Verdampfungsbeschichtungsanlagen dienen zum Aufbringen dünner Schichten auf Substratoberflächen und finden breite Anwendung in der optischen und elektronischen Industrie sowie bei dekorativen Beschichtungen. Bei der Verdampfungsbeschichtung werden feste Materialien hauptsächlich durch hohe Temperaturen in den gasförmigen Zustand überführt und anschließend unter Vakuum auf dem Substrat abgeschieden. Das Funktionsprinzip von Verdampfungsbeschichtungsanlagen ist wie folgt:
Vakuumumgebung:
Die Arbeit mit Aufdampfbeschichtungsgeräten muss in einer Hochvakuumumgebung durchgeführt werden, um zu verhindern, dass das Material während der Aufdampfung mit Sauerstoff oder anderen Verunreinigungen in der Luft reagiert, und um die Reinheit des abgeschiedenen Films sicherzustellen.
Die Vakuumkammer erreicht das erforderliche Vakuumniveau durch Geräte wie mechanische Pumpen und Diffusionspumpen.
Verdunstungsquelle:
Eine Verdampfungsquelle ist ein Gerät zum Erhitzen und Verdampfen des Beschichtungsmaterials. Gängige Verdampfungsquellen sind Widerstandsheizquellen, Elektronenstrahlverdampfungsquellen und Laserverdampfungsquellen.
Widerstandserhitzung: Erhitzen des Materials durch einen Widerstandsdraht, um es zu verdampfen.
Elektronenstrahlverdampfung: Mithilfe einer Elektronenkanone wird ein Elektronenstrahl ausgesendet, um das beschichtete Material direkt zu erhitzen und es so zum Verdampfen zu bringen.
Laserverdampfung: Bestrahlen Sie das Material mit einem energiereichen Laserstrahl, um es schnell verdampfen zu lassen.
Verdampfungsprozess:
Das beschichtete Material wird durch die hohe Temperatur der Verdampfungsquelle vom festen oder flüssigen in den gasförmigen Zustand überführt, wobei Dampf entsteht.
Diese Dampfmoleküle bewegen sich in einer Vakuumumgebung frei und diffundieren in alle Richtungen.
Filmabscheidung:
Dampfmoleküle treffen auf die gekühlte Oberfläche des Substrats, während sie sich bewegen, kondensieren und ablagern und einen dünnen Film bilden.
Um die Gleichmäßigkeit und Konsistenz des Films sicherzustellen, kann das Substrat gedreht oder auf andere Weise gleichmäßig der Dampfumgebung ausgesetzt werden.
Abkühlen und Aushärten:
Nach der Abscheidung kühlt der Film ab und härtet auf der Substratoberfläche aus, wobei sich eine dünne Filmschicht mit spezifischen physikalischen und chemischen Eigenschaften bildet.
Anwendungsgebiete
Optische Beschichtung: Wird zur Herstellung von Antireflexfolien, Spiegeln, Filtern und anderen optischen Komponenten verwendet.
Elektronische Geräte: werden zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen, Halbleiterbauelementen, Anzeigegeräten usw. verwendet.
Dekorative Beschichtungen: werden zur Oberflächenbeschichtung von Dekorationen, Uhren, Schmuck usw. verwendet, um deren Ästhetik und Verschleißfestigkeit zu verbessern.
Funktionale Beschichtungen: werden zur Herstellung von Filmen mit besonderen Funktionen wie Korrosionsschutz, Oxidationsschutz und Verschleißfestigkeit verwendet.
Aufgrund ihrer hohen Reinheit, Gleichmäßigkeit und Multifunktionalität wird die Verdampfungsbeschichtungstechnologie häufig in zahlreichen hochpräzisen und anspruchsvollen Anwendungen eingesetzt.
–Dieser Artikel wurde veröffentlicht vonHersteller von VakuumbeschichtungsanlagenGuangdong Zhenhua
Beitragszeit: 23. Juli 2024