Qhov Tseem Ceeb ntawm Kev Tsim Kho Lub Tshuab Nqus Tsev Zoo Tshaj Plaws hauv Cov Khoom Siv Txheej Tshuab Nqus Tsev

Hauv cov khoom siv nqus tsev, lub tshuab nqus tsev kawg feem ntau yog ib qho ntawm cov lus qhia tseem ceeb. Txawm li cas los xij, nws qhov tseem ceeb ntawm kev tsim kho txuas ntxiv mus deb tshaj qhov nyeem ntawv siab uas tso tawm ntawm lub ntsuas nqus tsev. Nws qhia txog kev ua haujlwm ua ke ntawm lub tshuab nqus tsev, lub kaw lus twj tso kua mis, cov qauv kaw, kev xaiv cov khoom siv, kev kho qhov chaw, kev huv ntawm cov txheej txheem thiab kev tswj hwm.

Rau cov chaw tsim cov txheej txheem, qhov siab qis dua feem ntau txhais tau tias lub kaw lus tuaj yeem tsim kom muaj qhov chaw huv dua thiab tswj tau ntau dua. Txawm li cas los xij, qhov nqus tsev kawg yuav tsum tsis txhob raug soj ntsuam ywj pheej. Nws qhov txiaj ntsig tiag tiag yog nyob ntawm seb nws puas tuaj yeem txhawb nqa cov txheej txheem txheej txheem xav tau, tswj cov xwm txheej roj seem ruaj khov thiab xa cov yeeb yaj kiab nyias rov ua dua hauv qab cov xwm txheej tsim khoom tas mus li.

Nkag Siab Txog Lub Tshuab Nqus Tsev Zoo Tshaj Plaws Hauv Cov Txheej Txheem Txheej Txheem

Hauv cov lus siv hauv kev tsim kho, qhov siab kawg yog hais txog qhov siab qis tshaj plaws uas lub twj tso kua mis lossis lub tshuab nqus tsev tuaj yeem mus txog qhov tsis muaj zog nyob rau hauv cov xwm txheej xeem tshwj xeeb thiab tsis muaj roj thauj khoom. ISO 3529 muab cov lus siv rau cov thev naus laus zis nqus tsev, thaum cov chaw tsim khoom twj tso kua mis feem ntau txhais qhov siab kawg nyob rau hauv cov xwm txheej ua haujlwm tswj tau meej.

Txawm li cas los xij, rau lub kaw lus nqus tsev tag nrho, qhov siab kawg ntsuas sab hauv lub chamber tsis yog txiav txim siab los ntawm kev ua haujlwm nominal ntawm lub twj tso kua mis. Nws yog qhov sib npaug ntawm qhov ceev ntawm lub twj tso kua mis thiab tag nrho cov roj thauj hauv lub kaw lus.

Cov pa roj no yuav los ntawm ntau qhov chaw, suav nrog kev xau ntawm huab cua, kev xau virtual, kev tso pa dej tawm, kev tawm ntawm cov khoom siv, kev sib kis ntawm cov khoom siv, kev nkag mus rau hauv elastomer, kev rov qab los ntawm cov roj nplua nyeem thiab cov khoom seem uas tso rau ntawm cov chaw hauv chav. Cov kav dej nqus tsev, cov qhov dej, cov baffles thiab lwm yam khoom kuj tsim kev poob hluav taws xob, txhais tau tias qhov ceev ntawm lub twj tso kua mis ntawm chav tuaj yeem qis dua qhov ceev ntawm lub twj tso kua mis ntawm qhov nkag ntawm lub twj tso kua mis.

Yog li ntawd, lub tshuab nqus tsev kawg raug suav hais tias yog qhov qhia tau zoo ntawm kev tsim kho lub tshuab nqus tsev es tsis yog qhov ntsuas twj tso kua mis cais tawm.

Nws tseem ceeb heev rau kev paub qhov txawv ntawm qhov siab kawg ntawm qhov siab pib thiab qhov siab txheej txheem. Qhov siab kawg feem ntau yog ntsuas raws li cov xwm txheej tsis muaj kev thauj khoom lossis chav huv. Qhov siab pib hais txog qhov siab uas tau ncav cuag ua ntej cov txheej txheem tso dej pib, feem ntau nrog cov khoom siv thiab cov khoom siv ntsia. Qhov siab txheej txheem yog qhov siab tswj tau tom qab qhia txog argon, oxygen, nitrogen lossis lwm yam roj txheej txheem.

Ib lub tshuab txheej txheej yuav ua tau zoo heev thaum lub chamber tsis muaj dab tsi, tab sis tseem ua haujlwm tsis zoo thaum lub sijhawm tsim khoom yog tias cov khoom siv thauj khoom tso tawm ntau cov pa dej lossis cov organic contaminants. Vim li no, kev ntsuam xyuas engineering ntawm lub tshuab txheej txheej yuav tsum tsom mus rau nws lub peev xwm nqus tsev kawg thiab nws qhov kev ua haujlwm nqus tsev tiag tiag nyob rau hauv cov txheej txheem tiag tiag.

Lub Tshuab Nqus Tsev Zoo Tshaj Plaws Ua Ib Qho Qhia Txog Kev Huv Si

Ib qho ntawm cov ntsiab lus tseem ceeb tshaj plaws ntawm kev tsim kho tshuab ntawm lub tshuab nqus tsev kawg yog nws lub peev xwm los cuam tshuam qhov huv ntawm qhov chaw nqus tsev.

Thaum lub siab txo qis, qhov concentration ntawm cov roj molecule seem hauv lub chamber raug txo qis. Qhov no txo ​​qhov feem pua ​​​​​​uas cov khoom me me uas tau evaporated lossis sputtered yuav sib tsoo nrog cov roj molecule tsis xav tau ua ntej mus txog lub substrate. Nws kuj txo qhov kev koom tes ntawm cov pa dej, oxygen, hydrocarbons thiab lwm yam khoom tsis huv hauv zaj duab xis nucleation thiab kev loj hlob.

Hauv cov txheej txheem tso pa tawm lub cev xws li magnetron sputtering, arc ion plating, tiv thaiv evaporation thiab electron-beam evaporation, cov pa roj seem yuav cuam tshuam nrog cov atoms tso lossis koom ua ke rau hauv zaj duab xis loj hlob. Nyob ntawm cov khoom siv txheej thiab daim ntawv thov, qhov no tuaj yeem ua rau tsis tswj tau oxidation, impurity incorporation, txo cov zaj duab xis ceev, tsis ruaj khov refractive index, nce hluav taws xob resistivity, tsis zoo adhesion lossis hloov pauv hauv hardness thiab xim.

Qhov cuam tshuam no tseem ceeb heev rau ntau txheej txheej kho qhov muag, cov yeeb yaj kiab semiconductor, cov txheej txheej pob tshab, cov yeeb yaj kiab hlau thiab lwm yam kev siv uas xav tau kev tswj hwm meej ntawm cov yeeb yaj kiab. Txawm tias thaum lub siab ua haujlwm thaum lub sijhawm sputtering siab dua qhov siab kawg, qhov siab pib qis txaus tseem tsim nyog los txo qhov kev ua qias tuaj ua ntej cov pa roj txheej txheem raug coj los siv. Cov ntaub ntawv hais txog kev siv lub tshuab nqus tsev hauv kev lag luam zoo sib xws hais tias kev sputtering xav tau kev tswj hwm qhov siab ntawm cov txheej txheem thiab qhov siab kawg qis los txhawb kev huv ntawm cov txheej txheem thiab kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem.

Yog li ntawd, lub tshuab nqus tsev kawg yuav tsum nkag siab tias yog qhov pib ntawm kev ua kom huv. Nws txiav txim siab qhov keeb kwm yav dhau los ntawm cov pa roj uas ua rau cov huab cua txheej tswj tau tsim.

Kev cuam tshuam rau kev tsim cov yeeb yaj kiab thiab kev ua haujlwm zoo

Qhov cuam tshuam ntawm qhov kawg nqus tsev yog thaum kawg pom tseeb hauv cov khoom ntawm cov yeeb yaj kiab tso tawm.

Rau cov txheej hlau, cov pa oxygen thiab cov dej ntau dhau yuav ua rau muaj kev oxidation ib nrab thaum lub sijhawm tso tawm, cuam tshuam rau kev coj ua hluav taws xob, kev cuam tshuam thiab kev sib xws ntawm cov xim. Rau cov txheej nitride, oxide thiab carbide, cov keeb kwm yav dhau los ntawm cov pa roj seem ntau dhau yuav cuam tshuam qhov piv ntawm cov pa roj reactive, ua rau kev tswj hwm stoichiometric nyuaj dua.

Hauv cov txheej txheem txheej txheem kho qhov muag, kev ua qias tuaj yeem hloov pauv qhov ntsuas refractive thiab coefficient extinction ntawm cov txheej ib leeg. Thaum ntau txheej nanometer-scale raug teeb tsa, qhov sib txawv me me hauv cov khoom sib xyaw lossis qhov ceev yuav sib sau ua ke, ua rau muaj kev hloov pauv spectral, txo qis transmittance, nce reflectance lossis xim tsis sib xws ntawm cov pawg ntau lawm.

Rau cov yeeb yaj kiab conductive xws li ITO, AZO, nyiaj, tooj liab lossis lwm cov txheej ua haujlwm, cov pa roj seem uas ua rau muaj kev sib kis tuaj yeem ua rau daim ntawv tsis kam thiab txo qhov kev txav mus los ntawm cov neeg nqa khoom. Hauv cov ntawv thov txheej tawv, cov khoom tsis huv ntau dhau yuav cuam tshuam rau kev loj hlob ntawm cov noob, kev ntxhov siab sab hauv, qhov nyuaj, kev sib txhuam coefficient thiab kev tiv thaiv corrosion.

Lub tshuab nqus tsev kawg tsis txiav txim siab ncaj qha rau tag nrho cov yam ntxwv no, tab sis nws tsim cov xwm txheej ciam teb uas cov kev teeb tsa tso tawm tuaj yeem tswj tau. Ib puag ncig nqus tsev huv dua txo cov kev hloov pauv tsis raug tswj thiab tso cai rau cov txheej txheem xws li cov pa roj ntws, lub zog lub hom phiaj, kev cuam tshuam ntawm cov khoom siv, tus nqi tso tawm thiab qhov kub ntawm cov khoom siv ua lub luag haujlwm.

Kev Sib Raug Zoo Ntawm Qhov Kawg Nqus Tsev Thiab Plasma Stability

Hauv magnetron sputtering, arc ion plating thiab plasma-enhanced deposition processes, ib puag ncig plasma ruaj khov nyob ntawm kev tswj hwm kev sib xyaw ua ke ntawm cov roj thiab siab.

Thaum lub zog hauv paus qis tsis txaus, cov pa roj seem yuav dhau los ua ib feem ntawm cov huab cua plasma. Qhov chaw tso tawm tiag tiag ces txawv ntawm cov chaw teeb tsa roj ntws uas cov tswj hwm qhov loj ntws qhia. Qhov no tuaj yeem ua rau muaj kev kub hnyiab tsis ruaj khov, kev hloov pauv ntawm lub zog tso tawm thiab tam sim no, kev hloov pauv ntawm kev ua haujlwm ionization thiab kev hloov pauv ntawm cov xwm txheej reactive deposition.

Kev tawg ua tej daim me me (reactive sputtering) yog qhov teeb meem no uas rhiab heev heev. Thaum tso cov oxides, nitrides lossis lwm cov yeeb yaj kiab sib xyaw, qhov sib npaug ntawm lub zog ntawm lub hom phiaj, cov roj reactive, qhov ceev ntawm lub twj tso kua mis thiab kev nqus ntawm phab ntsa hauv chav tsev txiav txim siab seb cov txheej txheem puas ua haujlwm hauv hom hlau, hom hloov pauv lossis hom sib xyaw. Keeb kwm yav dhau los ntawm cov roj seem uas tsis tswj tau ua rau qhov sib npaug no tsis tuaj yeem kwv yees tau thiab tej zaum yuav ua rau muaj kev pheej hmoo ntawm kev lom ntawm lub hom phiaj, kev tawg lossis kev hloov pauv ntawm tus nqi tso tawm.

Qhov siab qis dua thiab rov ua dua tau ntau dua muab qhov xwm txheej pib ruaj khov rau kev hlawv plasma thiab kev tso pa roj. Qhov no txhim kho qhov rov ua dua ntawm cov zaub mov thiab txo qhov ntau ntawm kev hloov kho cov txheej txheem uas xav tau ntawm cov pawg.

Qhov Kawg Nqus Tsev Thiab Txheej Txheej Lo

Kev ua kom cov zaj duab xis lo rau ntawm daim ntawv yog cuam tshuam los ntawm kev huv ntawm cov khoom siv, kev ua kom ntawm qhov chaw, kev sib kis ntawm cov nplaim, kev sib tsoo ntawm cov ion thiab kev ntxhov siab ntawm daim ntawv. Lub tshuab nqus tsev kawg ua lub luag haujlwm tsis ncaj qha tab sis tseem ceeb rau txhua yam ntawm cov yam no.

Ua ntej tso cov khoom siv, cov substrates feem ntau raug cua sov lossis raug ntxuav kom huv si, ntxuav cov ion-source lossis hlau-ion etching. Cov kev kho mob no yog tsim los tshem tawm cov pa roj uas nqus tau, cov organic residues thiab cov txheej saum npoo uas tsis muaj zog. Yog tias lub chamber muaj cov dej vapor lossis hydrocarbons ntau, cov substrate uas tau ntxuav lawm yuav raug ntxuav sai sai ua ntej txheej ua haujlwm thawj zaug raug tso.

Qhov siab qis txaus ua rau lub sijhawm luv dua ntawm kev ntxuav nto thiab kev tsim cov zaj duab xis nyob rau hauv cov xwm txheej muaj kuab paug. Qhov no pab tswj kom muaj qhov sib txuas huv dua thiab txhim kho kev ua haujlwm ntawm kev ntxuav ion thiab kev tso cov txheej nplaum.

Txawm li cas los xij, tsuas yog siv lub tshuab nqus tsev zoo tshaj plaws xwb tsis tuaj yeem lav qhov nplaum zoo. Kev kho ua ntej ntawm cov khoom siv, kev tsim khoom siv, cov txheej txheem ntxuav, qhov kub ntawm qhov chaw, lub zog ion thiab kev ntxhov siab ntawm zaj duab xis kuj yuav tsum tau tswj kom zoo. Lub tshuab nqus tsev zoo tshaj plaws yuav tsum raug saib ua ib feem ntawm txoj kev tsim kho interfacial-engineering tiav.

Qhov Tseem Ceeb ntawm Cov Yam Ntxwv ntawm Pump-Down

Hauv kev tsim khoom lag luam, lub sijhawm xav tau los mus txog lub hom phiaj siab feem ntau tseem ceeb dua li lub siab qis tshaj plaws uas ua tiav tom qab lub sijhawm ntev.

Ib lub chamber txheej yuav thaum kawg ncav cuag qhov siab kawg qis heev, tab sis yog tias cov txheej txheem twj tso kua mis siv sijhawm ntev dhau, cov khoom siv yuav tsis ua tiav lub voj voog tsim khoom xav tau. Ntawm qhov tod tes, lub kaw lus uas ncav cuag qhov siab ruaj khov thiab tsim nyog rau cov txheej txheem yuav muab cov nqi tsim khoom ntau dua, txawm tias nws qhov siab kawg theoretical tsis yog qhov qis tshaj plaws muaj.

Tus nkhaus twj tso kua mis-down qhia ntau cov ntaub ntawv engineering dua li ib qho kev nyeem zaum kawg. Thaum lub sijhawm pib, qhov kev txo qis ntawm lub siab feem ntau yog txiav txim siab los ntawm kev tshem tawm cov pa roj hauv chav. Thaum lub siab txuas ntxiv poob qis, kev tshem tawm ntawm phab ntsa chav, cov khoom siv thiab cov khoom siv maj mam dhau los ua lub nra hnyav ntawm cov pa roj. Yog tias tus nkhaus siab ncav cuag qhov siab tsis zoo, qhov no yuav qhia tau tias muaj kev xau, cov pa roj tawm ntau dhau, kev ua qias tuaj, kev puas tsuaj ntawm lub twj tso kua mis lossis qhov ceev ntawm kev twj tso kua mis tsis txaus.

Vim li no, kev ntsuam xyuas lub tshuab nqus tsev yuav tsum tsis txhob tsuas yog suav nrog qhov siab kawg nkaus xwb tab sis kuj suav nrog lub sijhawm tshem tawm, cov yam ntxwv ntawm lub siab- lwj, lub sijhawm rov zoo tom qab tso pa tawm thiab rov ua dua ntawm cov voj voog.

Cov Yam Tseem Ceeb Uas Txheeb Xyuas Qhov Siab Kawg Uas Ua Tau

Qhov siab kawg ntawm cov khoom siv txheej yog txiav txim siab los ntawm tag nrho cov qauv nqus tsev.

Qhov kev sib xyaw ua ke ntawm lub twj tso kua mis uas xaiv tau tsim kom muaj peev xwm twj tso kua mis raws li kev xav tau. Nyob ntawm qhov ntau thiab tsawg ntawm lub tshuab nqus tsev uas xav tau, lub kaw lus yuav siv cov twj tso kua mis rotary vane, cov twj tso kua mis dry screw, Roots boosters, cov twj tso kua mis diffusion, cov twj tso kua mis turbomolecular lossis cov twj tso kua mis cryogenic. Txawm li cas los xij, kev xaiv lub twj tso kua mis ib leeg tsis txaus.

Txoj kab uas hla ntawm cov kav dej, qhov ntev ntawm cov kav dej, qhov ntev ntawm lub luj tshib, qhov hluav taws xob ntawm lub valve thiab qhov chaw teeb tsa lub twj tso kua mis txhua yam cuam tshuam rau qhov ceev ntawm lub twj tso kua mis ntawm lub chamber. Hauv thaj chaw molecular-flow, cov kav dej nqaim lossis ntev dhau tuaj yeem txwv tsis pub kev thauj roj.

Cov ntaub ntawv hauv chav thiab cov xwm txheej ntawm qhov chaw kuj tseem ceeb ib yam. Cov chav hlau tsis xeb feem ntau muaj kev sib raug zoo ntawm lub tshuab nqus tsev, tab sis qhov zoo ntawm kev vuam, qhov ntxhib ntawm qhov chaw, qhov ntim uas raug ntes thiab kev ua qias tuaj sab hauv tseem tuaj yeem txwv tsis pub ua haujlwm ntawm lub tshuab nqus tsev. Cov foob Elastomer siv tau rau ntau lub tshuab txheej txheem kev lag luam, txawm hais tias yuav tsum xav txog kev nkag mus thiab kev tawm pa tawm. Cov ntawv thov uas xav tau lub tshuab nqus tsev siab heev yuav xav tau cov foob hlau, cov ntaub ntawv tshwj xeeb, kev ci chav thiab cov txheej txheem ntxuav kom huv si dua.

Qhov kub thiab txias kuj cuam tshuam rau qhov kawg ntawm lub tshuab nqus tsev. Kev ua kom lub chamber sov, lub substrate lossis lub fixture tuaj yeem tso cov dej uas nqus tau thiab cov khoom seem hauv cov txheej txheem tawm. Lub siab yuav nce ib ntus thaum lub sijhawm ua kom sov ua ntej poob thaum cov pa roj tawm raug tshem tawm. Yog li ntawd, lub siab hauv chav txias thiab lub siab hauv cov txheej txheem kub yuav tsum tsis txhob raug suav tias yog cov cim qhia sib npaug.

Yuav tsum xav txog kev xaiv thiab kev teeb tsa lub tshuab nqus tsev. Cov thev naus laus zis sib txawv muaj ntau yam kev ntsuas sib txawv, kev rhiab heev ntawm cov roj thiab kev kam rau cov pa phem. Qhov chaw ntawm lub tshuab ntsuas yuav ua rau lub siab uas pom tseeb txawv ntawm lub siab tiag tiag ze ntawm lub substrate lossis qhov chaw twj. Yog li ntawd, qhov kev qhia tshwj xeeb ntawm lub tshuab nqus tsev uas ntseeg tau yuav tsum hais txog qhov chaw ntsuas, hom tshuab ntsuas, qhov xwm txheej ntawm chav thiab cov txheej txheem sim.

Lub Tshuab Nqus Tsev Zoo Tshaj Plaws Ua Ib Lub Cuab Yeej Rau Kev Tshuaj Xyuas Khoom Siv

Kev hloov pauv ntawm qhov siab kawg muab cov ntaub ntawv tseem ceeb txog cov xwm txheej ntawm cov khoom siv.

Yog tias lub chamber siv sijhawm ntau dua los ncav cuag tib lub siab, qhov ua rau yuav yog kev ua qias tuaj ntawm lub chamber, roj twj puas tsuaj, cov kav dej txhaws, cov ntxiab puv, cov foob puas lawm lossis kev ua haujlwm ntawm lub twj txo qis. Yog tias lub siab kawg poob qis tam sim ntawd, txoj kev xau tshiab lossis cov khoom tsis ua haujlwm yuav tshwm sim.

Kev sib piv cov kab nkhaus ntawm lub twj tso kua mis ntawm cov voj voog tsim khoom tuaj yeem pab cov pab pawg saib xyuas kev ua haujlwm txheeb xyuas qhov kev ua haujlwm poob qis ua ntej nws ua rau muaj qhov tsis zoo ntawm cov txheej txheem. Thaum ua ke nrog kev tshawb pom qhov xau helium, kev tshuaj xyuas cov roj seem, kev saib xyuas lub twj tso kua mis thiab kev sau cov ntaub ntawv txheej txheem, cov qauv nqus tsev kawg ua rau muaj qhov qhia txog kev saib xyuas zoo.

Kev tshuaj xyuas cov roj seem yog qhov tshwj xeeb tshaj yog thaum lub siab tag nrho ib leeg tsis tuaj yeem piav qhia txog qhov teeb meem ntawm cov txheej txheem. Ob lub tshuab nqus tsev tuaj yeem ua kom pom tib lub siab tag nrho thaum muaj cov pa roj sib txawv heev. Lub chamber uas muaj cov dej pa ua haujlwm txawv ntawm ib qho uas muaj cua xau lossis cov pa roj carbon dioxide. Tag nrho lub siab qhia txog qhov ntau ntawm cov roj seem, thaum kev tshuaj xyuas ib nrab ntawm lub siab pab txheeb xyuas nws keeb kwm.

Kev Nyuaj Siab Tsawg Dua Tsis Yog Lub Hom Phiaj Xwb

Txawm hais tias qhov siab qis dua feem ntau muab qhov chaw tso dej huv dua, kev nrhiav tus nqi qis tshaj plaws tsis yog ib txwm muaj kev cai lossis kev lag luam.

Cov txheej txheem txheej txheem sib txawv muaj qhov yuav tsum tau siv lub tshuab nqus tsev sib txawv. Cov txheej txheem PVD kho kom zoo nkauj, cov txheej txheem ntau txheej optical, cov yeeb yaj kiab semiconductor, cov txheej txheem cuab yeej thiab cov txheej txheem architectural loj tsis xav tau cov siab zoo ib yam. Cov lus qhia txog lub tshuab nqus tsev ntau dhau yuav ua rau tus nqi khoom siv, lub sijhawm twj tso kua mis, kev siv hluav taws xob, kev nyuaj txij nkawm thiab kev nkag siab rau cov kuab paug ntau ntxiv yam tsis ua rau muaj kev txhim kho zoo hauv kev ua haujlwm ntawm cov khoom.

Yog li ntawd, lub hom phiaj tsim kho kom raug tsis yog tsuas yog ua kom muaj qhov siab qis tshaj plaws xwb, tab sis kuj yog tsim kom muaj qib nqus tsev uas tsim nyog rau cov khoom siv txheej, txoj kev tso dej, qhov xwm txheej ntawm cov khoom siv thiab cov yam ntxwv ntawm zaj duab xis uas xav tau.

Ib lub tshuab uas tsim tau zoo yuav tsum ncav cuag qhov siab uas tau teev tseg hauv lub voj voog tsim khoom uas xav tau, tswj cov pa roj seem kom ruaj khov thaum lub sijhawm cua sov thiab tso tawm, rov zoo li qub tom qab lub tshuab tso pa tawm thiab txhawb nqa cov txiaj ntsig txheej txheem rov ua dua rau lub sijhawm ntev.

Kev Soj Ntsuam Qhov Kawg Nkaus Los Ntawm Lub Zeem Muag Khoom

Thaum ntsuam xyuas cov khoom siv txheej txheem kev lag luam, cov neeg siv yuav tsum tsis txhob cia siab rau tus nqi kawg ntawm lub tshuab nqus tsev uas tau teev tseg hauv daim ntawv qhia tshwj xeeb.

Ib qho kev sim lees txais uas muaj lub ntsiab lus yuav tsum txhais seb lub chamber puas khoob lossis muaj khoom, seb lub system puas txias lossis sov, nws tau raug twj ntev npaum li cas, siv lub ntsuas nqus tsev twg thiab qhov twg tau teeb tsa lub ntsuas. Qhov kev sim kuj tseem yuav tsum xav txog qhov ceev ntawm lub chamber xau, lub sijhawm twj tso kua mis, kev ruaj khov ntawm lub siab, kev tswj cov roj txheej txheem thiab kev rov ua dua ntau zaus ntawm ntau lub voj voog tsim khoom.

Rau cov ntawv thov uas nyuaj heev, nws kuj tseem yuav tsum tau soj ntsuam cov roj seem, kev rov qab los ntawm lub siab tom qab kev thauj khoom ntawm cov substrate thiab tus cwj pwm ntawm lub siab thaum lub sijhawm ntxuav ion lossis cua sov ntawm cov substrate.

Cov ntsuas no muab kev ntsuam xyuas tseeb dua seb cov khoom siv puas tuaj yeem tswj tau qhov chaw nqus tsev uas xav tau rau kev tsim khoom loj.

Xaus lus

Qhov tseem ceeb ntawm kev siv lub tshuab nqus tsev kawg hauv cov khoom siv txheej tsis yog tsuas yog qhov siab poob qis xwb. Nws sawv cev rau qhov huv ntawm qhov chaw tso dej, qhov kev sib khi zoo, qhov ua tau zoo ntawm cov qauv twj tso kua mis thiab lub peev xwm ntawm cov khoom siv los tswj cov pa roj seem.

Lub tshuab nqus tsev zoo thiab rov ua dua tau pab txo cov kuab paug ntawm zaj duab xis, ua kom cov plasma tawm ruaj khov, txhim kho kev huv ntawm cov khoom sib txuas thiab txhawb nqa cov khoom siv kho qhov muag, hluav taws xob, kho kom zoo nkauj thiab kho tshuab. Qhov tseem ceeb tshaj, nws tsim kom muaj qhov pib zoo rau txhua lub voj voog txheej.

Rau cov khoom siv nqus tsev hauv kev lag luam, qhov tseeb ntawm lub tshuab nqus tsev kawg yuav tsum tau soj ntsuam ua ke nrog lub sijhawm twj tso kua mis, qhov xau, cov roj seem, kev ua haujlwm ntawm lub chamber thiab cov txheej txheem rov ua dua mus sij hawm ntev.

Lub tshuab nqus tsev zoo tshaj plaws tsis yog lub uas ua tiav qhov siab qis tshaj plaws. Nws yog lub uas tsim kom muaj qhov chaw nqus tsev zoo, tswj nws tas li thiab hloov qhov ruaj khov ntawd mus rau hauv qhov zoo ntawm zaj duab xis thiab kev tsim khoom ntau.