N'ime ngwa mkpuchi ihe mkpofu, a na-egosikarị ihe mkpofu kachasị elu dị ka otu n'ime nkọwapụta teknụzụ dị mkpa. Agbanyeghị, mkpa injinia ya karịrị otu ọgụgụ nrụgide egosiri na ihe nlele ihe mkpofu. Ọ na-egosipụta arụmọrụ jikọtara ọnụ nke ụlọ ihe mkpofu, sistemụ mgbapụta, nhazi mkpuchi, nhọrọ ihe, ọgwụgwọ elu, ịdị ọcha usoro na atụmatụ njikwa.
Maka ndị na-emepụta mkpuchi, obere nrụgide kachasị elu pụtara na sistemụ ahụ nwere ike ịmepụta ebe nchekwa dị ọcha ma dịkwa mma karịa. Agbanyeghị, ekwesighi ịtụle oghere kachasị elu n'onwe ya. Uru ya dị n'ezie bụ ma ọ nwere ike ịkwado usoro mkpuchi achọrọ, idobe ọnọdụ gas fọdụrụnụ kwụsiri ike ma nye arụmọrụ dị gịrịgịrị a na-emegharị n'okpuru ọnọdụ mmepụta na-aga n'ihu.
Ịghọta Uzuzu Kasị Elu na Sistemụ Mkpuchi
N'okwu injinia, nrụgide kachasị elu na-ezo aka na nrụgide kacha ala nke ọkpọkọ ma ọ bụ sistemụ ọkpọkọ nwere ike ịbịaru nso n'ụzọ na-enweghị ihe mgbaàmà n'okpuru ọnọdụ nnwale akọwapụtara na-enweghị ibu gas ebumpụta ụwa. ISO 3529 na-enye okwu ọkọlọtọ maka teknụzụ ọkpọkọ, ebe ndị na-emepụta ọkpọkọ ikuku na-akọwakarị nrụgide kachasị n'okpuru ọnọdụ ọrụ a na-achịkwa nke ọma.
Agbanyeghị, maka sistemụ mkpuchi ikuku zuru oke, a naghị ekpebi nrụgide kachasị elu a tụrụ n'ime ụlọ ahụ site na arụmọrụ nke ọkpọkọ ikuku naanị. Ọ bụ nsonaazụ nha nha nke ọsọ mgbapụta dị irè na ibu gas zuru oke dị na sistemụ ahụ.
Ibu gas a nwere ike isite n'ọtụtụ ebe, gụnyere ntapu ikuku, ntapu mebere emebe, mwepu mmiri-vapor, mwepu ihe ndị dị n'okpuru ala, mmetọ ihe eji arụ ọrụ, elastomer permeation, lubricant backstream na ihe fọdụrụ n'usoro a na-etinye n'elu ụlọ. Paịpụ vacuum, valvụ, baffles na ihe ndị ọzọ na-ebutekwa mfu conductance, nke pụtara na ọsọ mgbapụta dị irè na ụlọ ahụ nwere ike ịdị ala karịa ọsọ mgbapụta a tụrụ anya ya na ntinye mgbapụta.
Ya mere, a na-ewere vacuum ultimate nke ọma dị ka ihe ngosi zuru oke nke injinịa sistemu vacuum kama paramita mgbapụta dịpụrụ adịpụ.
Ọ dịkwa mkpa ịmata ọdịiche dị n'etiti nrụgide kachasị elu na nrụgide ntọala na nrụgide usoro. A na-atụkarị nrụgide kachasị elu n'okpuru ọnọdụ enweghị ibu ma ọ bụ ọnọdụ ụlọ dị ọcha akọwapụtara. Nrụgide ntọala na-ezo aka na nrụgide e ruru tupu usoro ntinye ego amalite, na-abụkarị site na ihe ndị e tinyere na ihe ndozi. Nrụgide usoro bụ nrụgide a na-achịkwa nke a na-ejide mgbe etinyere argon, oxygen, nitrogen ma ọ bụ gas usoro ndị ọzọ.
Sistemụ mkpuchi nwere ike igosi oke nrụgide dị mma mgbe ụlọ ahụ tọgbọ chakoo, mana ọ ka na-arụ ọrụ nke ọma n'oge mmepụta ma ọ bụrụ na ihe ndị e ji ebu ibu na-ewepụta nnukwu uzuoku mmiri ma ọ bụ ihe ndị na-emerụ emerụ. N'ihi nke a, nyocha injinia nke igwe mkpuchi ga-elekwasị anya na ikike ikuku ya kachasị elu na arụmọrụ ikuku ya n'ezie n'okpuru ọnọdụ usoro ezi uche dị na ya.
Uzuzu Kasị Elu dị ka ihe ngosi nke ịdị ọcha sistemụ
Otu n'ime ihe kachasị mkpa gbasara injinịa nke uzuzu kachasị elu pụtara bụ ikike ya igosipụta ịdị ọcha nke gburugburu ebe obibi uzuzu.
Ka nrụgide na-ebelata, mkpokọta nke molekul gas fọdụrụ n'ime ụlọ ahụ na-ebelata. Nke a na-ebelata ohere na ihe ndị a gbapụrụ agbapụ ma ọ bụ ndị a gbapụrụ agbapụ ga-adakọ na molekul gas ndị a na-achọghị tupu ha erute substrate ahụ. Ọ na-ebelatakwa isonye na uzu mmiri, oxygen, hydrocarbons na ihe ndị ọzọ na-emerụ ahụ na fim nucleation na uto.
N'ime usoro nchekwa uzuoku anụ ahụ dịka magnetron sputtering, arc ion plating, evaporation resistance na electron-beam evaporation, gas ndị fọdụrụ nwere ike imeghachi omume na atọm ndị a na-etinye ma ọ bụ tinye ha n'ime ihe nkiri na-eto eto. Dabere na ihe mkpuchi na ojiji, nke a nwere ike ibute oxidation a na-achịkwaghị achịkwa, itinye ihe na-adịghị ọcha, mbelata njupụta ihe nkiri, index refractive na-adịghị agbanwe agbanwe, mmụba nke iguzogide eletriki, njikọ na-adịghị mma ma ọ bụ mgbanwe na ike na agba.
Mmetụta a na-apụta ìhè karịsịa na mkpuchi anya dị iche iche, ihe nkiri semiconductor, mkpuchi ihe na-eduzi ihe na-acha ọcha, ihe nkiri na-egosipụta ihe na-eme ka ihe dị n'ime ya na ngwa ndị ọzọ chọrọ njikwa ziri ezi na nhazi ihe nkiri ahụ. Ọbụna mgbe nrụgide ọrụ n'oge sputtering dị elu karịa nrụgide kachasị elu, nrụgide mbụ dị obere nke ukwuu ka dị mkpa iji belata mmetọ ndabere tupu ewebata gas usoro ahụ. Ntụaka mkpuchi vacuum ụlọ ọrụ na-emesi ike n'otu aka ahụ na sputtering chọrọ njikwa nrụgide usoro ziri ezi na obere nrụgide kachasị elu iji kwado ịdị ọcha nke oyi akwa na iguzosi ike n'ezi ihe usoro.
Ya mere, a ga-aghọta oghere kachasị elu dị ka ebe mmalite nke ịdị ọcha usoro. Ọ na-ekpebi ndabere gas fọdụrụnụ nke e guzobere ikuku mkpuchi a na-achịkwa.
Mmetụta na Nhazi Ihe nkiri na Ọrụ Ọrụ
Mmetụta nke ihe mkpofu kachasị elu na-apụta ìhè n'ihe onwunwe nke ihe nkiri ahụ e tinyere.
Maka mkpuchi ígwè, oke oxygen na uzuoku mmiri nwere ike ibute oxidation nke akụkụ ụfọdụ n'oge a na-etinye ya, na-emetụta ike mgbanwe, ntụgharị uche na ịdị n'otu agba. Maka mkpuchi nitride, oxide na carbide, nnukwu ndabere gas fọdụrụ nwere ike imebi oke gas a chọrọ, na-eme ka njikwa stoichiometric sie ike karị.
N'usoro mkpuchi anya, mmetọ nwere ike ịgbanwe ihe na-agbanwe agbanwe na ọnụọgụ mbibi nke akwa dị iche iche. Mgbe a na-agbakọta ọtụtụ akwa nanometer, obere ọdịiche dị na nhazi ma ọ bụ njupụta nwere ike ịgbakọta, na-ebute mgbanwe spectral, mbelata nnyefe, mmụba na-egosipụta ma ọ bụ agba na-adịghị agbanwe agbanwe n'etiti otu mmepụta.
Maka ihe nkiri ndị na-eduzi ihe dịka ITO, AZO, ọlaọcha, ọla kọpa ma ọ bụ akwa ndị ọzọ na-arụ ọrụ, mmetọ gas fọdụrụ nwere ike ime ka iguzogide mpempe akwụkwọ dịkwuo elu ma belata mmegharị nke ihe na-ebu ibu. N'iji mkpuchi siri ike, ihe ndị na-adịghị ọcha gabiga ókè nwere ike imetụta uto ọka, nrụgide dị n'ime, ike, ihe na-akpata esemokwu na iguzogide nchara.
Ugboro ikuku anaghị ekpebi ihe ndị a niile kpọmkwem, mana ọ na-akọwapụta ọnọdụ ókèala ebe enwere ike ijikwa paramita nkwụnye. Gburugburu oghere ikuku dị ọcha nke mbụ na-ebelata mgbanwe ndị a na-achịkwaghị achịkwa ma na-enye ohere ka paramita usoro dị ka mmiri gas, ike ebumnuche, echiche substrate, ọnụego nkwụnye na okpomọkụ substrate rụọ ọrụ ha chọrọ.
Mmekọrịta dị n'etiti ikuku kachasị elu na nkwụsi ike nke Plasma
Na magnetron sputtering, arc ion plating na plasma-eme ka ọ dịkwuo mma, gburugburu plasma kwụsiri ike dabere na njikwa a pụrụ ịdabere na ya nke gas mejupụtara na nrụgide.
Mgbe nrụgide ntọala adịghị mma nke ọma, gas ndị fọdụrụ na-aghọ akụkụ nke ikuku plasma. Gburugburu ebe mwepụta n'ezie dị iche na ntọala gas-flow nke ndị njikwa oke mmiri gosiri. Nke a nwere ike ibute mgbanye ọkụ na-adịghị akwụsi ike, mgbanwe na voltaji mwepụ na ugbu a, mgbanwe na arụmọrụ ionization na mgbanwe na ọnọdụ nkwụnye ihe mmeghachi omume.
Nsogbu a na-emetụtakarị sputtering reactive. Mgbe a na-etinye oxides, nitrides ma ọ bụ ihe nkiri compound ndị ọzọ, nguzozi dị n'etiti ike ebumnuche, mmiri reactive-gas, ọsọ pumping na absorption nke chamber-wall na-ekpebi ma usoro ahụ ọ na-arụ ọrụ na ụdị metal, ọnọdụ mgbanwe ma ọ bụ ụdị compound. Ndabere gas fọdụrụnụ a na-achịkwaghị achịkwa na-eme ka nguzozi a ghara ịdị mfe ịkọ ma nwee ike ịbawanye ohere nke nsị ebumnuche, arcing ma ọ bụ drawing-rate deposition.
Nrụgide ntọala dị ala ma dịkwa mma nke a na-emegharị emegharị na-enye ọnọdụ mbụ kwụsiri ike maka ọkụ plasma na ntinye gas. Nke a na-eme ka usoro nri dịkwuo mma ma na-ebelata oke mgbanwe usoro achọrọ n'etiti otu.
Nrapado kachasị elu na mkpuchi
Ịdị ọcha nke ihe ndị dị n'ime ala, ime ka elu dị ọkụ, mmetọ n'etiti ihu, mgbọ ion na nrụgide ihe nkiri na-emetụta njikọta ihe nkiri ahụ. Oke ikuku na-arụ ọrụ na-apụtaghị ìhè mana dị mkpa n'ime ihe ndị a niile.
Tupu e tinye ihe ndị dị n'ime ya, a na-ekpo ọkụ ma ọ bụ na-asachapụ ihe ndị dị n'ime ya, na-ehicha ihe ndị dị n'ime ya site na ion ma ọ bụ na-eme ka ha dị ka ihe e ji ígwè mee. Ebumnobi ọgwụgwọ ndị a bụ iwepụ gas ndị a na-etinye n'ime ya, ihe ndị fọdụrụ n'ime ya na ihe ndị na-adịghị ike. Ọ bụrụ na ụlọ ahụ nwere nnukwu njupụta nke mmiri ma ọ bụ hydrocarbons, a pụrụ ime ka elu ihe ndị dị n'ime ya dị ọcha gbanwee ngwa ngwa tupu e tinye ihe mbụ dị n'ime ya.
Nrụgide ntọala dị ala nke ọma na-ebelata oge dị n'etiti nhicha elu na mmepụta ihe nkiri n'ọnọdụ ndị ruru unyi. Nke a na-enyere aka ịnọgide na-enwe njikọ dị ọcha ma na-eme ka arụmọrụ nke nhicha ion na itinye ihe n'ime akwa adhesion dịkwuo mma.
Agbanyeghị, naanị vacuum kachasị mma enweghị ike ikwe nkwa na ọ ga-ejikọ nke ọma. Ọgwụgwọ tupu e jiri ihe ndị dị n'okpuru ala, nhazi ihe eji arụ ọrụ, usoro nhicha, okpomọkụ elu, ike ion na nrụgide ihe nkiri ga-adịkwa mkpa. Ekwesịrị ilele vacuum kachasị elu anya dị ka otu akụkụ nke atụmatụ injinia ihu na ihu zuru oke.
Mkpa nke Njirimara Mgbapụta Ihe
N'ime mmepụta ụlọ ọrụ mmepụta ihe, oge achọrọ iji ruo nrụgide ntọala ebumnuche na-adịkarị mkpa karịa nrụgide kachasị ala enwetara mgbe oge dị ogologo gasịrị.
Ụlọ mkpuchi nwere ike imecha ruo nrụgide kachasị dị ala, mana ọ bụrụ na usoro mgbapụta ahụ were ogologo oge, akụrụngwa ahụ agaghị eru usoro mmepụta achọrọ. N'aka nke ọzọ, sistemụ nke na-eru ngwa ngwa nrụgide ntọala kwụsiri ike ma dabara na usoro nwere ike inye uru mmepụta ka ukwuu, ọbụlagodi na nrụgide kachasị elu ya abụghị nke kacha ala dị.
Usoro mgbapụta mmiri na-ekpughe ọtụtụ ozi gbasara injinia karịa otu ọgụgụ ikpeazụ. N'oge mbụ, mbelata nrụgide na-abụkarị site na iwepụ gas olu ụlọ. Ka nrụgide ahụ na-aga n'ihu na-ada, mwepụ sitere na mgbidi ụlọ, ihe ndozi na ihe ndị dị n'ime ya na-aghọ ibu gas kachasị. Ọ bụrụ na usoro nrụgide ahụ erute n'ebe dị larịị na-adịghị mma, nke a nwere ike igosi ntapu mmiri, oke mfu gas, mmetọ, mmebi mgbapụta mmiri ma ọ bụ ọsọ mgbapụta na-adịghị mma.
N'ihi nke a, nyocha sistemụ ikuku kwesịrị ịgụnye ọ bụghị naanị nrụgide kachasị elu kamakwa oge mwepụta, njirimara nrụgide na mmebi, oge mgbake mgbe ikuku gasịrị na imeghachi omume n'etiti usoro.
Ihe Ndị Na-ekpebi Nrụgide Kasị Elu A Ga-emezu
A na-ekpebi nrụgide kachasị nke akụrụngwa mkpuchi site na nhazi oghere dum.
Njikọta mgbapụta ahọpụtara na-eme ka ikike mgbapụta echiche dị na ya pụta ìhè. Dabere na oke ikuku achọrọ, sistemụ ahụ nwere ike iji mgbapụta vane rotary, mgbapụta skru akọrọ, ihe nkwado mgbọrọgwụ, mgbapụta mgbasa ozi, mgbapụta turbomolecular ma ọ bụ mgbapụta cryogenic. Agbanyeghị, nhọrọ mgbapụta naanị ezughị.
Dayameta nke paịpụ, ogologo paịpụ, ọdịdị ikpere aka, njikwa valvụ na ọnọdụ ntinye paịpụ niile na-emetụta ọsọ mgbapụta dị irè na ụlọ ahụ. Na mpaghara mmiri molekul, paịpụ ndị dị warara ma ọ bụ ndị dị ogologo karịa nwere ike igbochi mbufe gas nke ukwuu.
Ihe ndị dị n'ime ụlọ na ọnọdụ elu dịkwa mkpa. Ụlọ ndị anaghị agba nchara na-enye ohere maka ikuku dị mma, mana ịdị mma nke ịgbado ọkụ, ịdị njọ nke elu, oke ihe ndị a dọbara na mmetọ dị n'ime ka nwere ike igbochi arụmọrụ ikuku. Akara elastomer bara uru maka ọtụtụ sistemụ mkpuchi ụlọ ọrụ, ọ bụ ezie na a ga-atụle itinye mmiri na ikuku na-apụ apụ. Ngwa ndị chọrọ ikuku dị elu nwere ike ịchọ akara ígwè, ihe pụrụ iche, ime achịcha na usoro nhicha siri ike.
Okpomọkụ na-emetụtakwa oghere ikuku kachasị elu. Ịkpo ọkụ n'ime ụlọ, ihe owuwu ma ọ bụ ihe ndozi nwere ike ịhapụ uzuoku mmiri a na-amịkọrọ ma hazie ihe fọdụrụ. Nrụgide ahụ nwere ike ịrị elu nwa oge n'oge okpomọkụ tupu ọ daa ka a na-ewepụ gas ndị a tọhapụrụ. N'ihi ya, ekwesịghị iwere nrụgide ụlọ oyi na nrụgide usoro ọkụ dị ka ihe ngosi nhata.
A ga-atụlekwa nhọrọ na ntinye nke igwe vacuum. Teknụzụ dị iche iche nwere oke nha dị iche iche, mmetụta gas na nnabata mmetọ. Ọnọdụ igwe gauge nwere ike ime ka nrụgide egosiri dị iche na nrụgide dị nso na substrate ma ọ bụ ọdụ ụgbọ mmiri mgbapụta. Ya mere, nkọwapụta igwe vacuum a pụrụ ịtụkwasị obi kwesịrị ịkọwa ọnọdụ nha, ụdị igwe gauge, ọnọdụ ụlọ na usoro nnwale.
Uzuzu Kasị Elu dị ka Ngwaọrụ maka Nchọpụta Ngwaọrụ
Mgbanwe na nrụgide kachasị elu na-enye ozi bara uru gbasara ọnọdụ akụrụngwa.
Ọ bụrụ na ụlọ ahụ chọrọ oge ka ukwuu iji ruo otu nrụgide ahụ, ihe kpatara ya nwere ike ịbụ mmetọ ụlọ ahụ, mmanụ mgbapụta emebiela emebi, paịpụ ndị gbajiri agbaji, ọnyà juru eju, akara ndị mebiri emebi ma ọ bụ mbelata arụmọrụ nke ọkpọ mmiri. Ọ bụrụ na nrụgide kachasị njọ emebie na mberede, ụzọ ntapu ọhụrụ ma ọ bụ mmebi nke akụkụ ahụ nwere ike ime.
Ịtụnyere usoro mgbapụta mmiri n'etiti usoro mmepụta nwere ike inyere ndị otu mmezi aka ịchọpụta mmebi arụmọrụ nwayọ nwayọ tupu ọ pụta na ntụpọ mkpuchi. Mgbe ejikọtara ya na nchọpụta ntapu mmiri helium, nyocha gas fọdụrụ, nlekota mgbapụta mmiri na ndekọ data usoro, usoro vacuum kachasị mma na-aghọ ihe ngosi amụma-nlekọta dị irè.
Nnyocha gas fọdụrụnụ bara uru karịsịa mgbe nrụgide zuru oke naanị ya enweghị ike ịkọwa nsogbu usoro. Sistemụ oghere abụọ nwere ike igosipụta otu nrụgide zuru oke ebe ha nwere ihe mejupụtara gas dị iche iche. Ụlọ nke uzuoku mmiri na-achịkwa na-akpa àgwà dị iche na nke ikuku na-agbapụta ma ọ bụ mmetọ hydrocarbon na-achịkwa. Nrụgide zuru oke na-egosi ọnụọgụ gas fọdụrụnụ, ebe nyocha nrụgide nke akụkụ na-enyere aka ịchọpụta ebe o si malite.
Mbelata Nrụgide Na-abụghị Nanị Ihe Ebumnobi Mgbe Niile
Ọ bụ ezie na nrụgide kachasị ala na-enye ebe nchekwa dị ọcha, ịchụso uru kacha ala anaghị abụkarị ihe ziri ezi na teknụzụ ma ọ bụ akụ na ụba.
Usoro mkpuchi dị iche iche nwere ihe dị iche iche achọrọ maka oghere ikuku. Mkpuchi PVD ịchọ mma, ọtụtụ oyi akwa anya, ihe nkiri semiconductor, mkpuchi ngwaọrụ na mkpuchi ụlọ buru ibu anaghị achọ nrụgide ntọala otu. Nkọwapụta oghere ikuku gabigara ókè nwere ike ime ka ọnụ ahịa akụrụngwa dịkwuo elu, oge mgbapụta, oriri ike, mgbagwoju anya mmezi na mmetụta maka mmetọ na-enweghị mmụba nhata na arụmọrụ ngwaahịa.
Ya mere, ebumnuche injinia ziri ezi abụghị naanị iru nrụgide kachasị ala, kama ọ bụ ịmepụta ọkwa oghere nke dabara adaba maka ihe mkpuchi, usoro nkwụnye, ọnọdụ substrate na ihe onwunwe ihe nkiri achọrọ.
Sistemụ e mere nke ọma kwesịrị iru nrụgide ntọala akọwapụtara n'ime usoro mmepụta achọrọ, nọgide na-enwe ọnọdụ gas fọdụrụnụ kwụsiri ike n'oge okpomọkụ na nkwụnye, na-agbake mgbe niile mgbe ikuku ụlọ gasịrị ma na-akwado nsonaazụ mkpuchi a na-emegharị ugboro ugboro n'oge mmepụta ogologo oge.
Ịtụle Ugboro Ugboro site n'echiche Mmepụta
Mgbe a na-enyocha akụrụngwa mkpuchi ụlọ ọrụ mmepụta ihe, ndị ọrụ kwesịrị izere ịdabere naanị na uru kachasị elu nke e depụtara na mpempe akwụkwọ nkọwapụta.
Nnwale nnabata bara uru kwesịrị ịkọwa ma ụlọ ahụ tọgbọ chakoo ma ọ bụ ibu ibu, ma sistemụ ahụ ọ̀ dị oyi ma ọ bụ kpoo ọkụ, ogologo oge e tinyere ya na ọkpọkọ, ihe nlele vacuum ejiri na ebe etinyere ihe nlele ahụ. Nnwale ahụ kwesịkwara ịtụle ọnụego ntapu ụlọ ahụ, oge mgbapụta, nkwụsi ike nrụgide, njikwa usoro-gas na imeghachi ya n'ọtụtụ usoro mmepụta.
Maka ngwa ndị siri ike, ọ nwekwara ike ịdị mkpa ịtụle ihe mejupụtara gas fọdụrụnụ, mgbake nrụgide mgbe ebusịrị ihe ndị dị n'okpuru ala na omume nrụgide n'oge nhicha ion ma ọ bụ kpo oku substrate.
Ihe ngosi ndị a na-enye nyocha ziri ezi karịa ma akụrụngwa ahụ nwere ike idobe gburugburu ebe obibi ikuku dị mkpa maka mmepụta oke kwụsiri ike.
Mmechi
Mkpa injinịa nke ikuku ruru unyi n'ime ngwa mkpuchi abụghị naanị n'otú nrụgide nwere ike isi daa. Ọ na-anọchite anya ịdị ọcha nke gburugburu ebe a na-edebe ihe, iguzosi ike n'ezi ihe nke sistemụ mkpuchi, irè nke usoro mgbapụta na ikike nke ngwa iji chịkwaa gas fọdụrụnụ.
Igwe nhicha dị mma ma dịkwa mma nke a na-emegharị emegharị na-enyere aka belata mmetọ ihe nkiri, mee ka mwepụta plasma dịkwuo mma, melite ịdị ọcha n'etiti ihu ma na-akwado ihe ndị na-egosi anya, eletriki, ihe ịchọ mma na ihe ndị na-arụ ọrụ nke ọma. Ihe kacha mkpa bụ na ọ na-emepụta ọnọdụ mmalite a pụrụ ịdabere na ya maka usoro mkpuchi ọ bụla.
Maka akụrụngwa mkpuchi oghere mmepụta ihe, a ga-enyocha ezigbo uru nke oghere ikpeazụ yana oge mgbapụta, ọnụego ntapu mmiri, ihe mejupụtara gas fọdụrụnụ, arụmọrụ ụlọ ibu ibu na imeghachi usoro ogologo oge.
Sistemụ vacuum kacha mma abụghị nke na-enweta nrụgide ọnụọgụgụ kacha ala. Ọ bụ ya na-eme ka gburugburu vacuum dị mma nke ọma, na-edobe ya mgbe niile ma na-agbanwe nkwụsi ike ahụ ka ọ bụrụ ihe nkiri a na-emegharị emegharị na mmepụta oke a pụrụ ịtụkwasị obi.
Oge ozi: Julaị-22-2026