ويڪيوم ڪوٽنگ سامان ۾، الٽيميٽ ويڪيوم اڪثر ڪري اهم ٽيڪنيڪل وضاحتن مان هڪ طور پيش ڪيو ويندو آهي. جڏهن ته، ان جي انجنيئرنگ اهميت ويڪيوم گيج تي ڏيکاريل هڪ واحد پريشر ريڊنگ کان گهڻو اڳتي وڌي ٿي. اهو ويڪيوم چيمبر، پمپنگ سسٽم، سيلنگ جي جوڙجڪ، مواد جي چونڊ، مٿاڇري جي علاج، عمل جي صفائي ۽ ڪنٽرول حڪمت عملي جي گڏيل ڪارڪردگي کي ظاهر ڪري ٿو.
ڪوٽنگ ٺاهيندڙن لاءِ، گهٽ الٽيميٽ پريشر جو عام طور تي مطلب اهو آهي ته سسٽم هڪ صاف ۽ وڌيڪ ڪنٽرول ٿيندڙ جمع ماحول قائم ڪري سگهي ٿو. تنهن هوندي به، الٽيميٽ ويڪيوم جو آزادانه طور تي جائزو نه وٺڻ گهرجي. ان جي اصل قيمت ان ۾ آهي ته ڇا اهو گهربل ڪوٽنگ جي عمل کي سپورٽ ڪري سگهي ٿو، مستحڪم بقايا گيس جي حالتن کي برقرار رکي سگهي ٿو ۽ مسلسل پيداوار جي حالتن هيٺ ورجائي سگهبي پتلي فلم ڪارڪردگي فراهم ڪري سگهي ٿو.
ڪوٽنگ سسٽم ۾ الٽيميٽ ويڪيوم کي سمجهڻ
انجنيئرنگ جي اصطلاح ۾، الٽيميٽ پريشر گهٽ ۾ گهٽ دٻاءُ کي ظاهر ڪري ٿو جيڪو هڪ ويڪيوم پمپ يا ويڪيوم سسٽم مخصوص ٽيسٽ حالتن ۾ ۽ ارادي طور تي گيس لوڊ کان سواءِ غير علامتي طور تي پهچي سگهي ٿو. ISO 3529 ويڪيوم ٽيڪنالاجي لاءِ معياري اصطلاح فراهم ڪري ٿو، جڏهن ته ويڪيوم پمپ ٺاهيندڙ عام طور تي واضح طور تي ڪنٽرول ٿيل آپريٽنگ حالتن هيٺ الٽيميٽ پريشر کي بيان ڪن ٿا.
جڏهن ته، هڪ مڪمل ويڪيوم ڪوٽنگ سسٽم لاءِ، چيمبر اندر ماپيل آخري دٻاءُ صرف ويڪيوم پمپ جي نامياري ڪارڪردگيءَ سان طئي نه ڪيو ويندو آهي. اهو مؤثر پمپنگ جي رفتار ۽ سسٽم اندر ڪل گئس لوڊ جو توازن نتيجو آهي.
هي گئس لوڊ ڪيترن ئي ذريعن کان پيدا ٿي سگهي ٿو، جنهن ۾ فضائي رساو، ورچوئل رساو، پاڻي جي بخارات جي خارج ٿيڻ، سبسٽريٽ آئوٽ گيسنگ، فڪسچر آلودگي، ايلسٽومر پرميئشن، لوبريڪنٽ بيڪ اسٽريمنگ ۽ چيمبر جي مٿاڇري تي جمع ٿيل پروسيس ريزيڊيوز شامل آهن. ويڪيوم پائپ لائنون، والوز، بيفلز ۽ ٻيا جزا پڻ ڪنڊڪٽنس نقصان پيدا ڪن ٿا، مطلب ته چيمبر تي اثرائتي پمپنگ جي رفتار پمپ انليٽ تي درجه بندي پمپنگ جي رفتار کان ڪافي گهٽ ٿي سگهي ٿي.
تنهن ڪري، الٽيميٽ ويڪيوم کي هڪ الڳ ٿيل پمپ پيرا ميٽر جي بدران ويڪيوم-سسٽم انجنيئرنگ جي هڪ جامع اشاري طور وڌيڪ صحيح طور تي سمجهيو ويندو آهي.
اهو پڻ ضروري آهي ته الٽيميٽ پريشر کي بيس پريشر ۽ پروسيس پريشر کان ڌار ڪيو وڃي. الٽيميٽ پريشر عام طور تي مقرر ڪيل نو لوڊ يا ڪلين چيمبر حالتن ۾ ماپيو ويندو آهي. بيس پريشر اهو دٻاءُ آهي جيڪو جمع ڪرڻ جي عمل شروع ٿيڻ کان اڳ پهچي ٿو، عام طور تي سبسٽريٽ ۽ فڪسچر نصب ٿيل هوندا آهن. پروسيس پريشر آرگن، آڪسيجن، نائٽروجن يا ٻين پروسيس گيسن کي متعارف ڪرائڻ کان پوءِ برقرار رکيل ڪنٽرول ٿيل دٻاءُ آهي.
ڪوٽنگ سسٽم شايد چيمبر خالي هجڻ تي بهترين الٽيميٽ پريشر ڏيکاري سگهي ٿو، پر پيداوار دوران اڃا تائين خراب ڪارڪردگي ڏيکاري ٿو جيڪڏهن لوڊ ٿيل سبسٽريٽ وڏي مقدار ۾ پاڻي جي بخارات يا نامياتي آلودگي کي خارج ڪن ٿا. انهي سبب لاءِ، ڪوٽنگ مشين جي انجنيئرنگ تشخيص کي ان جي آخري ويڪيوم صلاحيت ۽ حقيقي عمل جي حالتن هيٺ ان جي حقيقي ويڪيوم ڪارڪردگي ٻنهي تي ڌيان ڏيڻ گهرجي.
سسٽم جي صفائي جي اشاري جي طور تي الٽيميٽ ويڪيوم
الٽيميٽ ويڪيوم جي سڀ کان اهم انجنيئرنگ معنيٰ مان هڪ آهي ان جي ويڪيوم ماحول جي صفائي کي ظاهر ڪرڻ جي صلاحيت.
جيئن دٻاءُ گهٽجي ٿو، چيمبر اندر باقي گئس جي ماليڪيولن جو ڪنسنٽريشن گهٽجي ويندو آهي. اهو امڪان گهٽائي ٿو ته بخارات يا ڦاٽل ذرات سبسٽريٽ تائين پهچڻ کان اڳ ناپسنديده گئس جي ماليڪيولن سان ٽڪرائجن. اهو فلم نيوڪليشن ۽ واڌ ۾ پاڻي جي بخارات، آڪسيجن، هائيڊرو ڪاربن ۽ ٻين آلودگي جي شموليت کي پڻ گهٽائي ٿو.
جسماني بخارات جمع ڪرڻ جي عملن جهڙوڪ ميگنيٽرون اسپٽرنگ، آرڪ آئن پليٽنگ، مزاحمت بخارات ۽ اليڪٽران-شعاع بخارات ۾، باقي گيسون جمع ٿيل ايٽمن سان رد عمل ڪري سگهن ٿيون يا وڌندڙ فلم ۾ شامل ٿي سگهن ٿيون. ڪوٽنگ مواد ۽ استعمال تي منحصر ڪري، اهو بي قابو آڪسائيڊيشن، نجاست شامل ڪرڻ، فلم جي کثافت ۾ گهٽتائي، غير مستحڪم ريفريڪٽو انڊيڪس، بجلي جي مزاحمت ۾ اضافو، خراب آسنجن يا سختي ۽ رنگ ۾ تبديلين جو سبب بڻجي سگهي ٿو.
اهو اثر خاص طور تي ملٽي ليئر آپٽيڪل ڪوٽنگز، سيمي ڪنڊڪٽو ڪوٽنگز، شفاف ڪنڊڪٽو ڪوٽنگز، ميٽالڪ ريفليڪٽو فلمن ۽ ٻين ايپليڪيشنن ۾ اهم ٿي ويندو آهي جن کي فلم جي جوڙجڪ تي صحيح ڪنٽرول جي ضرورت هوندي آهي. جيتوڻيڪ جڏهن اسپٽرنگ دوران ڪم ڪندڙ دٻاءُ آخري دٻاءُ کان گهڻو وڌيڪ هوندو آهي، تڏهن به پروسيس گيس متعارف ڪرائڻ کان اڳ پس منظر جي آلودگي کي گهٽائڻ لاءِ ڪافي گهٽ شروعاتي دٻاءُ ضروري هوندو آهي. صنعتي ويڪيوم ڪوٽنگ جا حوالا ساڳئي طرح زور ڏين ٿا ته اسپٽرنگ کي پرت جي پاڪائي ۽ عمل جي استحڪام کي سپورٽ ڪرڻ لاءِ صحيح پروسيس پريشر ڪنٽرول ۽ گهٽ الٽيميٽ دٻاءُ ٻنهي جي ضرورت هوندي آهي.
تنهن ڪري الٽيميٽ ويڪيوم کي عمل جي صفائي جي شروعاتي نقطي طور سمجهڻ گهرجي. اهو باقي گيس جي پس منظر کي طئي ڪري ٿو جنهن تي ڪنٽرول ٿيل ڪوٽنگ ماحول قائم ٿئي ٿو.
فلم جي جوڙجڪ ۽ فنڪشنل ڪارڪردگي تي اثر
الٽيميٽ ويڪيوم جو اثر آخرڪار جمع ٿيل فلم جي خاصيتن ۾ ظاهر ٿئي ٿو.
ڌاتوئي ڪوٽنگن لاءِ، گهڻي آڪسيجن ۽ پاڻي جي بخارات جمع ٿيڻ دوران جزوي آڪسائيڊيشن جو سبب بڻجي سگهن ٿا، جيڪي چالکائي، عڪاسي ۽ رنگ جي مستقل مزاجي کي متاثر ڪن ٿا. نائٽرائڊ، آڪسائيڊ ۽ ڪاربائيڊ ڪوٽنگن لاءِ، هڪ اعليٰ بقايا گيس پس منظر ارادي رد عمل واري گيس تناسب کي خراب ڪري سگهي ٿو، جيڪو اسٽوچيوميٽرڪ ڪنٽرول کي وڌيڪ ڏکيو بڻائي ٿو.
آپٽيڪل ڪوٽنگ جي عملن ۾، آلودگي انفرادي تہن جي ريفريڪٽو انڊيڪس ۽ ختم ٿيڻ جي کوٽائي کي تبديل ڪري سگهي ٿي. جڏهن ڪيترائي نانو ميٽر-اسڪيل تہه اسٽيڪ ڪيا ويندا آهن، ته ساخت يا کثافت ۾ ننڍا انحراف جمع ٿي سگهن ٿا، جنهن جي نتيجي ۾ اسپيڪٽرل شفٽ، گهٽ ٽرانسميشن، وڌندڙ عڪاسي يا پيداوار بيچ جي وچ ۾ غير مطابقت وارو رنگ پيدا ٿي سگهي ٿو.
ڪنڊڪٽو فلمن جهڙوڪ ITO، AZO، چاندي، ٽامي يا ٻين فنڪشنل پرتن لاءِ، باقي گئس جي آلودگي شيٽ جي مزاحمت کي وڌائي سگھي ٿي ۽ ڪيريئر جي حرڪت کي گھٽائي سگھي ٿي. سخت ڪوٽنگ ايپليڪيشنن ۾، گهڻي نجاست اناج جي واڌ، اندروني دٻاءُ، سختي، رگڙ جي کوٽائي ۽ سنکنرن جي مزاحمت کي متاثر ڪري سگھي ٿي.
الٽيميٽ ويڪيوم انهن سڀني خاصيتن کي سڌو سنئون طئي نٿو ڪري، پر اهو حد جي حالتن کي قائم ڪري ٿو جنهن جي اندر جمع ڪرڻ جي پيرا ميٽرز کي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو. هڪ صاف شروعاتي ويڪيوم ماحول غير ڪنٽرول ٿيل متغيرن کي گھٽائي ٿو ۽ پروسيس پيرا ميٽرز جهڙوڪ گئس جي وهڪري، ٽارگيٽ پاور، سبسٽريٽ بائيس، جمع ڪرڻ جي شرح ۽ سبسٽريٽ جي درجه حرارت کي انهن جي گهربل ڪردار ادا ڪرڻ جي اجازت ڏئي ٿو.
الٽيميٽ ويڪيوم ۽ پلازما استحڪام جي وچ ۾ تعلق
ميگنيٽرون اسپٽرنگ، آرڪ آئن پليٽنگ ۽ پلازما-وڌايل جمع ڪرڻ جي عملن ۾، هڪ مستحڪم پلازما ماحول گئس جي جوڙجڪ ۽ دٻاءُ جي قابل اعتماد ڪنٽرول تي منحصر آهي.
جڏهن بنيادي دٻاءُ ڪافي گهٽ نه هوندو آهي، ته باقي بچيل گيسون پلازما جي ماحول جو حصو بڻجي وينديون آهن. اصل خارج ٿيڻ وارو ماحول پوءِ ماس فلو ڪنٽرولرز پاران ڏيکاريل گئس جي وهڪري جي سيٽنگن کان مختلف هوندو آهي. ان جي نتيجي ۾ غير مستحڪم اگنيشن، خارج ٿيڻ واري وولٽيج ۽ ڪرنٽ ۾ اتار چڙهاؤ، آئنائيزيشن جي ڪارڪردگي ۾ تبديليون ۽ رد عمل واري جمع ٿيڻ جي حالتن ۾ تبديليون ٿي سگهن ٿيون.
رد عمل واري اسپٽرنگ خاص طور تي هن مسئلي لاءِ حساس آهي. جڏهن آڪسائيڊ، نائٽرائڊ يا ٻيون مرڪب فلمون جمع ڪيون وينديون آهن، ته ٽارگيٽ پاور، رد عمل واري گئس جي وهڪري، پمپنگ جي رفتار ۽ چيمبر-وال جذب جي وچ ۾ توازن اهو طئي ڪري ٿو ته اهو عمل ڌاتو موڊ، منتقلي موڊ يا مرڪب موڊ ۾ ڪم ڪري ٿو. هڪ غير ڪنٽرول ٿيل بقايا گئس پس منظر هن توازن کي گهٽ پيش گوئي لائق بڻائي ٿو ۽ ٽارگيٽ زهر، آرسنگ يا جمع ڪرڻ جي شرح جي وهڪري جو خطرو وڌائي سگھي ٿو.
گهٽ ۽ وڌيڪ ورجائي سگهڻ وارو بنيادي دٻاءُ پلازما اگنيشن ۽ گئس جي تعارف لاءِ هڪ مستحڪم شروعاتي حالت فراهم ڪري ٿو. هي ترڪيب جي ورجائي کي بهتر بڻائي ٿو ۽ بيچ جي وچ ۾ گهربل عمل جي ترتيب جي مقدار کي گھٽائي ٿو.
الٽيميٽ ويڪيوم ۽ ڪوٽنگ ايڊيشن
فلم جي چپکڻ سبسٽريٽ جي صفائي، مٿاڇري جي چالو ڪرڻ، انٽرفيشل آلودگي، آئن بمباري ۽ فلم جي دٻاءُ کان متاثر ٿئي ٿي. الٽيميٽ ويڪيوم انهن مان هر هڪ عنصر ۾ اڻ سڌي پر اهم ڪردار ادا ڪري ٿو.
جمع ڪرڻ کان اڳ، ذيلي ذخيرن کي اڪثر گرم ڪيو ويندو آهي يا چمڪ خارج ٿيڻ جي صفائي، آئن-ذريعو صفائي يا ڌاتو-آئن ايچنگ جي تابع ڪيو ويندو آهي. اهي علاج جذب ٿيل گيسن، نامياتي باقيات ۽ ڪمزور طور تي بند ٿيل مٿاڇري جي پرتن کي هٽائڻ لاءِ آهن. جيڪڏهن چيمبر ۾ پاڻي جي بخارات يا هائيڊرو ڪاربن جي وڏي مقدار شامل آهي، ته صاف ٿيل ذيلي ذخيري جي مٿاڇري کي پهرين فنڪشنل پرت جمع ٿيڻ کان اڳ تيزي سان ٻيهر آلوده ڪيو وڃي ٿو.
ڪافي گهٽ بنيادي دٻاءُ آلوده حالتن ۾ مٿاڇري جي صفائي ۽ فلم جي نيوڪليشن جي وچ ۾ وقت کي گهٽائي ٿو. هي هڪ صاف انٽرفيس کي برقرار رکڻ ۾ مدد ڪري ٿو ۽ آئن جي صفائي ۽ چپکڻ واري پرت جي جمع جي اثرائتي کي بهتر بڻائي ٿو.
جڏهن ته، بهترين الٽيميٽ ويڪيوم اڪيلو مضبوط چپڪندڙ جي ضمانت نٿو ڏئي سگهي. سبسٽريٽ پريٽريٽمينٽ، فڪسچر ڊيزائن، صفائي جي طريقيڪار، مٿاڇري جو گرمي پد، آئن توانائي ۽ فلم جي دٻاءُ کي پڻ صحيح طور تي ڪنٽرول ڪرڻ گهرجي. الٽيميٽ ويڪيوم کي مڪمل انٽرفيشل-انجنيئرنگ حڪمت عملي جي هڪ عنصر طور ڏٺو وڃي.
پمپ-ڊائون خاصيتن جي اهميت
صنعتي پيداوار ۾، حدف جي بنيادي دٻاءُ تائين پهچڻ لاءِ گهربل وقت اڪثر ڪري ڊگهي عرصي کان پوءِ حاصل ڪيل گهٽ ۾ گهٽ دٻاءُ کان وڌيڪ اهم هوندو آهي.
ڪوٽنگ چيمبر آخرڪار تمام گهٽ الٽيميٽ پريشر تائين پهچي سگهي ٿو، پر جيڪڏهن پمپ-ڊائون عمل تمام گهڻو وقت وٺندو آهي، ته سامان گهربل پيداوار چڪر کي پورو نه ڪندو. ان جي برعڪس، هڪ سسٽم جيڪو تيزيءَ سان هڪ مستحڪم ۽ پروسيس-مناسب بنيادي دٻاءُ تائين پهچي ٿو، اهو وڌيڪ پيداوار جي قيمت فراهم ڪري سگهي ٿو، جيتوڻيڪ ان جو نظرياتي الٽيميٽ پريشر گهٽ ۾ گهٽ دستياب نه هجي.
پمپ-ڊائون وکر هڪ واحد آخري پڙهڻ کان وڌيڪ انجنيئرنگ معلومات ظاهر ڪري ٿو. شروعاتي مرحلي دوران، دٻاءُ ۾ گهٽتائي بنيادي طور تي چيمبر جي مقدار واري گئس جي خارج ٿيڻ سان طئي ڪئي ويندي آهي. جيئن دٻاءُ گهٽجڻ جاري آهي، چيمبر جي ڀتين، فڪسچر ۽ سبسٽريٽس مان ڊيسورپشن آهستي آهستي غالب گئس لوڊ بڻجي ويندو آهي. جيڪڏهن دٻاءُ وارو وکر هڪ غير معمولي پليٽو تي پهچي ٿو، ته اهو رساو، گهڻي آئوٽ گيسنگ، آلودگي، پمپ جي خرابي يا ناکافي اثرائتي پمپنگ رفتار جي نشاندهي ڪري سگهي ٿو.
انهيءَ ڪري، ويڪيوم-سسٽم جي تشخيص ۾ نه رڳو آخري دٻاءُ پر انخلا جو وقت، دٻاءُ-سڙڻ جون خاصيتون، وينٽيليشن کان پوءِ بحالي جو وقت ۽ چڪرن جي وچ ۾ ورجائڻ جي صلاحيت شامل هجڻ گهرجي.
حاصل ٿيندڙ الٽيميٽ پريشر کي طئي ڪرڻ وارا عنصر
ڪوٽنگ جي سامان جو آخري دٻاءُ پوري ويڪيوم آرڪيٽيڪچر ذريعي طئي ڪيو ويندو آهي.
چونڊيل پمپ جو ميلاپ نظرياتي پمپنگ جي صلاحيت قائم ڪري ٿو. گهربل ويڪيوم رينج تي منحصر ڪري، سسٽم روٽري وين پمپ، ڊرائي اسڪرو پمپ، روٽس بوسٽر، ڊفيوژن پمپ، ٽربو ماليڪيولر پمپ يا ڪرائيوجينڪ پمپ استعمال ڪري سگھي ٿو. جڏهن ته، صرف پمپ جي چونڊ ڪافي ناهي.
پائپ لائن جو قطر، پائپ لائن جي ڊيگهه، ڪُنڀ جي جاميٽري، والو جي چالاڪيءَ ۽ پمپ جي انسٽاليشن جي پوزيشن سڀ چيمبر ۾ اثرائتي پمپنگ جي رفتار کي متاثر ڪن ٿا. ماليڪيولر-وهڪري واري علائقي ۾، تنگ يا تمام گهڻيون ڊگهيون پائپ لائنون گئس جي نقل و حمل کي خاص طور تي محدود ڪري سگهن ٿيون.
چيمبر جو مواد ۽ مٿاڇري جون حالتون هڪجهڙيون اهم آهن. اسٽينلیس سٹیل جا چيمبر عام طور تي سازگار ويڪيوم مطابقت پيش ڪن ٿا، پر ويلڊ جي معيار، مٿاڇري جي خرابي، ڦاٿل مقدار ۽ اندروني آلودگي اڃا تائين ويڪيوم ڪارڪردگي کي محدود ڪري سگهن ٿا. ايلسٽومر سيل ڪيترن ئي صنعتي ڪوٽنگ سسٽم لاءِ عملي آهن، جيتوڻيڪ پرميشن ۽ آئوٽ گيسنگ تي غور ڪيو وڃي. الٽرا هاءِ ويڪيوم جي ضرورت رکندڙ ايپليڪيشنن کي ڌاتو سيل، خاص مواد، چيمبر بيڪنگ ۽ سخت صفائي جي طريقيڪار جي ضرورت پوندي.
گرمي پد پڻ آخري ويڪيوم تي اثر انداز ٿئي ٿو. چيمبر، سبسٽريٽ يا فڪسچر کي گرم ڪرڻ سان جذب ٿيل پاڻي جي بخارات ۽ عمل جي باقيات خارج ٿي سگهن ٿا. دٻاءُ عارضي طور تي گرم ڪرڻ دوران وڌي سگهي ٿو ۽ پوءِ گهٽجي سگهي ٿو جيئن جاري ٿيل گيسون هٽايون وڃن. نتيجي طور، ٿڌي چيمبر جي دٻاءُ ۽ گرم عمل جي دٻاءُ کي برابر اشارن جي طور تي نه سمجهيو وڃي.
ويڪيوم گيج جي چونڊ ۽ انسٽاليشن تي پڻ غور ڪرڻ گهرجي. مختلف گيج ٽيڪنالاجيون مختلف ماپ جون حدون، گئس جي حساسيت ۽ آلودگي برداشت ڪن ٿيون. گيج جي پوزيشن شايد ڏيکاريل دٻاءُ کي سبسٽريٽ يا پمپنگ پورٽ جي ويجهو اصل دٻاءُ کان مختلف ڪري سگهي ٿي. تنهن ڪري هڪ قابل اعتماد الٽيميٽ ويڪيوم وضاحت کي ماپڻ جي پوزيشن، گيج جي قسم، چيمبر جي حالت ۽ ٽيسٽ جي طريقيڪار کي بيان ڪرڻ گهرجي.
الٽيميٽ ويڪيوم سامان جي تشخيص لاءِ هڪ اوزار جي طور تي
آخري دٻاءُ ۾ تبديليون سامان جي حالت بابت قيمتي معلومات فراهم ڪن ٿيون.
جيڪڏهن چيمبر کي ساڳئي دٻاءُ تائين پهچڻ لاءِ آهستي آهستي وڌيڪ وقت جي ضرورت آهي، ته ان جو سبب چيمبر جي آلودگي، خراب ٿيل پمپ آئل، بلاڪ ٿيل پائپ لائنون، سير ٿيل ٽريپس، خراب ٿيل سيل يا پمپ جي ڪارڪردگي ۾ گهٽتائي ٿي سگهي ٿي. جيڪڏهن آخري دٻاءُ اوچتو خراب ٿئي ٿو، ته هڪ نئون رساو رستو يا جزو جي ناڪامي ٿي سگهي ٿي.
پيداوار جي چڪرن جي وچ ۾ پمپ-ڊائون وکر جو مقابلو ڪرڻ سان سار سنڀال ٽيمن کي بتدريج ڪارڪردگي جي خرابي جي سڃاڻپ ڪرڻ ۾ مدد ڪري سگھي ٿي ان کان اڳ جو اهو ڪوٽنگ جي خرابين جو نتيجو بڻجي. جڏهن هيليم ليڪ جي ڳولا، بقايا گيس جي تجزيي، پمپ-ڪرنٽ مانيٽرنگ ۽ پروسيس-ڊيٽا لاگنگ سان گڏ ڪيو ويندو آهي، ته الٽيميٽ-ويڪيوم رجحانات هڪ مؤثر اڳڪٿي-بحالي اشارو بڻجي ويندا آهن.
باقي گئس جو تجزيو خاص طور تي مفيد آهي جڏهن صرف ڪل دٻاءُ ڪنهن عمل جي مسئلي کي بيان نٿو ڪري سگهي. ٻه ويڪيوم سسٽم ساڳيا ڪل دٻاءُ ڏيکاري سگهن ٿا جڏهن ته تمام مختلف گئس جي جوڙجڪ تي مشتمل هوندا آهن. پاڻي جي بخارات سان ڀريل هڪ چيمبر هوا جي رساو يا هائيڊرو ڪاربن آلودگي سان ڀريل هڪ کان مختلف طريقي سان ڪم ڪندو آهي. ڪل دٻاءُ باقي گئس جي مقدار کي ظاهر ڪري ٿو، جڏهن ته جزوي دٻاءُ جو تجزيو ان جي اصليت کي سڃاڻڻ ۾ مدد ڪري ٿو.
گهٽ دٻاءُ هميشه واحد مقصد ناهي
جيتوڻيڪ گهٽ الٽيميٽ پريشر عام طور تي هڪ صاف جمع ماحول فراهم ڪري ٿو، گهٽ ۾ گهٽ ممڪن قدر جي پيروي ڪرڻ هميشه ٽيڪنيڪل يا اقتصادي طور تي جائز ناهي.
مختلف ڪوٽنگ جي عملن ۾ مختلف ويڪيوم گهرجون هونديون آهن. آرائشي پي وي ڊي ڪوٽنگ، آپٽيڪل ملٽي ليئرز، سيمي ڪنڊڪٽر فلمون، ٽولنگ ڪوٽنگ ۽ وڏي ايراضي واري آرڪيٽيڪچرل ڪوٽنگن کي هڪجهڙا بنيادي دٻاءُ جي ضرورت ناهي. گهڻي ويڪيوم وضاحتون سامان جي قيمت، پمپ-ڊائون وقت، توانائي جي استعمال، سار سنڀال جي پيچيدگي ۽ آلودگي جي حساسيت کي وڌائي سگهن ٿيون بغير پيداوار جي ڪارڪردگي ۾ متناسب بهتري پيدا ڪرڻ جي.
تنهن ڪري صحيح انجنيئرنگ جو مقصد صرف گهٽ ۾ گهٽ دٻاءُ حاصل ڪرڻ نه آهي، پر هڪ ويڪيوم ليول قائم ڪرڻ آهي جيڪو ڪوٽنگ مواد، جمع ڪرڻ جي طريقي، سبسٽريٽ جي حالت ۽ گهربل فلم جي خاصيتن لاءِ مناسب هجي.
هڪ چڱيءَ طرح ٺهيل نظام کي گهربل پيداوار جي چڪر اندر مخصوص بنيادي دٻاءُ تائين پهچڻ گهرجي، گرم ڪرڻ ۽ جمع ڪرڻ دوران مستحڪم بقايا گيس جي حالتن کي برقرار رکڻ گهرجي، چيمبر وينٽنگ کان پوءِ مسلسل بحال ٿيڻ گهرجي ۽ ڊگهي مدت جي پيداوار دوران ورجائيندڙ ڪوٽنگ جي نتيجن کي سپورٽ ڪرڻ گهرجي.
پيداوار جي نقطه نظر کان الٽيميٽ ويڪيوم جو جائزو وٺڻ
صنعتي ڪوٽنگ سامان جو جائزو وٺڻ وقت، صارفين کي صرف وضاحتي شيٽ ۾ بيان ڪيل الٽيميٽ-ويڪيوم ويليو تي ڀروسو ڪرڻ کان پاسو ڪرڻ گهرجي.
هڪ بامعني قبوليت ٽيسٽ کي اهو بيان ڪرڻ گهرجي ته چيمبر خالي آهي يا لوڊ ٿيل آهي، ڇا سسٽم ٿڌو آهي يا گرم، ان کي ڪيتري وقت تائين پمپ ڪيو ويو آهي، ڪهڙو ويڪيوم گيج استعمال ڪيو ويو آهي ۽ گيج ڪٿي نصب ڪيو ويو آهي. ٽيسٽ کي چيمبر جي لڪيج جي شرح، پمپ-ڊائون وقت، دٻاءُ جي استحڪام، پروسيس-گيس ڪنٽرول ۽ ڪيترن ئي پيداواري چڪرن تي ورجائڻ جي صلاحيت تي پڻ غور ڪرڻ گهرجي.
گهربل ايپليڪيشنن لاءِ، آئن صفائي يا سبسٽريٽ گرم ڪرڻ دوران باقي گئس جي جوڙجڪ، سبسٽريٽ لوڊ ڪرڻ کان پوءِ دٻاءُ جي بحالي ۽ دٻاءُ جي رويي جو جائزو وٺڻ پڻ ضروري ٿي سگھي ٿو.
اهي اشارا هڪ وڌيڪ حقيقي جائزو فراهم ڪن ٿا ته ڇا سامان مستحڪم وڏي پيماني تي پيداوار لاءِ گهربل ويڪيوم ماحول کي برقرار رکي سگهي ٿو.
ٿڪل
ڪوٽنگ جي سامان ۾ الٽيميٽ ويڪيوم جي انجنيئرنگ اهميت صرف ان تائين محدود ناهي ته دٻاءُ ڪيترو گهٽجي سگهي ٿو. اهو جمع ڪرڻ واري ماحول جي صفائي، سيلنگ سسٽم جي سالميت، پمپنگ آرڪيٽيڪچر جي اثرائتي ۽ باقي گيسن کي ڪنٽرول ڪرڻ جي سامان جي صلاحيت جي نمائندگي ڪري ٿو.
هڪ مناسب ۽ ورجائي سگهڻ وارو الٽيميٽ ويڪيوم فلم جي آلودگي کي گهٽائڻ، پلازما ڊسچارج کي مستحڪم ڪرڻ، انٽرفيشل صفائي کي بهتر بڻائڻ ۽ مسلسل آپٽيڪل، برقي، آرائشي ۽ ميڪيڪل خاصيتن جي حمايت ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿو. وڌيڪ اهم طور تي، اهو هر ڪوٽنگ چڪر لاءِ هڪ قابل اعتماد شروعاتي حالت پيدا ڪري ٿو.
صنعتي ويڪيوم ڪوٽنگ سامان لاءِ، الٽيميٽ ويڪيوم جي حقيقي قدر جو جائزو پمپ-ڊائون وقت، ليڪيج جي شرح، باقي گيس جي جوڙجڪ، لوڊ ٿيل چيمبر جي ڪارڪردگي ۽ ڊگهي مدت جي عمل جي ورجائي جي قابليت سان گڏ وٺڻ گهرجي.
بهترين ويڪيوم سسٽم ضروري ناهي ته اهو گهٽ ۾ گهٽ عددي دٻاءُ حاصل ڪري. اهو اهو آهي جيڪو صحيح ويڪيوم ماحول کي موثر طريقي سان قائم ڪري ٿو، ان کي مسلسل برقرار رکي ٿو ۽ ان استحڪام کي ورجائي سگهڻ واري فلم جي معيار ۽ قابل اعتماد وڏي پيماني تي پيداوار ۾ تبديل ڪري ٿو.
پوسٽ جو وقت: جولاءِ 22-2026