Die Leistung verschiedener Vakuumpumpen unterscheidet sich neben der Fähigkeit, Vakuum in die Kammer zu pumpen, auch in anderen Bereichen. Daher ist es bei der Auswahl sehr wichtig, die von der Pumpe im Vakuumsystem übernommene Aufgabe zu klären. Die Rolle der Pumpe in verschiedenen Arbeitsbereichen wird im Folgenden zusammengefasst.
1. Die Hauptpumpe im System sein
Die Hauptpumpe ist die Vakuumpumpe, die die Pumpkammer des Vakuumsystems direkt pumpt, um den zur Erfüllung der Prozessanforderungen erforderlichen Vakuumgrad zu erreichen.
2. Grobpumpenpumpe
Eine Vorpumpe ist eine Vakuumpumpe, die mit der Reduzierung des Luftdrucks beginnt, sodass der Druck des Vakuumsystems ein anderes Pumpsystem erreicht, das dann zu arbeiten beginnen kann.
3. Vorstufenpumpe
Eine Vorstufenpumpe ist eine Vakuumpumpe, die dazu dient, den Vorstufendruck einer anderen Pumpe unter ihrem höchsten zulässigen Vorstufendruck zu halten.
4. Haltepumpe
Eine Haltepumpe kann die Hauptvorstufenpumpe nicht effektiv nutzen, wenn die Pumpleistung des Vakuumsystems sehr gering ist. Daher wird im Vakuumsystem eine zusätzliche Vorstufenpumpe mit geringerer Pumpleistung eingesetzt, um den normalen Betrieb der Hauptpumpe aufrechtzuerhalten oder den für den entleerten Behälter erforderlichen niedrigen Druck aufrechtzuerhalten.
5. Grobvakuumpumpe oder Niedervakuumpumpe
Eine Grob- oder Niedervakuumpumpe ist eine Vakuumpumpe, die mit Luft beginnt und nach der Reduzierung des Drucks des gepumpten Behälters im Bereich des Nieder- oder Grobvakuumdrucks arbeitet.
6. Hochvakuumpumpe
Mit Hochvakuumpumpe ist die Vakuumpumpe gemeint, die im Hochvakuumbereich arbeitet.
7. Ultrahochvakuumpumpe
Unter Ultrahochvakuumpumpe versteht man eine Vakuumpumpe, die im Ultrahochvakuumbereich arbeitet.
8. Druckerhöhungspumpe
Unter einer Druckerhöhungspumpe versteht man üblicherweise eine Vakuumpumpe, die zwischen einer Niedervakuumpumpe und einer Hochvakuumpumpe arbeitet, um die Pumpleistung des Pumpsystems im mittleren Druckbereich zu erhöhen oder den Pumpleistungsbedarf der ersteren Pumpe zu verringern.
Einführung in den Ionenreiniger
Plasmareiniger
1. Plasma ist ein ionisiertes Gas, in dem die Dichte positiver Ionen und Elektronen ungefähr gleich ist. Es besteht aus Ionen, Elektronen, freien Radikalen und neutralen Teilchen.
2. Es handelt sich um den vierten Aggregatzustand. Da Plasma eine Kombination mit höherer Energie als Gas ist, kann die Substanz in der Plasmaumgebung mehr physikochemischen und anderen Reaktionseigenschaften aufweisen.
3. Der Mechanismus der Plasmareinigungsmaschine beruht auf dem „Aktivierungseffekt“ des „Plasmazustands“ des Materials, um Oberflächenflecken zu entfernen.
4. Die Plasmareinigung ist die gründlichste Reinigungsmethode. Sie findet breite Anwendung in der Halbleiter-, Mikroelektronik-, COG-, LCD-, LCM- und LED-Prozessortechnik.
5. Präzisionsreinigung vor der Geräteverpackung, Vakuumelektronik, Steckverbinder und Relais, Solar-Photovoltaikindustrie, Reinigung von Kunststoff-, Gummi-, Metall- und Keramikoberflächen, Ätzbehandlung, Veraschungsbehandlung, Oberflächenaktivierung und anderen Bereichen biowissenschaftlicher Experimente.
Beitragszeit: 07.11.2022