Характеризирането на оптични тънки филми включва характеризиране на оптични свойства, оптични параметри и неоптични свойства. Оптичните свойства се отнасят главно до спектралните отражателни свойства, пропускливостта и оптичните загуби (загуби на абсорбция и загуби на отражение) на оптичните тънки филми. Пропускливостта и отражателната способност са най-основните оптични свойства на оптичните тънки филми, така че тестването на пропускливостта и отражателната способност на тънките филми е основната техника за тестване на оптични тънки филми. Оптичните параметри на оптичните тънки филми включват коефициент на пречупване, коефициент на абсорбция и дебелина на филма. Поради стехиометричното отклонение в материалните компоненти на оптичния тънък филм, приготвен чрез действителния процес, структурата вече не е хомогенна и плътна, а има микроструктури и различни дефекти, диелектричният слой на филма вече не е напълно прозрачен и има слабо абсорбиране, като същевременно има пространствена нееднородност и фазова анизотропия в коефициента на пречупване на филма, и филмът вече не е безкраен и гладък интерфейс. По-важното е, че в самия процес на подготовка, параметрите на процеса на подготовка на филма имат много голямо влияние върху оптичните параметри на филма, така че потвърждаването на оптичните параметри на филма в реално време е много критично. Освен това, оптичният тънък филм като устройство, използвано в реална среда, в допълнение към оптичните характеристики на устройството трябва да отговаря на изискванията, филмът има много други важни неоптични характеристики, които влияят върху употребата му, като например адхезия на филма, напрежение на филма, твърдост на филма и грапавост на повърхността, способността на филма да издържа на околната среда и т.н. Следователно е важно точно да се измерят всички различни параметри или характеристики, които влияят върху употребата на тънкослойни устройства.
Пропускливостта и отражателната способност на тънките филми се тестват главно с помощта на спектрални тестови анализатори. Спектралните анализатори за оптично тестване на филми могат да бъдат разделени на UV-Vis спектрофотометри, инфрачервени спектрофотометри и инфрачервени Фурие спектрометри според различните тестови ленти. Първите два използват принципа на спектрална спектроскопия за анализ и тестова система, а вторите - на принципа на интерферентната спектрална система за анализ. Поради различните геометрични структури и форми на тънкослойните устройства, въпреки че измерванията на пропускливостта и отражателната способност са приложими, но за различни форми, с различна точност или различна поляризация, може да са необходими различни методи и техники за тестване.
–Тази статия е публикувана отпроизводител на машини за вакуумно покритиеГуандун Джънхуа
Време на публикуване: 03 ноември 2023 г.