Karakterisering af optisk tyndfilm omfatter karakterisering af optiske egenskaber, optiske parametre og ikke-optiske egenskaber. De optiske egenskaber refererer primært til den spektrale reflektans, transmittans og optiske tabsegenskaber (absorptionstab og reflektionstab) af den optiske tyndfilm. Transmittans og reflektans er de mest grundlæggende optiske egenskaber ved optiske tyndfilm, så testning af tyndfilms transmittans og reflektans er den grundlæggende testteknik for optiske tyndfilm. Optiske parametre for optisk tyndfilm omfatter brydningsindeks, absorptionskoefficient og filmtykkelse af den optiske tyndfilm. På grund af den støkiometriske afvigelse i materialekomponenterne i den optiske tyndfilm, der fremstilles ved den faktiske proces, er strukturen ikke længere homogen og tæt, men der er mikrostrukturer og forskellige defekter, det dielektriske filmlag er ikke længere fuldstændig transparent, og der er en svag absorption, mens der er rumlig uensartethed og faseanisotropi i filmens brydningsindeks, og filmen er ikke længere en uendelig og glat grænseflade. Endnu vigtigere er det, at parametrene i filmens fremstillingsproces har en meget stor indflydelse på filmens optiske parametre i den faktiske fremstillingsproces, så realtidsbekræftelsen af filmens optiske parametre er meget kritisk. Derudover skal den optiske tyndfilm, som en enhed, der anvendes i det faktiske miljø, udover enhedens optiske egenskaber opfylde kravene. Filmen har også mange andre vigtige ikke-optiske egenskaber, der påvirker filmens brug, såsom filmens vedhæftning, filmspænding, filmens hårdhed og overfladeruhed samt filmens evne til at modstå miljøet osv. Derfor er det vigtigt at måle alle de forskellige parametre eller egenskaber, der påvirker brugen af tyndfilmsenheder, nøjagtigt.
Transmittans og reflektans af tyndfilm testes hovedsageligt ved hjælp af spektrale testanalysatorer. Spektralanalysatorer til optisk filmtestning kan opdeles i UV-Vis-spektrofotometre, infrarøde spektrofotometre og infrarøde Fourier-spektrometre i henhold til de forskellige testbånd. De to første bruger spektralspektroskopiprincippet som analyse- og testsystem, mens sidstnævnte er baseret på interferensspektrale analysesystemer. På grund af de forskellige geometriske strukturer og former af tyndfilmsanordninger, selvom alle transmittans- og reflektansmålinger, men for forskellige former, forskellig præcision eller forskellige polariseringskrav, kan kræve forskellige testmetoder og -teknikker.
– Denne artikel er udgivet afproducent af vakuumbelægningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Opslagstidspunkt: 3. november 2023