades de los aparatos eléctricos utilizados), rango de fluctuación de voltaje 342 ~ 399 V o 198 ~ 231 V, rango de fluctuación de frecuencia 49 ~ 51 Hz;

⑥La presión, la temperatura y el consumo deben indicarse en el manual de instrucciones del producto;

⑦ El entorno alrededor del equipo está limpio y el aire es limpio, y no debe haber polvo o gas que puedan provocar corrosión superficial de los aparatos eléctricos y otras partes metálicas o provocar conducción eléctrica entre metales.

Además, el laboratorio o taller donde se ubica el equipo de recubrimiento al vacío debe mantenerse limpio e higiénico. El suelo es de terrazo o madera pintada, libre de polvo. Para evitar que el gas descargado por la bomba mecánica contamine el ambiente del laboratorio, se puede utilizar en el puerto de escape de la bomba. Instale un tubo de escape (metálico o de goma) en la superficie para descargar el gas al exterior.