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Línea de producción de recubrimiento de semiconductores de doble cara horizontal

  • Recubrimiento por pulverización catódica horizontal de doble cara
  • Aplicable a productos de la industria de semiconductores.
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    producto

    DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO

    La línea de recubrimiento adopta una estructura modular que permite ampliar la cámara según los requisitos del proceso y la eficiencia, y permite el recubrimiento por ambas caras, lo que resulta flexible y práctico. Equipada con un sistema de limpieza iónica, un sistema de calentamiento rápido y un sistema de pulverización catódica con magnetrón de CC, deposita eficientemente un recubrimiento metálico simple. El equipo ofrece una velocidad de agitación rápida, una sujeción cómoda y una alta eficiencia.

    La línea de recubrimiento está equipada con un sistema de limpieza iónica y horneado a alta temperatura, lo que mejora la adhesión de la película depositada. La pulverización catódica de ángulo pequeño con objetivo giratorio facilita la deposición de la película en la superficie interna de aberturas pequeñas.

    1. El equipo tiene una estructura compacta y una superficie pequeña.
    2. El sistema de vacío está equipado con bomba molecular para extracción de aire, con bajo consumo energético.
    3. El retorno automático del material del estante ahorra mano de obra.
    4. Se pueden rastrear los parámetros del proceso y se puede monitorear el proceso de producción en todo el proceso para facilitar el seguimiento de los defectos de producción.
    5. La línea de recubrimiento cuenta con un alto grado de automatización. Se puede utilizar con el manipulador para conectar los procesos frontal y posterior y reducir el costo de mano de obra.

    Puede reemplazar la impresión con pasta de plata en el proceso de fabricación de condensadores, con mayor eficiencia y menor costo.
    Es aplicable a Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn y otros metales simples. Se utiliza ampliamente en componentes electrónicos semiconductores, como sustratos cerámicos, condensadores cerámicos, soportes cerámicos para LED, etc.

    La máquina se puede diseñar según los requisitos del cliente. Obtenga una cotización

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