Die karakterisering van optiese dun film sluit die karakterisering van optiese eienskappe, optiese parameters en nie-optiese eienskappe in. Die optiese eienskappe verwys hoofsaaklik na die spektrale reflektansie, transmissie en optiese verlies (absorpsieverlies en refleksieverlies) eienskappe van die optiese dun film. Transmissie en reflektansie is die mees basiese optiese eienskappe van optiese dun films, daarom is die toets van dun film transmissie en reflektansie die basiese toetstegniek vir optiese dun films. Optiese parameters van optiese dun film sluit in die brekingsindeks, absorpsiekoëffisiënt en filmdikte van die optiese dun film. As gevolg van die stoïgiometriese afwyking in die materiaalkomponente van die optiese dun film wat deur die werklike proses voorberei is, is die struktuur nie meer homogeen en dig nie, maar daar is mikrostrukture en verskeie defekte, die diëlektriese filmlaag is nie meer heeltemal deursigtig nie, en daar is 'n swak absorpsie, terwyl daar ruimtelike nie-uniformiteit en fase-anisotropie in die brekingsindeks van die film is, en die film is nie meer 'n oneindige en gladde koppelvlak nie. Boonop het die filmvoorbereidingsprosesparameters 'n baie groot impak op die optiese parameters van die film in die werklike voorbereidingsproses, dus is die bevestiging van die optiese parameters van die film intyds baie krities. Daarbenewens moet die optiese dun film as 'n toestel wat in die werklike omgewing gebruik word, benewens die optiese eienskappe van die toestel aan die vereistes voldoen. Daar is baie ander belangrike nie-optiese eienskappe van die film wat die gebruik van die film beïnvloed, soos filmhegting, filmspanning, filmhardheid en oppervlakruheid, en die film se vermoë om die omgewing te weerstaan, ensovoorts. Daarom is dit belangrik om al die verskillende parameters of eienskappe wat die gebruik van dun filmtoestelle beïnvloed, akkuraat te meet.
Die deurlaatbaarheid en reflektansie van dun films word hoofsaaklik getoets met behulp van spektrale toetsontleders. Spektrale ontleders vir optiese filmtoetsing kan verdeel word in UV-Vis-spektrofotometers, infrarooi-spektrofotometers en infrarooi Fourier-spektrometers volgens die verskillende toetsbande. Die eerste twee gebruik die spektrale spektroskopie-beginsel van ontleding en toetsingstelsel, laasgenoemde gebaseer op die beginsel van interferensie-spektrale ontledingstelsel. As gevolg van die verskillende geometriese strukture en vorms van dunfilmtoestelle, alhoewel alle deurlaatbaarheid- en reflektansiemetings, maar vir verskillende vorms, verskillende presisie of verskillende polarisasievereistes, kan verskillende toetsmetodes en -tegnieke vereis word.
–Hierdie artikel word vrygestel deurvervaardiger van vakuumbedekkingsmasjieneGuangdong Zhenhua
Plasingstyd: 3 Nov 2023