Nínú àwọn ohun èlò ìbòrí ìbòrí, a sábà máa ń gbé ìbòrí ìbòrí ìpele gíga kalẹ̀ gẹ́gẹ́ bí ọ̀kan lára àwọn ìlànà ìmọ̀-ẹ̀rọ pàtàkì. Síbẹ̀síbẹ̀, pàtàkì ìmọ̀-ẹ̀rọ rẹ̀ gbòòrò ju kíkà ìfúnpá kan ṣoṣo tí a fihàn lórí ìwọ̀n ìbòrí ìbòrí lọ. Ó ṣàfihàn iṣẹ́ àpapọ̀ ti yàrá ìbòrí ìbòrí, ètò fífún omi, ètò ìdènà ìbòrí, yíyan ohun èlò, ìtọ́jú ojú ilẹ̀, ìmọ́tótó ilana àti ọgbọ́n ìṣàkóso.
Fún àwọn olùṣe àwọ̀, ìfúnpá tó kéré síi túmọ̀ sí wípé ètò náà lè ṣẹ̀dá àyíká ìpamọ́ tó mọ́ tónítóní àti tó ṣeé ṣàkóso. Síbẹ̀síbẹ̀, kò yẹ kí a ṣe àyẹ̀wò ìfọ́mọ́ tó péye fúnra rẹ̀. Ìníyelórí rẹ̀ wà ní bóyá ó lè ṣètìlẹ́yìn fún ìlànà ìbòrí tó yẹ, ó lè tọ́jú àwọn ipò èéfín tó dúró ṣinṣin àti pé ó lè ṣe iṣẹ́ fíìmù tó le tún ṣe lábẹ́ àwọn ipò ìṣelọ́pọ́ tó ń bá a lọ.
Lílóye Ìgbà Àìkú ní Àwọn Ẹ̀rọ Ìbòmọ́lẹ̀
Nínú ọ̀rọ̀ ìmọ̀ ẹ̀rọ, ìfúnpá tó ga jùlọ túmọ̀ sí ìfúnpá tó kéré jùlọ tí ẹ̀rọ fifa omi tàbí ẹ̀rọ fifa omi lè fara mọ́ lábẹ́ àwọn ipò ìdánwò pàtó láìsí ẹrù gaasi tí a mọ̀. ISO 3529 pèsè àwọn ọ̀rọ̀ ìṣètò fún ìmọ̀ ẹ̀rọ fifa omi, nígbà tí àwọn olùṣe ẹ̀rọ fifa omi ìgbàlódé sábà máa ń túmọ̀ ìfúnpá tó ga jùlọ lábẹ́ àwọn ipò ìṣiṣẹ́ tí a ṣàkóso kedere.
Ṣùgbọ́n fún ètò ìbòrí ìgbálẹ̀ pípé, kì í ṣe iṣẹ́ pípèsè ìgbálẹ̀ nìkan ni a ń pinnu ìfúnpá tó ga jùlọ tí a wọ̀n nínú yàrá náà. Ó jẹ́ àbájáde ìwọ̀nba iyàrá fífí omi tó munadoko àti gbogbo ẹrù gáàsì tó wà nínú ètò náà.
Ẹrù gaasi yìí lè wá láti orísun púpọ̀, títí bí ìjìnnà afẹ́fẹ́, jíjó ojú ayé, ìyọ omi-èéfín, ìjákulẹ̀ omi, ìbàjẹ́ omi, ìbàjẹ́ ohun èlò ìdáná, ìfàsẹ́yìn elastomer, ìṣàn omi lubricant àti àwọn ohun èlò tí a gbé sórí àwọn ilẹ̀ yàrá. Àwọn páìpù vacuum, fáìlì, baffles àti àwọn èròjà míràn tún máa ń fa àdánù ìdarí, èyí tí ó túmọ̀ sí wípé iyára fífún omi tó munadoko ní yàrá náà lè kéré sí i ju iyára fífún omi tó wà ní ẹnu ọ̀nà fifa omi lọ.
Nítorí náà, a kà ultimate vacuum sí àmì tó péye nípa ẹ̀rọ vacuum-system dípò paramita fifa tó ya sọ́tọ̀.
Ó tún ṣe pàtàkì láti ya ìfúnpọ̀ tó ga jùlọ sọ́tọ̀ kúrò nínú ìfúnpọ̀ ìpìlẹ̀ àti ìfúnpọ̀ ìṣiṣẹ́. A sábà máa ń wọn ìfúnpọ̀ tó ga jùlọ lábẹ́ àwọn ipò tí a ti sọ pé kò ní ẹrù tàbí ibi tí a ti mọ nǹkan sí. Ìfúnpọ̀ ìpìlẹ̀ tọ́ka sí ìfúnpọ̀ tó ga tó bẹ̀rẹ̀ kí ìlànà ìfipamọ́ náà tó bẹ̀rẹ̀, nígbà míìrán pẹ̀lú àwọn ohun èlò tí a fi sínú rẹ̀ àti àwọn ohun èlò tí a fi sínú rẹ̀. Ìfúnpọ̀ ìpìlẹ̀ ni ìfúnpọ̀ tó ga jùlọ tí a ń ṣàkóso lẹ́yìn tí a bá ti fi argon, oxygen, nitrogen tàbí àwọn gáàsì ìṣiṣẹ́ mìíràn sínú rẹ̀.
Ètò ìbòrí lè fi ìfúnpá tó ga jùlọ hàn nígbà tí yàrá náà bá ṣofo, síbẹ̀ ó ṣì ń ṣiṣẹ́ dáadáa nígbà tí a bá ń ṣe é tí àwọn ohun èlò tí a fi kún bá ń tú ọ̀pọ̀lọpọ̀ omi tàbí àwọn ohun ìdọ̀tí oníwà-ara jáde. Nítorí èyí, ìṣàyẹ̀wò ẹ̀rọ ìbòrí gbọ́dọ̀ dojúkọ agbára ìbòrí rẹ̀ àti iṣẹ́ ìbòrí rẹ̀ lábẹ́ àwọn ipò iṣẹ́ gidi.
Igbale Gbẹhin gẹgẹbi Atọka Mimọ Eto
Ọ̀kan lára àwọn ìtumọ̀ ìmọ̀ ẹ̀rọ pàtàkì jùlọ ti ultimate vacuum ni agbára rẹ̀ láti ṣàfihàn ìmọ́tótó àyíká vacuum.
Bí ìfúnpá bá ń dínkù, ìṣọ̀kan àwọn molecule gaasi tó wà nínú yàrá náà á dínkù. Èyí á dín ìṣeéṣe pé àwọn molecule gaasi tó ti gbẹ tàbí tó ti tú jáde yóò dojúkọ àwọn molecule gaasi tí a kò fẹ́ kí ó tó dé ibi tí a ti rì mọ́lẹ̀ sí. Ó tún ń dín ìkópa omi, atẹ́gùn, hydrocarbons àti àwọn ohun ìbàjẹ́ mìíràn kù nínú fíìmù nucleation àti ìdàgbàsókè.
Nínú àwọn ìlànà ìforúkọsílẹ̀ èéfín ti ara bíi magnetron sputtering, arc ion plating, resistance evaporation àti electron-beam evaporation, àwọn gaasi tí ó kù lè ṣe àbájáde pẹ̀lú àwọn átọ̀mù tí a fi pamọ́ tàbí kí wọ́n dara pọ̀ mọ́ fíìmù tí ń dàgbà. Ní ìbámu pẹ̀lú ohun èlò ìbòrí àti ìlò rẹ̀, èyí lè yọrí sí oxidation tí kò ní ìṣàkóso, ìdàpọ̀ àìmọ́, ìdínkù ìwọ̀n fíìmù, ìtọ́kasí refractive tí kò dúró ṣinṣin, ìdènà iná mànàmáná tí ó pọ̀ sí i, ìdìpọ̀ tí kò dára tàbí àwọn ìyípadà nínú líle àti àwọ̀.
Àbájáde náà ṣe pàtàkì ní pàtàkì nínú àwọn ìbòrí opitika onípele púpọ̀, àwọn fíìmù semiconductor, àwọn ìbòrí oníhò tí ó hàn gbangba, àwọn fíìmù onírin tí ó ń tànmọ́lẹ̀ àti àwọn ohun èlò mìíràn tí ó nílò ìṣàkóso pàtó lórí ìṣètò fíìmù náà. Kódà nígbà tí ìfúnpá iṣẹ́ nígbà ìfúnpá bá ga ju ìfúnpá ìkẹyìn lọ, ìfúnpá ìbẹ̀rẹ̀ tí ó kéré tó ṣì ṣe pàtàkì láti dín ìbàjẹ́ ẹ̀yìn kù kí a tó fi gaasi ilana náà hàn. Àwọn ìtọ́kasí ìbòrí ìgbóná ilé-iṣẹ́ náà tún tẹnu mọ́ ọn pé ìfúnpá nílò ìṣàkóso ìfúnpá-ìṣiṣẹ́ tí ó péye àti ìfúnpá kékeré láti ṣe àtìlẹ́yìn fún ìwẹ̀nùmọ́ fẹlẹfẹlẹ àti ìdúróṣinṣin ilana.
Nítorí náà, a gbọ́dọ̀ lóye ìfọ́mọ́ tó ga jùlọ gẹ́gẹ́ bí ibi tí a ti ń bẹ̀rẹ̀ ìmọ́tótó ilana. Ó ń pinnu àbájáde èéfín tí a fi ń darí afẹ́fẹ́ ìbòrí náà.
Ipa lori Iṣeto Fiimu ati Iṣẹ-ṣiṣe
Ipa ti igbale to pari ni a fihan ni awọn abuda ti fiimu ti a fi pamọ.
Fún àwọn ìbòrí irin, atẹ́gùn àti ìgbóná omi tó pọ̀ jù lè fa ìfọ́sídì díẹ̀ nígbà tí a bá ń kó nǹkan sí i, èyí tó lè ní ipa lórí ìṣàn agbára, ìfarahàn àti ìṣọ̀kan àwọ̀. Fún àwọn ìbòrí nitride, oxide àti carbide, ìpìlẹ̀ gaasi tó pọ̀ lè da ìpíndọ́gba ìfàsẹ́yìn-gaasi tí a fẹ́ ṣe rú, èyí tó lè mú kí ìṣàkóso stoichiometric ṣòro sí i.
Nínú àwọn ìlànà ìbòrí ojú, ìbàjẹ́ lè yí ìtọ́kasí ìfàmọ́ra àti ìparẹ́ àwọn ìpele kọ̀ọ̀kan padà. Nígbà tí a bá kó ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìpele nanometer jọ, àwọn ìyàtọ̀ kékeré nínú àkójọpọ̀ tàbí ìwọ̀n lè kó jọ, èyí tí yóò yọrí sí àwọn ìyípadà ìwòran, ìdínkù ìyípadà, àwọ̀ tí ó pọ̀ sí i tàbí àwọ̀ tí kò báramu láàárín àwọn ìpele ìṣẹ̀dá.
Fún àwọn fíìmù amúṣẹ́dá bíi ITO, AZO, fàdákà, bàbà tàbí àwọn ìpele iṣẹ́ míràn, ìbàjẹ́ gaasi tó kù lè mú kí ìdènà ìwé pọ̀ sí i kí ó sì dín ìṣíkiri amúṣẹ́dá kù. Nínú àwọn ohun èlò tí a fi ìbòrí líle ṣe, àwọn ohun àìmọ́ tó pọ̀ jù lè ní ipa lórí ìdàgbàsókè ọkà, wàhálà inú, líle, ìṣọ̀kan ìfọ́mọ́ra àti ìdènà ìbàjẹ́.
Igbẹhin to ga julọ ko pinnu gbogbo awọn ohun-ini wọnyi taara, ṣugbọn o ṣeto awọn ipo ala laarin eyiti a le ṣakoso awọn paramita idawọle. Ayika afẹfẹ akọkọ ti o mọ didin awọn oniyipada ti ko ni iṣakoso ati gba awọn paramita ilana bii sisan gaasi, agbara afojusun, ibaje substrate, oṣuwọn idawọle ati iwọn otutu substrate laaye lati ṣe awọn ipa ti a pinnu wọn.
Ibasepo laarin Ultimate Vacuum ati Plasma Iduroṣinṣin
Nínú ìfọ́ magnetron, ìfọ́ arc ion àti àwọn ìlànà ìfipamọ́ plasma tí ó dára síi, àyíká plasma tí ó dúró ṣinṣin sinmi lórí ìṣàkóso tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé ti ìṣọ̀kan gaasi àti titẹ.
Tí ìfúnpá ìpìlẹ̀ kò bá tó, àwọn gáàsì tí ó kù yóò di apá kan afẹ́fẹ́ plasma. Ayíká ìtújáde gidi yóò yàtọ̀ sí àwọn ètò ìtújáde gas tí àwọn olùdarí ìtújáde ibi-pupọ fihàn. Èyí lè yọrí sí ìgbóná tí kò dúró ṣinṣin, àwọn ìyípadà nínú folti ìtújáde àti ìṣàn, àwọn ìyípadà nínú ìṣe ionization àti àwọn ìyàtọ̀ nínú àwọn ipò ìtújáde reactive.
Ìfọ́nká ìfàsẹ́yìn jẹ́ ohun tó ṣe pàtàkì sí ìṣòro yìí. Nígbà tí a bá ń fi àwọn oxides, nitrides tàbí àwọn fíìmù compound mìíràn sílẹ̀, ìwọ́ntúnwọ̀nsí láàrín agbára ibi-àfojúsùn, ìṣàn gaasi reactive, iyára fifa omi àti ìfàsẹ́yìn yàrá-ògiri pinnu bóyá ìlànà náà ń ṣiṣẹ́ ní ipò irin, ipò ìyípadà tàbí ipò compound. Àtilẹ̀wá gaasi residential tí kò ní ìṣàkóso kò jẹ́ kí ìwọ̀n yìí rọrùn láti sọ tẹ́lẹ̀, ó sì lè mú kí ewu ìfọ́nká ibi-àfojúsùn pọ̀ sí i, kí ó máa yí padà tàbí kí ó máa yípadà nínú ìwọ̀n deposition.
Títẹ ìpìlẹ̀ tí ó lọ sílẹ̀ tí ó sì ṣeé tún ṣe ń mú kí ipò àkọ́kọ́ dúró ṣinṣin fún ìgbóná omi plasma àti fífi gaasi sínú rẹ̀. Èyí ń mú kí ó túbọ̀ rọrùn láti tún ṣe, ó sì ń dín iye àtúnṣe tí a nílò láàárín àwọn ìpele kù.
Gbẹhin igbale ati Aṣọ Aṣọ
Ìmọ́tótó fíìmù, ìṣiṣẹ́ ojú ilẹ̀, ìbàjẹ́ ojú, ìbọn ion àti ìdààmú fíìmù ní ipa lórí ìsopọ̀mọ́ fíìmù náà. Ìmúdàgba ìgbálẹ̀ ló ń kó ipa tí kì í ṣe tààrà ṣùgbọ́n pàtàkì nínú ọ̀kọ̀ọ̀kan àwọn nǹkan wọ̀nyí.
Kí a tó gbé àwọn ohun èlò náà sínú rẹ̀, a sábà máa ń gbóná tàbí kí a fi wọ́n sí ìwẹ̀nùmọ́ ìtújáde glow, ìwẹ̀nùmọ́ orísun ion tàbí ìfọ́ ion irin. Àwọn ìtọ́jú wọ̀nyí ni a ṣe láti mú àwọn gáàsì tí a fà mọ́ra, àwọn ohun tí ó jẹ́ organic àti àwọn ìpele ojú ilẹ̀ tí kò lágbára kúrò. Tí yàrá náà bá ní ìṣọ̀kan omi tàbí hydrocarbons gíga, ojú ilẹ̀ tí a ti wẹ̀ mọ́ lè yára tún padà kí a tó fi ìpele iṣẹ́ àkọ́kọ́ sílẹ̀.
Títẹ ìpìlẹ̀ bá kéré tó, ó máa ń dín àkókò tó wà láàrín ìfọ́mọ́ ojú ilẹ̀ àti ìfọ́mọ́ fíìmù kù lábẹ́ àwọn ipò tó ti bàjẹ́. Èyí máa ń ran lọ́wọ́ láti máa rí i dájú pé ó mọ́ tónítóní, ó sì máa ń mú kí ìfọ́mọ́ ion àti ìfọ́mọ́ fíìmù náà sunwọ̀n sí i.
Sibẹsibẹ, ohun elo afẹfẹ to dara julọ nikan ko le ṣe idaniloju ifọmọ to lagbara. Itọju ṣaaju ilana, apẹrẹ awọn ohun elo, awọn ilana mimọ, iwọn otutu oju ilẹ, agbara ion ati wahala fiimu tun gbọdọ wa ni iṣakoso daradara. A gbọdọ wo ohun elo afẹfẹ to pari gẹgẹbi apakan kan ti ilana imọ-ẹrọ oju-ọna pipe.
Pàtàkì Àwọn Ànímọ́ Pípù-Sẹ́lẹ̀
Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ ilé iṣẹ́, àkókò tí a nílò láti dé ibi tí a fẹ́ tẹ agbára ìpìlẹ̀ rẹ̀ sí sábà máa ń ṣe pàtàkì ju ìwọ̀n tí ó kéré jùlọ tí a lè rí lẹ́yìn àkókò gígùn lọ.
Yàrá ìbòrí kan lè dé ibi tí ìfúnpọ̀ kò pọ̀ tó, àmọ́ tí ìfúnpọ̀ tí a fi ń fa omi bá gba àkókò púpọ̀, ẹ̀rọ náà kò ní bá àkókò ìfúnpọ̀ tí a nílò mu. Ní ọ̀nà mìíràn, ètò kan tí ó yára dé ibi tí ìfúnpọ̀ ìpìlẹ̀ rẹ̀ dúró ṣinṣin tí ó sì yẹ fún ìlànà lè fúnni ní ìníyelórí ìfúnpọ̀ tí ó ga jù, kódà bí ìfúnpọ̀ ìpìlẹ̀ rẹ̀ kò bá tilẹ̀ jẹ́ èyí tí ó kéré jùlọ tí ó wà.
Ìtẹ̀sí fifa omi tí a fi ń sọ̀kalẹ̀ fi ìwífún nípa ìmọ̀ ẹ̀rọ hàn ju kíkà ìkẹyìn kan lọ. Ní àkókò ìbẹ̀rẹ̀, ìdínkù ìtẹ̀sí ni a ń pinnu ní pàtàkì nípa yíyọ gaasi iwọ̀n yàrá kúrò. Bí ìtẹ̀sí náà ṣe ń dínkù, yíyọ kúrò nínú àwọn ògiri yàrá, àwọn ohun èlò àti àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ di ẹrù gaasi tí ó lágbára díẹ̀díẹ̀. Tí ìtẹ̀sí náà bá dé ibi tí kò dára, èyí lè fi hàn pé jíjò, èéfín tí ó pọ̀ jù, ìbàjẹ́, ìbàjẹ́ pump tàbí iyàrá fífó tí kò tó.
Nítorí ìdí èyí, ìṣàyẹ̀wò ètò ìfàmọ́ra kò gbọdọ̀ ní ìfúnpá tó ga jù nìkan, ṣùgbọ́n àkókò ìtújáde, àwọn ànímọ́ ìfúnpá àti ìbàjẹ́, àkókò ìpadàbọ̀sípò lẹ́yìn atẹ́gùn àti àtúnṣe láàrín àwọn cycles.
Àwọn Ohun Tó Ń Pèsè Pípàdánù Ìfúnpá Tó Lè Ṣẹsẹ̀sẹ̀
Ipa ti o ga julọ ti awọn ohun elo ti a fi bo ni a pinnu nipasẹ gbogbo faaji igbale.
Àpapọ̀ fifa omi tí a yàn náà fi agbára fifa omi tí a mọ̀ hàn. Gẹ́gẹ́ bí ibi tí a fẹ́ kí ó wà, ètò náà lè lo àwọn fifa omi oníyípo, àwọn fifa omi gbígbẹ, àwọn boosters Roots, àwọn fifa omi tí a ń tú jáde, àwọn fifa omi oníyípo tàbí àwọn fifa omi tí a ń pè ní cryogenic. Síbẹ̀síbẹ̀, yíyan fifa omi nìkan kò tó.
Iwọn ila opin opo, gigun opo, geometry igbonwo, agbara gbigbe falifu ati ipo fifi sori ẹrọ fifa gbogbo wọn ni ipa lori iyara fifa fifa ti o munadoko ni yara naa. Ni agbegbe sisan molikula, awọn opo gigun ti o kere tabi ti o gun ju le ṣe idiwọ gbigbe gaasi ni pataki.
Àwọn ohun èlò yàrá àti ipò ojú ilẹ̀ ṣe pàtàkì bákan náà. Àwọn yàrá irin alagbara sábà máa ń fúnni ní ìbáramu ìgbálẹ̀ tó dára, ṣùgbọ́n dídára ìgbálẹ̀, àìlera ojú ilẹ̀, ìwọ̀n tí ó wà nínú rẹ̀ àti ìbàjẹ́ inú rẹ̀ ṣì lè dín iṣẹ́ ìgbálẹ̀ kù. Àwọn èdìdì elastomer wúlò fún ọ̀pọ̀lọpọ̀ ètò ìbòrí ilé iṣẹ́, bó tilẹ̀ jẹ́ pé a gbọ́dọ̀ gbé ìgbálẹ̀ àti ìjákulẹ̀ jáde yẹ̀ wò. Àwọn ohun èlò tí ó nílò ìgbálẹ̀ gíga lè nílò àwọn èdìdì irin, àwọn ohun èlò pàtàkì, yíyan yàrá àti àwọn ìlànà ìfọ̀mọ́ tó le koko.
Iwọn otutu tun ni ipa lori afẹfẹ to ga julọ. Gbigbe yara, substrate tabi ohun elo le tu omi ti o wọ inu ati awọn iyokù ilana silẹ. Titẹ naa le dide fun igba diẹ lakoko igbona ṣaaju ki o to ṣubu bi a ti yọ awọn gaasi ti a tu silẹ kuro. Nitori naa, titẹ yara tutu ati titẹ ilana gbona ko yẹ ki a kà si awọn itọkasi kanna.
A gbọ́dọ̀ gbé yíyàn àti fífi sori ẹrọ ẹ̀rọ amúlétutù yẹ̀wò pẹ̀lú. Àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ amúlétutù ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀ ní àwọn ìwọ̀n ìwọ̀n tó yàtọ̀ síra, àwọn ìmọ̀lára gaasi àti ìfaradà ìbàjẹ́. Ipò ẹ̀rọ amúlétutù lè mú kí ìfúnpọ̀ tí a fihàn yàtọ̀ sí titẹ gidi tí ó wà nítòsí substrate tàbí ibudo fifa omi. Nítorí náà, ìlànà amúlétutù ultimate-vacuum tí a lè gbẹ́kẹ̀lé yẹ kí ó sọ ipò ìwọ̀n, irú ẹ̀rọ amúlétutù, ipò yàrá àti ìlànà ìdánwò.
Agbara Igbasilẹ Gbẹhin gẹgẹbi Ohun elo fun Iwadii Ẹrọ
Awọn iyipada ninu titẹ to ga julọ pese alaye to niyelori nipa ipo ẹrọ naa.
Tí yàrá náà bá nílò àkókò púpọ̀ sí i láti dé ibi tí agbára náà ti ń pọ̀ sí i, ó lè jẹ́ ìbàjẹ́ yàrá, epo ẹ̀rọ fifa omi tí ó ti bàjẹ́, àwọn páìpù tí ó ti dí, àwọn ìdẹkùn tí ó ti kún, àwọn èdìdì tí ó ti bàjẹ́ tàbí iṣẹ́ fifa omi tí ó dínkù. Tí agbára tí ó ga jùlọ bá bàjẹ́ lójijì, ọ̀nà jíjìn tuntun tàbí ìkùnà àwọn èròjà lè ti ṣẹlẹ̀.
Fífi àwọn ìlà fifa omi sí ìsàlẹ̀ láàárín àwọn ìpele iṣẹ́-ṣíṣe wéra lè ran àwọn ẹgbẹ́ ìtọ́jú lọ́wọ́ láti mọ ìbàjẹ́ díẹ̀díẹ̀ kí ó tó yọrí sí àbùkù ìbòrí. Nígbà tí a bá so pọ̀ mọ́ wíwá ìjìnlẹ̀ helium, ìwádìí gaasi tí ó wà ní ìsàlẹ̀, ìmójútó fifa omi àti ìforúkọsílẹ̀ data-ìgbékalẹ̀, àwọn àṣà ìjìnlẹ̀ ultimate-vacuum di àmì ìtọ́sọ́nà-ìtọ́jú tí ó munadoko.
Ìṣàyẹ̀wò gaasi tó kù wúlò gan-an nígbà tí gbogbo titẹ nìkan kò bá lè ṣàlàyé ìṣòro iṣẹ́ kan. Àwọn ètò ìfọ́mọ́ méjì lè fi gbogbo titẹ kan náà hàn nígbà tí wọ́n ní àwọn àkójọpọ̀ gaasi tó yàtọ̀ síra. Yàrá kan tí omi ń gbẹ́ máa ń hùwà lọ́nà tó yàtọ̀ sí èyí tí afẹ́fẹ́ ń fà tàbí ìbàjẹ́ hydrocarbon ń fà. Gbogbo titẹ náà máa ń fi iye gaasi tó kù hàn, nígbà tí ìṣàyẹ̀wò díẹ̀-títẹ̀ náà máa ń ranni lọ́wọ́ láti mọ ibi tí ó ti wá.
Kìí ṣe Ète Pípẹ́ Kìí Ṣe Ète Kanṣoṣo Nígbà Gbogbo
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ìwọ̀n ìfúnpá tó kéré jù sábà máa ń mú kí a lè fi pamọ́ nǹkan dáadáa, wíwá ibi tí ó kéré jù kò ní jẹ́ ohun tó tọ́ ní ti ìmọ̀ ẹ̀rọ tàbí ní ti ọrọ̀ ajé.
Àwọn ìlànà ìbòrí tó yàtọ̀ síra ní àwọn ohun tí a nílò fún ìbòrí. Àwọn ìbòrí PVD tí a fi ṣe ọ̀ṣọ́, àwọn ìpele opitika, àwọn fíìmù semiconductor, àwọn ìbòrí irinṣẹ́ àti àwọn ìbòrí ilé ńlá kò nílò ìfúnpá ìpìlẹ̀ kan náà. Àwọn ìlànà ìbòrí tó pọ̀ jù lè mú kí iye owó ohun èlò pọ̀ sí i, àkókò tí a fi ń fa omi, agbára tí a ń lò, ìṣòro ìtọ́jú àti ìfàmọ́ra sí ìbàjẹ́ láìsí ìdàgbàsókè tó yẹ nínú iṣẹ́ ọjà.
Nítorí náà, èrò ìmọ̀ ẹ̀rọ tó tọ́ kìí ṣe láti dé ibi tí ìfúnpá tó kéré jùlọ wà, ṣùgbọ́n láti fi ìdí ìpele afẹ́fẹ́ tó bá ohun èlò ìbòrí mu, ọ̀nà ìfipamọ́, ipò ìpìlẹ̀ àti àwọn ohun ìní fíìmù tó yẹ sílẹ̀.
Eto ti a ṣe apẹrẹ daradara yẹ ki o de titẹ ipilẹ ti a sọ tẹlẹ laarin iyipo iṣelọpọ ti a beere, ṣetọju awọn ipo gaasi ti o ku ti o duro ṣinṣin lakoko igbona ati gbigbe silẹ, mu pada ni deede lẹhin afẹfẹ yara ati ṣe atilẹyin awọn abajade ibora ti o le tun ṣe lẹhin iṣelọpọ igba pipẹ.
Ṣíṣàyẹ̀wò Ìmúdàgba Ultimate láti ojú ìwòye Ìṣẹ̀dá
Nígbà tí wọ́n bá ń ṣe àyẹ̀wò àwọn ohun èlò ìbòrí ilé iṣẹ́, àwọn olùlò yẹra fún gbígbẹ́kẹ̀lé iye àìlómi tí a sọ nínú ìwé pàtó kan nìkan.
Idanwo itẹwọgba ti o ni itumọ yẹ ki o ṣalaye boya yara naa ṣofo tabi o kun, boya eto naa tutu tabi gbona, igba melo ni a ti fa fifa soke, iwọn wiwọn afẹfẹ wo ni a lo ati ibi ti a ti fi iwọn wiwọn sii. Idanwo naa yẹ ki o tun ronu nipa oṣuwọn jijo yara naa, akoko fifa soke, iduroṣinṣin titẹ, iṣakoso gaasi ilana ati atunṣe lori awọn iyipo iṣelọpọ pupọ.
Fún àwọn ohun èlò tó ń béèrè fún ìlò, ó tún lè ṣe pàtàkì láti ṣe àyẹ̀wò àkójọpọ̀ gaasi tó kù, ìgbàpadà ìfúnpọ̀ lẹ́yìn ìfúnpọ̀ substrate àti ìwà ìfúnpọ̀ nígbà ìwẹ̀nùmọ́ ion tàbí ìgbóná substrate.
Àwọn àmì wọ̀nyí ń fúnni ní ìṣàyẹ̀wò tó dájú jù nípa bóyá ẹ̀rọ náà lè ṣe àtúnṣe àyíká afẹ́fẹ́ tó yẹ fún iṣẹ́ àgbékalẹ̀ tó dúró ṣinṣin.
Ìparí
Pàtàkì ìmọ̀ ẹ̀rọ ti ultimate vacuum nínú àwọn ohun èlò ìbòrí kò mọ sí bí ìfúnpá ṣe lè lọ sílẹ̀ tó. Ó dúró fún mímọ́ tónítóní àyíká ìdókòwò, ìdúróṣinṣin ti ètò ìdìbò, ìṣeémúṣe ti ìṣètò fifa omi àti agbára àwọn ohun èlò láti ṣàkóso àwọn gáàsì tí ó kù.
Fíìmù tó yẹ tó sì ṣeé tún ṣe ń dín ìbàjẹ́ fíìmù kù, ó ń mú kí ìtújáde plasma dúró ṣinṣin, ó ń mú kí ìmọ́tótó ojú sunwọ̀n sí i, ó sì ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ohun èlò ìrísí ojú, iná mànàmáná, ohun ọ̀ṣọ́ àti ẹ̀rọ tó dúró ṣinṣin. Èyí tó ṣe pàtàkì jù ni pé, ó ń ṣẹ̀dá ipò ìbẹ̀rẹ̀ tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún gbogbo ìpele ìbòrí.
Fún àwọn ohun èlò ìbòrí ìgbálẹ̀ ilé iṣẹ́, a gbọ́dọ̀ ṣe àyẹ̀wò iye gidi ti ìgbálẹ̀ ìgbálẹ̀ ìgbálẹ̀ pẹ̀lú àkókò tí a fi ń fa omi, ìwọ̀n jíjí, àkójọpọ̀ gaasi tí ó kù, iṣẹ́ yàrá tí a fi ẹrù rù àti àtúnṣe iṣẹ́ ìgbà pípẹ́.
Ètò ìfọ́mọ́ tó dára jùlọ kìí ṣe èyí tó ń dé ibi tí agbára ìfọ́mọ́ tó kéré jùlọ wà. Òun ló ń gbé àyíká ìfọ́mọ́ tó tọ́ kalẹ̀ dáadáa, tó ń tọ́jú rẹ̀ déédéé, tó sì ń yí ìdúróṣinṣin yẹn padà sí fíìmù tó dára tí a lè tún ṣe àti iṣẹ́ àgbékalẹ̀ tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Keje-22-2026