Характарыстыка аптычнай тонкай плёнкі ўключае характарыстыку аптычных уласцівасцей, аптычных параметраў і неаптычных уласцівасцей. Аптычныя ўласцівасці ў асноўным адносяцца да спектральных уласцівасцей адлюстравання, прапускання і аптычных страт (страты на паглынанне і страты на адлюстраванне) аптычнай тонкай плёнкі. Прапусканне і адлюстраванне з'яўляюцца найбольш асноўнымі аптычнымі ўласцівасцямі аптычных тонкіх плёнак, таму выпрабаванне прапускання і адлюстравання тонкай плёнкі з'яўляецца асноўным метадам выпрабавання аптычных тонкіх плёнак. Аптычныя параметры аптычнай тонкай плёнкі ўключаюць паказчык праламлення, каэфіцыент паглынання і таўшчыню плёнкі. З-за стехіаметрычнага адхілення ў матэрыяльных кампанентах аптычнай тонкай плёнкі, атрыманай у выніку рэальнага працэсу, структура больш не з'яўляецца аднароднай і шчыльнай, а мае мікраструктуры і розныя дэфекты, пласт дыэлектрычнай плёнкі больш не цалкам празрысты, назіраецца слабое паглынанне, у той час як у паказчыку праламлення плёнкі назіраецца прасторавая неаднастайнасць і фазавая анізатрапія, і плёнка больш не з'яўляецца бясконцай і гладкай паверхняй падзелу. Што яшчэ больш важна, у рэальным працэсе падрыхтоўкі плёнкі параметры працэсу падрыхтоўкі аказваюць вельмі вялікі ўплыў на аптычныя параметры плёнкі, таму пацверджанне аптычных параметраў плёнкі ў рэжыме рэальнага часу мае вельмі важнае значэнне. Акрамя таго, аптычная тонкая плёнка як прылада, якая выкарыстоўваецца ў рэальным асяроддзі, акрамя аптычных характарыстык прылады, павінна адпавядаць патрабаванням, існуе мноства іншых важных неаптычных характарыстык, якія ўплываюць на выкарыстанне плёнкі, такіх як адгезія плёнкі, напружанне плёнкі, цвёрдасць і шурпатасць паверхні плёнкі, а таксама здольнасць плёнкі супрацьстаяць уздзеянню навакольнага асяроддзя і г.д. Таму важна дакладна вымяраць усе розныя параметры або характарыстыкі, якія ўплываюць на выкарыстанне прылад з тонкай плёнкай.
Прапусканне і адбівальная здольнасць тонкіх плёнак у асноўным правяраюцца з дапамогай спектральных тэставых аналізатараў. Спектральныя аналізатары для аптычнага тэставання плёнак можна падзяліць на УФ-бачныя спектрафатометры, інфрачырвоныя спектрафатометры і інфрачырвоныя Фур'е-спектрометры ў залежнасці ад розных тэставых дыяпазонаў. Першыя два выкарыстоўваюць прынцып спектральнай спектраскапіі для аналізу і тэставання, а другія заснаваны на прынцыпе сістэмы спектральнага аналізу інтэрферэнцыі. З-за розных геаметрычных структур і формаў тонкаплёнкавых прылад, хоць і ўсе вымярэнні прапускання і адбівальнай здольнасці выкарыстоўваюцца для розных формаў, розных патрабаванняў да дакладнасці або палярызацыі, могуць патрабавацца розныя метады і тэхнікі тэставання.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 03 лістапада 2023 г.