Mumidziyo yekuputira vacuum, vacuum yekupedzisira inowanzoonekwa seimwe yemhando dzehunyanzvi dzakakosha. Zvisinei, kukosha kwayo kweinjiniya kunopfuura kuverenga kwekumanikidzwa kunoratidzwa pagauge ye vacuum. Inoratidza kushanda kwakabatana kwekamuri ye vacuum, sisitimu yekupomba, chimiro chekuvhara, kusarudzwa kwezvinhu, kurapwa kwepamusoro, kuchena kwemaitiro uye nzira yekudzora.
Kune vagadziri vemachira, kudzvanywa kwakaderera kunowanzoreva kuti sisitimu inogona kugadzira nzvimbo yakachena uye inodzoreka yekuisa zvinhu. Kunyange zvakadaro, vacuum yekupedzisira haifanirwe kuongororwa yega. Kukosha kwayo chaiko kuri pakuti inogona here kutsigira maitiro ekufukidza anodiwa, kuchengetedza mamiriro egasi akasara akagadzikana uye kupa mashandiro efirimu rakatetepa anodzokororwa pasi pemamiriro ekugadzira anoenderera mberi.
Kunzwisisa Kuvhara Kwekupedzisira muMasisitimu Ekuputira
Mumashoko einjiniya, kumanikidzwa kwekupedzisira kunoreva kumanikidzwa kwakaderera kunogona kusvikwa ne vacuum pomp kana vacuum system pasina zviratidzo pasi pemamiriro ekuyedza akatarwa uye pasina mutoro wegesi nemaune. ISO 3529 inopa mazwi akajairwa e tekinoroji ye vacuum, nepo vagadziri ve vacuum pomp vanowanzo tsanangura kumanikidzwa kwekupedzisira pasi pemamiriro ekushanda akanyatso tariswa.
Zvisinei, kune system yakazara yekuputira vacuum, kumanikidzwa kwakanyanya kunoyerwa mukati mekamuri hakungotariswi chete nekushanda kwepombi ye vacuum. Ndiwo mhedzisiro yekuenzana kwekumhanya kwekupomba kwakanaka uye huwandu hwegasi riri mukati mesystem.
Kuwanda kwegasi uku kunogona kubva pazvinhu zvakasiyana-siyana, kusanganisira kubuda kwemhepo, kubuda kwemvura, kubviswa kwemhepo nemhepo, kubuda kwegasi mumhepo, kusvibiswa kwemidziyo, kuyerera kwe elastomer, kuyerera kwemafuta uye ma residues emuchina anoiswa pamusoro pemakamuri. Mapaipi evacuum, mavharuvhu, ma baffle nezvimwe zvinhu zvinokonzerawo kurasikirwa kwemhepo, zvichireva kuti kumhanya kwemvura mukamuri kunogona kuderera zvakanyanya pane kumhanya kwemvura kunoyerwa pakupinda kwepombi.
Saka, vacuum yekupedzisira inoonekwa sechiratidzo chakazara chekugadzira vacuum-system pane senzira yepombi yakaparadzana.
Zvakakoshawo kusiyanisa kumanikidzwa kwekupedzisira kubva kusimba repasi uye kumanikidzwa kwemaitiro. Kumanikidzwa kwekupedzisira kunowanzo kuyerwa pasi pemamiriro ezvinhu asina mutoro kana ekamuri rakachena. Kumanikidzwa kwepasi kunoreva kumanikidzwa kunosvika maitiro ekuisa zvinhu asati atanga, kazhinji nemidziyo yakaiswa. Kumanikidzwa kwemaitiro isimba rinodzorwa rinochengetwa mushure mekuunza argon, oxygen, nitrogen kana mamwe magasi emaitiro.
Sisitimu yekuputira inogona kuratidza kumanikidzwa kwakanaka kwazvo kana kamuri risina chinhu, asi ichishanda zvisina kunaka panguva yekugadzira kana substrates dzakazadzwa dzikaburitsa huwandu hwakawanda hwemvura kana tsvina yeorganic. Nekuda kweizvi, kuongororwa kweinjiniya kwemuchina wekuputira kunofanirwa kutarisa kugona kwawo kwekupedzisira kwevacuum uye mashandiro awo chaiwo evacuum mumamiriro ezvinhu chaiwo ekuita.
Kuchenesa Kushanda Kwemagetsi Sechiratidzo Chekuchena Kwemasisitimu
Chimwe chezvinonyanya kukosha zvehunyanzvi hwe "ultimate vacuum" kugona kwayo kuratidza kuchena kwenzvimbo ye "vacuum".
Sezvo kumanikidzwa kuchiderera, huwandu hwemamorekuru egasi akasara mukati mekamuri hunoderera. Izvi zvinoderedza mukana wekuti zvidimbu zvakapwanyika kana zvakadonhera zvichasangana nemamorekuru egasi asingadiwe zvisati zvasvika pasita. Zvinoderedzawo kupinda kwemvura, okisijeni, mahydrocarbon nezvimwe zvinosvibisa mukukura kwefirimu.
Mumaitiro ekuisa mhute mumuviri akadai se magnetron sputtering, arc ion plating, resistance evaporation uye electron-beam evaporation, magasi akasara anogona kuita nemaatomu akachengetwa kana kubatanidzwa mufirimu rinokura. Zvichienderana nechinhu chakaputirwa uye mashandisirwo azvo, izvi zvinogona kutungamira mukuoxidation kusingadzoreki, kuiswa kwetsvina, kudzikira kwehuwandu hwemafirimu, kusagadzikana kwe refractive index, kuwedzera kwe resistivity yemagetsi, kusabatana zvakanaka kana kuchinja kwekuomarara neruvara.
Mhedzisiro yacho inonyanya kukosha muzvipfeko zve optical zvakawanda, mafirimu e semiconductor, zvipfeko zvinofambisa mhepo zvinopenya, mafirimu e metallic reflective uye mamwe mashandisirwo anoda kutonga kwakanyatsojeka pamusoro pekugadzirwa kwefirimu. Kunyangwe kana kumanikidzwa kwekushanda panguva yekuputira kwakakwira zvakanyanya kupfuura kumanikidzwa kwekupedzisira, kumanikidzwa kwekutanga kwakaderera zvakakwana kuchiri kudiwa kuderedza kusvibiswa kwemashure gasi risati ratanga kushandiswa. Mareferensi ekuvhara vacuum mumaindasitiri anosimbisawo kuti kuputira kunoda kudzora kumanikidzwa kwe process-pressure kwakarurama uye kumanikidzwa kwakaderera kwekupedzisira kutsigira kuchena kwe layer uye kugadzikana kwe process.
Saka, vacuum yekupedzisira inofanira kunzwisiswa senzvimbo yekutanga yekuchena kwemaitiro. Izvi zvinosarudza nzvimbo yakasara-gasi iyo mhepo inodzorwa inogadzika.
Simba Pakuumbwa Kwemafirimu uye Kushanda Kwawo
Mhedzisiro yemuchina wekupedzisira wekubvisa mvura inobuda mumhepo inobuda mumhepo inobuda mufirimu.
Pakuputira kwesimbi, okisijeni yakawandisa uye utsi hwemvura zvinogona kukonzera oxidation zvishoma panguva yekuiswa, zvichikanganisa conductivity, reflectivity uye kugadzikana kwemavara. Pakuputira kwe nitride, oxide uye carbide, background yakakwira yegesi inogona kukanganisa chiyero chegasi rinoda kugadziriswa, zvichiita kuti kudzora kwe stoichiometric kuve kwakaoma.
Mumaitiro ekuputira kwemaziso, kusvibiswa kunogona kuchinja refractive index uye extinction coefficient yezvikamu zvakasiyana-siyana. Kana zvikamu zvakawanda zve nanometer-scale zvakarongwa, kutsauka kudiki mukugadzirwa kana density kunogona kuungana, zvichikonzera kuchinja kwespectral, kuderera kwekutumira, kuwedzera kuratidzwa kana kusawirirana kwemavara pakati pezvikamu zvekugadzirwa.
Pamafirimu anofambisa mhepo akadai seITO, AZO, sirivha, mhangura kana mamwe machira anoshanda, kusvibiswa kwegasi rinosara kunogona kuwedzera kuramba kwepepa uye kuderedza kufamba kwemuchina. Mukushandiswa kwepurasitiki yakaoma, kusvibiswa kwakanyanya kunogona kukanganisa kukura kwezviyo, kushushikana kwemukati, kuomarara, kukweshana kwemhepo uye kuramba ngura.
Ultimate vacuum haisarudze zvakananga hunhu hwese uhwu, asi inosimbisa mamiriro emuganhu umo maparamita ekuisa anogona kudzorwa. Nzvimbo yakachena yekutanga yekuisa vacuum inoderedza zvinhu zvisingadzoreki uye inobvumira maparamita ekushanda akadai sekuyerera kwegasi, simba rechinangwa, kusarura kwesubstrate, mwero wekuisa uye tembiricha yesubstrate kuti zviite mabasa azvo anotarisirwa.
Ukama Pakati Pekusimba Kwemuchina Wemagetsi Nekusimba Kweplasma
Mukushandiswa kwemagnetron sputtering, arc ion plating uye plasma-enhanced deposition processes, plasma environment yakagadzikana inoenderana nekudzora kwakavimbika kwegasi uye kumanikidzwa.
Kana kumanikidzwa kwepasi kwakaderera zvakakwana, magasi akasara anova chikamu chemhepo yeplasma. Nzvimbo chaiyo yekubuda kwegasi inobva yasiyana nemaitiro ekuyerera kwegasi anoratidzwa nevanodzora kuyerera kwehuwandu. Izvi zvinogona kukonzera kupiswa kusina kugadzikana, kuchinja kwevoltage yekubuda uye simba remagetsi, shanduko mukushanda kweionization uye shanduko mumamiriro ekugadzirisa kwe reactive.
Kusputtering kwemvura inoshanduka kunonyanya kukanganisa dambudziko iri. Pakuisa ma oxides, nitrides kana mamwe mafirimu akasanganiswa, kuenzana pakati pesimba rechinangwa, kuyerera kwegasi rinoshanduka, kumhanya kwekupomba uye kunyudzwa kwemadziro emukamuri kunosarudza kana maitiro acho achishanda muchimiro chesimbi, chimiro chekuchinja kana chimiro chemakemikari. Kusadzorwa kwegasi rinosara rinoita kuti chiyero ichi chisanyanya kufanotaurwa uye kunogona kuwedzera njodzi yekuva nehupfu hwakanyanya, kutenderera kana kudonha kwehuwandu hwemvura.
Kudzvanywa kwebase kwakaderera uye kunodzokororwa kunoita kuti pave nemamiriro ekutanga akasimba ekubatidza plasma uye kuunza gasi. Izvi zvinovandudza kugona kudzokorora kwekubika uye zvinoderedza huwandu hwekugadzirisa hunodiwa pakati pemabheti.
Kunamatira Kwekupedzisira Kwekuputira uye Kuputira
Kunamatira kwefirimu kunokanganiswa nekuchena kwe substrate, kushanda kwenzvimbo, kusvibiswa kwe interfacial, ion bombardment uye firimu stress. Ultimate vacuum ine basa rakakosha asi risina kunanga mune chimwe nechimwe chezvinhu izvi.
Zvisati zvaiswa, ma substrate anowanzo piswa kana kucheneswa nekubuda kwechiedza, kucheneswa kwe ion-source kana kucheneswa kwe simbi-ion. Kurapa uku kwakagadzirirwa kubvisa magasi anopinda, ma residues e organic uye ma surface layers asina kusimba. Kana chamber iine huwandu hwakawanda hwemvura kana ma hydrocarbon, substrate yakacheneswa inogona kucheneswa nekukurumidza isati yaiswa layer yekutanga inoshanda.
Kumanikidzwa kwakaderera zvakakwana kwebase base kunopfupisa nguva iri pakati pekuchenesa pamusoro uye kuputika kwefirimu mumamiriro ezvinhu akasviba. Izvi zvinobatsira kuchengetedza interface yakachena uye zvinovandudza kushanda kwekuchenesa kweion uye kuiswa kwe adhesion-layer.
Zvisinei, vacuum yakanakisisa chete haigone kuvimbisa kunamira kwakasimba. Kugadziriswa kwe substrate, dhizaini yezvigadzirwa, nzira dzekuchenesa, tembiricha yepamusoro, simba reion uye kushushikana kwefirimu zvinofanirawo kudzorwa nemazvo. Vacuum yekupedzisira inofanira kuonekwa sechimwe chezvinhu zvehurongwa hwakakwana hwekugadzira mainjiniya emukati me ...
Kukosha kweHunhu hweKudonhedza Pump
Mukugadzirwa kwemaindasitiri, nguva inodiwa kuti munhu asvike padanho rekumanikidzwa kwesimba inowanzova yakakosha kupfuura kumanikidzwa kwakaderera kunowanikwa mushure menguva yakareba.
Kamuri rekufukidza rinogona kuzosvika pakumanikidzwa kwakaderera zvakanyanya, asi kana maitiro ekudonhedza pombi akatora nguva yakareba, michina haizosangana nedanho rekugadzira rinodiwa. Kusiyana neizvi, sisitimu inokurumidza kusvika pakumanikidzwa kwakasimba uye kwakakodzera maitiro inogona kupa kukosha kukuru kwekugadzira, kunyangwe kana kumanikidzwa kwayo kwekupedzisira kwedzidziso kusiri kwakaderera kuripo.
Kutenderera kwepombi-pasi kunoratidza ruzivo rwakawanda rweinjiniya kupfuura kuverenga kumwe chete kwekupedzisira. Munguva yekutanga, kudzikira kwedzvinyiriro kunonyanya kutsanangurwa nekubviswa kwehuwandu hwegasi remukamuri. Sezvo kudzvanywa kuri kuramba kuchidzikira, kubviswa kwemvura kubva pamadziro emukamuri, zvigadziriso uye substrates zvishoma nezvishoma kunova mutoro mukuru wegasi. Kana kutenderera kwedzvinyiriro kwasvika padanho risingawanzoitiki, izvi zvinogona kuratidza kubuda kwemvura, kubuda kwegasi zvakanyanya, kusvibiswa, kudzikira kwepombi kana kusakwana kwekumhanya kwakanaka kwekupomba.
Nechikonzero ichi, kuongororwa kwevacuum-system hakufanirwe kusanganisira kumanikidzwa kwekupedzisira chete asiwo nguva yekubuda, maitiro ekuora kwedzvinyiriro, nguva yekupora mushure mekubuda kwemhepo uye kudzokorora kwemaitiro pakati pemadenderedzwa.
Zvinhu Zvinosarudza Kumanikidzwa Kukuru Kunogoneka
Kumanikidzwa kukuru kwemidziyo yekuputira kunotsanangurwa nehurongwa hwese hwe vacuum.
Musanganiswa wepombi yakasarudzwa unoratidza kugona kwepombi. Zvichienderana nehuwandu hunodiwa hwevacuum, sisitimu inogona kushandisa mapombi anotenderera ane vane, mapombi edhiringi akaoma, maRoots boosters, mapombi ekuparadzira, mapombi eturbomolecular kana mapombi ecryogenic. Zvisinei, kusarudza pombi chete hakuna kukwana.
Dhayamita yepombi, kureba kwepombi, geometry yegokora, kufambiswa kwevharuvhu uye nzvimbo yekuisa pombi zvese zvinokanganisa kumhanya kwakanaka kwekupomba pakamuri. Munzvimbo inoyerera mamorekuru, mapaipi akamanikana kana akareba zvakanyanya anogona kudzikamisa kutakurwa kwegasi zvakanyanya.
Zvinhu zvemukamuri nemamiriro epamusoro zvakakosha zvakaenzana. Makamuri esimbi isina ngura anowanzo shanda zvakanaka ne vacuum, asi mhando ye weld, kuomarara kwenzvimbo, huwandu hwakavharirwa uye kusvibiswa kwemukati zvinogona kudzikamisa mashandiro e vacuum. Zvisimbiso zve elastomer zvinoshanda kune akawanda masisitimu ekuputira emaindasitiri, kunyangwe kupindira nekubuda kwegasi kuchifanira kufungwa. Mashandisirwo anoda vacuum yakawanda kwazvo anogona kuda zvisimbiso zvesimbi, zvinhu zvakanongedzerwa, kubika mukamuri uye maitiro ekuchenesa akaomarara.
Kupisa kunokanganisawo vacuum yekupedzisira. Kupisa imba, substrate kana chinhu chinogona kuburitsa utsi hwemvura hwakanyungudutswa uye marara emuchina. Kumanikidzwa kunogona kukwira kwenguva pfupi panguva yekupisa usati wadonha sezvo magasi anoburitswa achibviswa. Nekuda kweizvozvo, kumanikidzwa kweimba inotonhora uye kumanikidzwa kwemhepo inopisa hazvifanirwe kutorwa sezviratidzo zvakafanana.
Kusarudzwa uye kuiswa kwegeji ye vacuum kunofanirawo kufungwa nezvako. Matekinoroji akasiyana egeji ane huwandu hwakasiyana hwekuyera, kunzwa kwegasi uye kushivirira kusvibiswa. Nzvimbo yegeji inogona kukonzera kuti kumanikidzwa kunoratidzwa kusiyane nekumanikidzwa chaiko pedyo ne substrate kana pombi yekupomba. Saka, nhungamiro ye eltimate-vacuum inofanira kutaura nzvimbo yekuyera, rudzi rwegeji, mamiriro ekamuri uye maitiro ekuyedza.
Kushandiswa Kwemagetsi Ekupedzisira Sechishandiso Chekuongorora Midziyo
Kuchinja kwekumanikidzwa kwakanyanya kunopa ruzivo rwakakosha nezvemamiriro emuchina.
Kana kamuri richida nguva yakareba kuti risvike pakumanikidzwa kwakafanana, chikonzero chingave kusvibiswa kwekamuri, mafuta epombi akaora, mapaipi akavharika, misungo yakazadzwa, zvisimbiso zvakasakara kana kusashanda zvakanaka kwepombi. Kana kumanikidzwa kukuru kukangoerekana kwaderera, nzira itsva yekubuda kwemvura kana kutadza kwechikamu kungave kwakaitika.
Kuenzanisa mapombi-down curves pakati pemagadzirirwo ekugadzira kunogona kubatsira mapoka ekugadzirisa kuona kudzikira kwekushanda zvishoma nezvishoma zvisati zvakonzera zvikanganiso zvekufukidza. Kana zvikabatanidzwa nekuona kubuda kwehelium, kuongorora gasi rinosara, kutarisa kwepombi-current uye kunyora data reprocess, maitiro ekupedzisira evacuum anova chiratidzo chinoshanda chekufanotaura-kuchengetedza.
Kuongororwa kwegasi rasara kunobatsira zvikuru kana kumanikidzwa kwese kwega kusingakwanise kutsanangura dambudziko remaitikiro acho. Masisitimu maviri evacuum anogona kuratidza kumanikidzwa kwese kwakafanana uku aine magasi akasiyana. Kamuri rinodzorwa nemweya wemvura rinoita zvakasiyana nerinodzorwa nemhepo inobuda kana kusvibiswa nehydrocarbon. Kumanikidzwa kwese kunoratidza huwandu hwegasi rasara, nepo kuongorora kumanikidzwa kwechikamu chegasi kuchibatsira kuziva kwarinobva.
Kudzvinyirirwa Kuderera Handiko Nguva Dzose Chinangwa Chega
Kunyangwe kumanikidzwa kwakaderera kunowanzoita kuti pave nenzvimbo yakachena yekuisa zvinhu, kutevera kukosha kwakaderera hakugaro ruramiswa nehunyanzvi kana nehupfumi.
Maitiro akasiyana ekuputira ane zvinodiwa zvakasiyana zve vacuum. Mapendi ekushongedza ePVD, ma optical multilayer, mafirimu e semiconductor, ma tooling coatings uye ma architectural coatings enzvimbo hombe haadi kumanikidzwa kwakafanana. Maitiro akawandisa e vacuum cleaner anogona kuwedzera mutengo wemidziyo, nguva yekupomba, kushandiswa kwesimba, kuoma kwekugadzirisa uye kusvibiswa pasina kuwedzera kushanda kwechigadzirwa.
Chinangwa chakakodzera cheinjiniya hachisi chekungowana kumanikidzwa kwakaderera, asi ndechekugadzira mwero we vacuum wakakodzera zvinhu zvekufukidza, nzira yekuisa, mamiriro e substrate uye hunhu hwefirimu hunodiwa.
Sisitimu yakagadzirwa zvakanaka inofanira kusvika pakumanikidzwa kwakatarwa mukati menguva inodiwa yekugadzira, kuchengetedza mamiriro egasi akasara akasimba panguva yekupisa nekuiswa, kupora nguva dzose mushure mekubuda kwemhepo mukamuri uye kutsigira mhedzisiro yekuputira inodzokororwa panguva yekugadzirwa kwenguva refu.
Kuongorora Kushanda Kwenguva Dzose Kubva Pamaonero Ekugadzira
Pakuongorora michina yekuputira yeindasitiri, vashandisi havafanire kuvimba chete nechinhu chisina kuvharika chakanyorwa mupepa rezvakatsanangurwa.
Muedzo wekugamuchira une musoro unofanirwa kutsanangura kana kamuri risina chinhu kana kuti rakazadzwa, kana sisitimu yacho ichitonhora kana kuti ichipisa, kuti yapombwa kwenguva yakareba sei, kuti inji ipi ye vacuum inoshandiswa uye kuti geji yacho yakaiswa kupi. Muedzo uyu unofanirawo kufunga nezve mwero wekubuda kwekamuri, nguva yekudzika kwepombi, kugadzikana kwekumanikidzwa, kudzora process-gas uye kudzokorora kwemaitiro mukati menguva dzakawanda dzekugadzira.
Pakushandisa kwakawanda, zvinogonawo kudiwa kuongorora huwandu hwegasi rinosara, kudzoreredzwa kwekumanikidzwa mushure mekutakurwa kwesubstrate uye maitiro ekumanikidzwa panguva yekuchenesa maion kana kupisa substrate.
Zviratidzo izvi zvinopa ongororo chaiyo yekuti michina iyi inogona kuchengetedza here nzvimbo isina chinhu inodiwa kuti pave nekugadzirwa kwakasimba.
Mhedziso
Kukosha kweinjiniya kwe vacuum yekupedzisira mumidziyo yekuputira hakugumiri pakuti kumanikidzwa kunogona kuderera zvakadii. Kunomiririra kuchena kwenzvimbo yekuisa zvinhu, kusimba kwesystem yekuvhara, kushanda zvakanaka kwehurongwa hwekupomba uye kugona kwemidziyo kudzora magasi akasara.
Muchina wekuputira mvura wakakodzera uye unodzokororwa unobatsira kuderedza kusvibiswa kwefirimu, kugadzirisa kubuda kweplasma, kunatsiridza kuchena kwemukati memaziso uye kutsigira hunhu hwemagetsi, hwekugadzira, uye hwemakanika. Chinonyanya kukosha ndechekuti unogadzira mamiriro ekutanga akavimbika kune yega yega coating cycle.
Pamidziyo yekuputira vacuum yemumaindasitiri, kukosha kwechokwadi kwevacuum yekupedzisira kunofanirwa kuongororwa pamwe chete nenguva yekudzika kwepombi, mwero wekubuda kwemvura, kuumbwa kwegasi rinosara, mashandiro ekamuri rakazadzwa uye kudzokorora kwenguva refu kwemaitiro.
Sisitimu yakanakisisa yekuburitsa mhepo mumhepo haisi iyo inowana kumanikidzwa kwakaderera kwenhamba. Ndiyo inosimbisa nzvimbo yakakodzera yekuburitsa mhepo mumhepo zvinobudirira, inoichengetedza nguva dzose uye inoshandura kugadzikana ikoko kuita mhando yefirimu inodzokororwa uye kugadzirwa kwakawanda kwakavimbika.
Nguva yekutumira: Chikunguru-22-2026