Аҳамияти муҳандисии вакууми ниҳоӣ дар таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣ

Дар таҷҳизоти рӯйпӯшкунии вакуумӣ, вакууми ниҳоӣ аксар вақт ҳамчун яке аз хусусиятҳои калидии техникӣ пешниҳод карда мешавад. Аммо, аҳамияти муҳандисии он аз як хониши фишор, ки дар манометри вакуум нишон дода мешавад, хеле фаротар меравад. Он кори якҷояи камераи вакуумӣ, системаи насоскунӣ, сохтори мӯҳркунӣ, интихоби мавод, коркарди сатҳ, тозагии раванд ва стратегияи назоратро инъикос мекунад.

Барои истеҳсолкунандагони рӯйпӯш, фишори ниҳоии пасттар одатан маънои онро дорад, ки система метавонад муҳити тозатар ва назоратшавандаи таҳшинкуниро фароҳам орад. Бо вуҷуди ин, вакууми ниҳоиро набояд мустақилона арзёбӣ кард. Арзиши воқеии он дар он аст, ки оё он метавонад раванди зарурии рӯйпӯшкуниро дастгирӣ кунад, шароити устувори гази боқимондаро нигоҳ дорад ва дар шароити истеҳсоли пайваста самаранокии такроршавандаи плёнкаи тунукро таъмин кунад.

Фаҳмидани чангкашаки ниҳоӣ дар системаҳои рӯйпӯшкунӣ

Дар истилоҳоти муҳандисӣ, фишори ниҳоӣ ба пасттарин фишор ишора мекунад, ки насоси вакуумӣ ё системаи вакуумӣ метавонад дар шароити озмоишии муайяншуда ва бидуни бори гази қасдан ба таври асимптотикӣ наздик шавад. ISO 3529 истилоҳоти стандартишударо барои технологияи вакуумӣ пешниҳод мекунад, дар ҳоле ки истеҳсолкунандагони насосҳои вакуумӣ одатан фишори ниҳоиро дар шароити кори возеҳ назоратшаванда муайян мекунанд.

Аммо, барои системаи пурраи пӯшиши вакуумӣ, фишори ниҳоии ченшуда дар дохили камера танҳо аз рӯи кори номиналии насоси вакуумӣ муайян карда намешавад, балки натиҷаи мувозинати суръати самараноки насоскунӣ ва бори умумии газ дар дохили система мебошад.

Ин бори газ метавонад аз якчанд манбаъҳо, аз ҷумла ихроҷи атмосфера, ихроҷи виртуалӣ, десорбсияи буғи об, гази беруншавии субстрат, ифлосшавии арматура, воридшавии эластомер, ҷараёни баръакси равған ва боқимондаҳои коркард, ки дар сатҳҳои камера ҷойгир шудаанд, сарчашма гирад. Қубурҳои вакуумӣ, клапанҳо, монеаҳо ва дигар ҷузъҳо низ талафоти ноқилиятро ба вуҷуд меоранд, ки маънои онро дорад, ки суръати муассири насоскунӣ дар камера метавонад аз суръати номиналии насоскунӣ дар вуруди насос хеле пасттар бошад.

Аз ин рӯ, вакууми ниҳоӣ нисбат ба параметри ҷудогонаи насос, дақиқтар ҳамчун нишондиҳандаи ҳамаҷонибаи муҳандисии системаи вакуум баррасӣ мешавад.

Инчунин муҳим аст, ки фишори ниҳоӣ аз фишори асосӣ ва фишори раванд фарқ карда шавад. Фишори ниҳоӣ одатан дар шароити муайяншудаи бебор ё камераи тоза чен карда мешавад. Фишори асосӣ ба фишоре ишора мекунад, ки пеш аз оғози раванди таҳшинкунӣ, одатан ҳангоми насб кардани субстратҳо ва арматураҳо, ба даст омадааст. Фишори раванд фишори назоратшавандаест, ки пас аз ворид кардани аргон, оксиген, нитроген ё дигар газҳои раванд нигоҳ дошта мешавад.

Системаи рӯйпӯшкунӣ метавонад фишори ниҳоии аълоро ҳангоми холӣ будани камера нишон диҳад, аммо дар давоми истеҳсолот бад кор кунад, агар субстратҳои пурбор миқдори зиёди буғи об ё ифлоскунандаҳои органикиро хориҷ кунанд. Аз ин сабаб, арзёбии муҳандисии мошини рӯйпӯшкунӣ бояд ҳам ба қобилияти ниҳоии вакуумии он ва ҳам ба кори воқеии вакуумии он дар шароити воқеии раванд нигаронида шавад.

Чангкашаки ниҳоӣ ҳамчун нишондиҳандаи тозагии система

Яке аз муҳимтарин маъноҳои муҳандисии вакууми ниҳоӣ қобилияти он барои инъикоси тозагии муҳити вакуумӣ мебошад.

Ҳангоми коҳиш ёфтани фишор, консентратсияи молекулаҳои боқимондаи газ дар дохили камера кам мешавад. Ин эҳтимолияти бархӯрди зарраҳои бухоршуда ё пошидашуда бо молекулаҳои гази номатлубро пеш аз расидан ба субстрат коҳиш медиҳад. Он инчунин иштироки буғи об, оксиген, гидрокарбонҳо ва дигар ифлоскунандаҳоро дар ташаккул ва афзоиши плёнка коҳиш медиҳад.

Дар равандҳои ҷойгиршавии буғи физикӣ, ба монанди пошидани магнетрон, пӯшонидани ионҳои камон, бухоршавии муқовимат ва бухоршавии шуоъҳои электронӣ, газҳои боқимонда метавонанд бо атомҳои ҷойгиршуда реаксия кунанд ё ба плёнкаи афзоянда дохил шаванд. Вобаста аз маводи пӯшиш ва татбиқ, ин метавонад ба оксидшавии беназорат, воридшавии ифлосӣ, коҳиши зичии плёнка, нишондиҳандаи ноустувори шикаст, афзоиши муқовимати барқӣ, часпакии суст ё тағирёбии сахтӣ ва ранг оварда расонад.

Ин таъсир махсусан дар пӯшишҳои оптикии бисёрқабата, плёнкаҳои нимноқилӣ, пӯшишҳои шаффофи ноқилӣ, плёнкаҳои инъикоскунандаи металлӣ ва дигар барномаҳое, ки назорати дақиқи таркиби плёнкаро талаб мекунанд, назаррас мегардад. Ҳатто вақте ки фишори корӣ ҳангоми пошидан аз фишори ниҳоӣ хеле баландтар аст, фишори ибтидоии кофӣ паст барои кам кардани ифлосшавии замина пеш аз ворид кардани гази равандӣ зарур аст. Ба ҳамин монанд, истинодҳо дар бораи пӯшиши вакуумии саноатӣ таъкид мекунанд, ки пошидан ҳам назорати дақиқи фишори раванд ва ҳам фишори ниҳоии пастро барои дастгирии тозагии қабат ва устувории раванд талаб мекунад.

Аз ин рӯ, вакууми ниҳоӣ бояд ҳамчун нуқтаи ибтидоии тозагии раванд фаҳмида шавад. Он заминаи гази боқимондаро муайян мекунад, ки дар он фазои пӯшиши назоратшаванда муқаррар карда мешавад.

Таъсир ба таркиби филм ва иҷрои функсионалӣ

Таъсири вакууми ниҳоӣ дар ниҳоят дар хосиятҳои плёнкаи гузошташуда инъикос меёбад.

Барои рӯйпӯшҳои металлӣ, оксиген ва буғи аз ҳад зиёди об метавонанд ҳангоми таҳшиншавӣ қисман оксидшавиро ба вуҷуд оранд, ки ба гузаронандагӣ, инъикос ва консистенсияи ранг таъсир мерасонад. Барои рӯйпӯшҳои нитридӣ, оксидӣ ва карбидӣ, заминаи баланди гази боқимонда метавонад таносуби гази реактивии пешбинишударо халалдор кунад ва назорати стехиометриро душвортар кунад.

Дар равандҳои пӯшиши оптикӣ, ифлосшавӣ метавонад нишондиҳандаи шикаст ва коэффисиенти хомӯшшавии қабатҳои алоҳидаро тағйир диҳад. Вақте ки қабатҳои сершумори нанометрӣ якҷоя карда мешаванд, инҳирофҳои хурд дар таркиб ё зичӣ метавонанд ҷамъ шаванд, ки боиси тағйироти спектрӣ, коҳиши гузариш, афзоиши инъикос ё номувофиқии ранг байни партияҳои истеҳсолӣ мегардад.

Барои плёнкаҳои ноқилӣ ба монанди ITO, AZO, нуқра, мис ё дигар қабатҳои функсионалӣ, ифлосшавии гази боқимонда метавонад муқовимати варақҳоро афзоиш диҳад ва ҳаракати интиқолдиҳандаро коҳиш диҳад. Дар истифодаҳои рӯйпӯши сахт, ифлосҳои аз ҳад зиёд метавонанд ба афзоиши донаҳо, фишори дохилӣ, сахтӣ, коэффитсиенти соиш ва муқовимати зангзанӣ таъсир расонанд.

Вакууми ниҳоӣ ҳамаи ин хосиятҳоро мустақиман муайян намекунад, аммо он шароити марзиро муқаррар мекунад, ки дар дохили онҳо параметрҳои таҳшиншавӣ метавонанд назорат карда шаванд. Муҳити тозатари ибтидоии вакуумӣ тағирёбандаҳои беназоратро кам мекунад ва имкон медиҳад, ки параметрҳои раванд ба монанди ҷараёни газ, қувваи мақсаднок, майли субстрат, суръати таҳшиншавӣ ва ҳарорати субстрат нақши пешбинишудаи худро бозанд.

Робитаи байни вакууми ниҳоӣ ва устувории плазма

Дар равандҳои пошидани магнетронӣ, пӯшонидани ионҳои камоншакл ва таҳшинкунии плазма бо тақвияти муҳити устувори плазма аз назорати боэътимоди таркиб ва фишори газ вобаста аст.

Вақте ки фишори асосӣ ба қадри кофӣ паст нест, газҳои боқимонда ба қисми атмосфераи плазма табдил меёбанд. Сипас, муҳити воқеии ихроҷ аз танзимоти ҷараёни газ, ки аз ҷониби контроллерҳои ҷараёни масса нишон дода шудаанд, фарқ мекунад. Ин метавонад боиси ноустувории афрӯхтан, ноустувории шиддат ва ҷараёни ихроҷ, тағирёбии самаранокии ионизатсия ва тағирёбии шароити таҳшиншавии реактивӣ гардад.

Пошидани реактивӣ ба ин мушкилот махсусан ҳассос аст. Ҳангоми гузоштани оксидҳо, нитридҳо ё дигар плёнкаҳои мураккаб, тавозуни байни қувваи ҳадаф, ҷараёни гази реактивӣ, суръати насос ва адсорбсияи девори камера муайян мекунад, ки оё раванд дар ҳолати металлӣ, ҳолати гузариш ё ҳолати пайвастагӣ кор мекунад. Заминаи гази боқимондаи беназорат ин тавозунро камтар пешгӯишаванда мегардонад ва метавонад хатари заҳролудшавии ҳадаф, камоншакл ё гардиши суръати ҷойгиршавиро зиёд кунад.

Фишори пасттар ва такроршавандаи пойгоҳ шароити ибтидоии устуворро барои афрӯхтани плазма ва воридшавии газ фароҳам меорад. Ин такроршавандагии рецептро беҳтар мекунад ва миқдори танзими равандро, ки байни партияҳо зарур аст, кам мекунад.

Часпиши ниҳоии чангкашак ва рӯйпӯш

Часпиши плёнка аз тозагии субстрат, фаъолшавии сатҳ, олудагии байни сатҳҳо, бомбаборони ионҳо ва фишори плёнка таъсир мегирад. Вакууми ниҳоӣ дар ҳар яки ин омилҳо нақши ғайримустақим, вале муҳим мебозад.

Пеш аз таҳшинкунӣ, субстратҳо аксар вақт гарм карда мешаванд ё ба тозакунии разряди дурахшон, тозакунии манбаи ион ё кандакории металл-ион дучор карда мешаванд. Ин коркардҳо барои тоза кардани газҳои адсорбсияшуда, боқимондаҳои органикӣ ва қабатҳои сатҳии суст пайвастшуда пешбинӣ шудаанд. Агар камера консентратсияи баланди буғи об ё гидрокарбонҳоро дар бар гирад, сатҳи субстрати тозашуда метавонад пеш аз таҳшинкунии қабати аввали функсионалӣ зуд дубора олуда шавад.

Фишори пасти пойгоҳ вақти байни тозакунии сатҳ ва ташаккули плёнкаро дар шароити олуда кӯтоҳ мекунад. Ин ба нигоҳ доштани сатҳи тозатар мусоидат мекунад ва самаранокии тозакунии ионҳо ва ҷойгиркунии қабати часпакро беҳтар мекунад.

Аммо, танҳо вакууми аълои ниҳоӣ наметавонад часпакии мустаҳкамро кафолат диҳад. Коркарди пешакии таҳкурсӣ, тарҳрезии асбобҳо, тартиби тозакунӣ, ҳарорати сатҳ, энергияи ион ва фишори плёнка низ бояд дуруст назорат карда шаванд. Вакууми ниҳоӣ бояд ҳамчун яке аз унсурҳои стратегияи пурраи муҳандисии интерфейс баррасӣ шавад.

Аҳамияти хусусиятҳои насоси поёнӣ

Дар истеҳсоли саноатӣ, вақти зарурӣ барои расидан ба фишори асосии мақсаднок аксар вақт нисбат ба пасттарин фишор пас аз муддати тӯлонӣ муҳимтар аст.

Камераи рӯйпӯшкунӣ метавонад дар ниҳоят ба фишори ниҳоии хеле паст бирасад, аммо агар раванди аз об пур кардан хеле тӯлонӣ шавад, таҷҳизот ба давраи истеҳсолии зарурӣ ҷавобгӯ нахоҳад буд. Баръакс, системае, ки зуд ба фишори асосии устувор ва мувофиқи раванд мерасад, метавонад арзиши истеҳсолии бештарро таъмин кунад, ҳатто агар фишори ниҳоии назариявии он пасттарин набошад.

Хатти пастшавии насос нисбат ба як хониши ниҳоӣ маълумоти бештари муҳандисиро нишон медиҳад. Дар марҳилаи ибтидоӣ, коҳиши фишор асосан аз хориҷ кардани гази ҳаҷми камера муайян карда мешавад. Ҳангоми коҳиши фишор, десорбсия аз деворҳои камера, асбобҳо ва субстратҳо тадриҷан ба бори асосии газ табдил меёбад. Агар хатти фишор ба сатҳи ғайримуқаррарӣ расад, ин метавонад ихроҷ, аз ҳад зиёд газ баровардан, ифлосшавӣ, вайроншавии насос ё суръати нокифояи самараноки насосро нишон диҳад.

Аз ин рӯ, арзёбии системаи вакуумӣ бояд на танҳо фишори ниҳоӣ, балки вақти эвакуатсия, хусусиятҳои коҳиши фишор, вақти барқароршавӣ пас аз вентилятсия ва такроршавандагии байни давраҳоро низ дар бар гирад.

Омилҳое, ки фишори ниҳоии дастрасро муайян мекунанд

Фишори ниҳоии таҷҳизоти рӯйпӯшкунӣ аз ҷониби тамоми меъмории вакуум муайян карда мешавад.

Комбинатсияи насосҳои интихобшуда қобилияти назариявии насоскуниро муқаррар мекунад. Вобаста аз диапазони зарурии вакуум, система метавонад насосҳои гардишкунандаи вентилятсия, насосҳои хушки винтӣ, бустерҳои Рутс, насосҳои диффузия, насосҳои турбомолекулавӣ ё насосҳои криогениро истифода барад. Аммо, танҳо интихоби насос кофӣ нест.

Диаметри лӯла, дарозии лӯла, геометрияи оринҷ, гузаронандагии клапанҳо ва мавқеи насби насос ҳама ба суръати самараноки насоскунӣ дар камера таъсир мерасонанд. Дар минтақаи ҷараёни молекулавӣ, лӯлаҳои танг ё аз ҳад дароз метавонанд интиқоли газро ба таври назаррас маҳдуд кунанд.

Маводҳои камера ва шароити сатҳ ба ҳамин андоза муҳиманд. Камераҳои аз пӯлоди зангногир одатан мутобиқати мусоиди вакуумро пешниҳод мекунанд, аммо сифати кафшер, ноҳамвории сатҳ, ҳаҷми дармонда ва ифлосшавии дохилӣ метавонанд кори вакуумро маҳдуд кунанд. Мӯҳрҳои эластомерӣ барои бисёр системаҳои рӯйпӯши саноатӣ амалӣ мебошанд, гарчанде ки воридшавӣ ва беруншавии газ бояд ба назар гирифта шавад. Барномаҳое, ки вакууми ултрабаландро талаб мекунанд, метавонанд мӯҳрҳои металлӣ, маводҳои махсус, нонпазии камера ва тартибҳои тозакунии сахттарро талаб кунанд.

Ҳарорат инчунин ба вакууми ниҳоӣ таъсир мерасонад. Гарм кардани камера, субстрат ё арматура метавонад буғи об ва боқимондаҳои адсорбсияшудаи равандро раҳо кунад. Фишор метавонад ҳангоми гармкунӣ муваққатан баланд шавад, пеш аз он ки газҳои раҳошуда хориҷ карда шаванд. Дар натиҷа, фишори камераи хунук ва фишори раванди гарм набояд ҳамчун нишондиҳандаҳои баробар ҳисобида шаванд.

Интихоб ва насби манометри вакуумӣ низ бояд ба назар гирифта шавад. Технологияҳои гуногуни манометрҳо диапазонҳои андозагирӣ, ҳассосияти газ ва таҳаммулпазирии ифлосшавӣ доранд. Мавқеи манометр метавонад боиси фарқ кардани фишори нишондодашуда аз фишори воқеӣ дар наздикии субстрат ё порти насосӣ гардад. Аз ин рӯ, дар мушаххасоти боэътимоди вакуумии ниҳоӣ бояд мавқеи андозагирӣ, намуди манометр, ҳолати камера ва тартиби санҷиш нишон дода шавад.

Чангкашаки ниҳоӣ ҳамчун абзор барои ташхиси таҷҳизот

Тағйирот дар фишори ниҳоӣ маълумоти арзишмандро дар бораи ҳолати таҷҳизот фароҳам меорад.

Агар барои расидан ба ҳамон фишор ба камера вақти бештар лозим бошад, сабаб метавонад ифлосшавии камера, вайрон шудани равғани насос, баста шудани қубурҳо, домҳои сершуда, мӯҳрҳои фарсуда ё паст шудани кори насос бошад. Агар фишори ниҳоӣ ногаҳон бад шавад, шояд роҳи нави ихроҷ ё нокомии ҷузъҳо ба вуҷуд омада бошад.

Муқоисаи каҷхатҳои пастшавии насос байни давраҳои истеҳсолӣ метавонад ба гурӯҳҳои нигоҳдорӣ кӯмак кунад, ки пеш аз он ки он ба камбудиҳои рӯйпӯш оварда расонад, пастшавии тадриҷии самаранокиро муайян кунанд. Ҳангоми якҷоя бо муайян кардани ихроҷи гелий, таҳлили гази боқимонда, мониторинги ҷараёни насос ва сабти маълумоти раванд, тамоюлҳои ниҳоии вакуум ба нишондиҳандаи муассири пешгӯии нигоҳдорӣ табдил меёбанд.

Таҳлили гази боқимонда махсусан вақте муфид аст, ки фишори умумӣ танҳо наметавонад мушкилоти равандро шарҳ диҳад. Ду системаи вакуумӣ метавонанд фишори умумии якхеларо нишон диҳанд ва дар айни замон таркибҳои хеле гуногуни газро дар бар гиранд. Камерае, ки аз буғи об бартарӣ дорад, нисбат ба камерае, ки аз ихроҷи ҳаво ё ифлосшавии карбогидрид бартарӣ дорад, рафтори дигар дорад. Фишори умумӣ миқдори гази боқимондаро нишон медиҳад, дар ҳоле ки таҳлили фишори қисман ба муайян кардани пайдоиши он кӯмак мекунад.

Фишори пасттар на ҳамеша ҳадафи ягона аст

Гарчанде ки фишори ниҳоии пасттар одатан муҳити тозатари таҳшиншавиро фароҳам меорад, пайгирии пасттарин арзиши имконпазир на ҳамеша аз ҷиҳати техникӣ ё иқтисодӣ асоснок аст.

Равандҳои гуногуни рӯйпӯшкунӣ талаботи гуногуни вакуумӣ доранд. Рӯйпӯшҳои ороишии PVD, қабатҳои оптикии бисёрқабата, плёнкаҳои нимноқилӣ, рӯйпӯшҳои асбобӣ ва рӯйпӯшҳои меъмории масоҳати калон фишорҳои якхелаи асосиро талаб намекунанд. Мушаххасоти аз ҳад зиёди вакуумӣ метавонанд арзиши таҷҳизот, вақти аз кор баровардани насос, истеъмоли энергия, мураккабии нигоҳдорӣ ва ҳассосиятро ба ифлосшавӣ бе беҳтар шудани мутаносиб дар самаранокии маҳсулот афзоиш диҳанд.

Аз ин рӯ, ҳадафи дурусти муҳандисӣ на танҳо ба даст овардани пасттарин фишор, балки муқаррар кардани сатҳи вакуум аст, ки барои маводи рӯйпӯш, усули таҳшинкунӣ, ҳолати таҳкурсӣ ва хосиятҳои зарурии плёнка мувофиқ аст.

Системаи хуб тарҳрезишуда бояд дар давраи зарурии истеҳсолӣ ба фишори муайяншудаи асосӣ бирасад, шароити устувори гази боқимондаро ҳангоми гармкунӣ ва таҳшиншавӣ нигоҳ дорад, пас аз вентилятсияи камера мунтазам барқарор шавад ва натиҷаҳои такроршавандаи рӯйпӯшро дар тӯли истеҳсоли дарозмуддат дастгирӣ намояд.

Арзёбии чангкашаки ниҳоӣ аз нуқтаи назари истеҳсолот

Ҳангоми арзёбии таҷҳизоти рӯйпӯшкунии саноатӣ, корбарон бояд аз такя кардан танҳо ба арзиши ниҳоии вакуумӣ, ки дар варақаи мушаххасот нишон дода шудааст, худдорӣ кунанд.

Санҷиши пурмазмуни қабул бояд муайян кунад, ки оё камера холӣ ё пурбор аст, оё система хунук ё гарм аст, он чӣ қадар вақт насос карда шудааст, кадом манометри вакуумӣ истифода мешавад ва дар куҷо манометр насб карда шудааст. Санҷиш инчунин бояд суръати ихроҷи камера, вақти аз насос баровардан, устувории фишор, назорати раванд-газ ва такрорпазириро дар тӯли якчанд давраҳои истеҳсолӣ ба назар гирад.

Барои истифодаҳои душвор, инчунин метавонад арзёбии таркиби гази боқимонда, барқароршавии фишор пас аз боркунии субстрат ва рафтори фишор ҳангоми тозакунии ион ё гармкунии субстрат зарур бошад.

Ин нишондиҳандаҳо арзёбии воқеиро дар бораи он, ки оё таҷҳизот метавонад муҳити вакуумиро, ки барои истеҳсоли устувори оммавӣ зарур аст, нигоҳ дорад, фароҳам меоранд.

Хулоса

Аҳамияти муҳандисии вакууми ниҳоӣ дар таҷҳизоти рӯйпӯшкунӣ танҳо ба паст шудани фишор маҳдуд намешавад. Он тозагии муҳити таҳшиншавӣ, якпорчагии системаи мӯҳркунӣ, самаранокии меъмории насос ва қобилияти таҷҳизотро барои назорат кардани газҳои боқимонда нишон медиҳад.

Чангкашаки ниҳоии мувофиқ ва такроршаванда ба кам кардани ифлосшавии плёнка, устувор кардани ихроҷи плазма, беҳтар кардани тозагии сатҳи сатҳ ва дастгирии хосиятҳои оптикӣ, электрикӣ, ороишӣ ва механикии устувор мусоидат мекунад. Муҳимтар аз ҳама, он барои ҳар як давраи пӯшиш шароити боэътимоди ибтидоӣ фароҳам меорад.

Аз ин рӯ, барои таҷҳизоти пӯшонидани вакуумии саноатӣ, арзиши воқеии вакууми ниҳоӣ бояд якҷоя бо вақти аз обкашӣ баровардан, суръати ихроҷ, таркиби гази боқимонда, кори камераи пурбор ва такроршавандагии дарозмуддати раванд арзёбӣ карда шавад.

Беҳтарин системаи вакуумӣ на ҳамеша он системаест, ки пасттарин фишори рақамиро ба даст меорад. Ин системаест, ки муҳити дурусти вакуумро самаранок таъсис медиҳад, онро мунтазам нигоҳ медорад ва ин устувориро ба сифати такроршавандаи филм ва истеҳсоли боэътимоди оммавӣ табдил медиҳад.