Kufunika kwa Uinjiniya kwa Ultimate Vacuum mu Zida Zophikira Vacuum

Mu zida zophikira vacuum, vacuum yomaliza nthawi zambiri imawonetsedwa ngati imodzi mwa mfundo zazikulu zaukadaulo. Komabe, kufunika kwake kwaukadaulo kumapitirira kupitirira kuwerenga kwa kupanikizika komwe kumawonetsedwa pa gauge ya vacuum. Kumawonetsa magwiridwe antchito ophatikizana a chipinda cha vacuum, makina opopera, kapangidwe kotseka, kusankha zinthu, kukonza pamwamba, ukhondo wa njira, ndi njira zowongolera.

Kwa opanga zokutira, kupanikizika kochepa kumatanthauza kuti makinawa amatha kukhazikitsa malo oyera komanso osavuta kuwalamulira. Komabe, vacuum yomaliza siyenera kuyesedwa yokha. Mtengo wake weniweni uli ngati ungathandizire njira yofunikira yokutira, kusunga mpweya wotsalira wokhazikika komanso kupereka magwiridwe antchito obwerezabwereza a filimu yopyapyala pansi pa mikhalidwe yopangira yopitilira.

Kumvetsetsa Ultimate Vacuum mu Machitidwe Ophikira

Mu mawu aukadaulo, kupanikizika komaliza kumatanthauza kupsinjika kotsika kwambiri komwe pampu ya vacuum kapena makina a vacuum amatha kufikira mopanda zizindikiro pansi pa mikhalidwe yoyesedwa komanso popanda mpweya wofunikira. ISO 3529 imapereka mawu okhazikika aukadaulo wa vacuum, pomwe opanga mapampu a vacuum nthawi zambiri amatanthauzira kupsinjika komaliza pansi pa mikhalidwe yoyendetsedwa bwino.

Komabe, pa makina odzaza vacuum okwanira, kuthamanga kwakukulu komwe kumayesedwa mkati mwa chipinda sikungodalira momwe pompo ya vacuum imagwirira ntchito. Ndi zotsatira zofanana za liwiro logwira ntchito komanso kuchuluka kwa mpweya mkati mwa makinawo.

Mpweya umenewu ungachokere ku zinthu zosiyanasiyana, kuphatikizapo kutayikira kwa mpweya mumlengalenga, kutayikira kwa mpweya, kutayikira kwa nthunzi ya madzi, kutulutsa mpweya mu substrate, kuipitsidwa kwa zinthu, kulowa kwa elastomer, kutsamira kwa mafuta m'malo osungira mpweya ndi zotsalira za processing zomwe zimayikidwa pamwamba pa chipinda. Mapaipi a vacuum, ma valve, ma baffle ndi zinthu zina zimapangitsanso kutayika kwa conductance, zomwe zikutanthauza kuti liwiro logwira ntchito popopera mpweya mu chipinda likhoza kukhala lotsika kwambiri kuposa liwiro loyezedwa popopera mpweya mu pompu.

Chifukwa chake, vacuum yomaliza imaonedwa molondola ngati chizindikiro chokwanira cha uinjiniya wa makina opopera m'malo mwa parameter yosiyana ya pump.

Ndikofunikanso kusiyanitsa kupanikizika kwakukulu ndi kupsinjika kwa maziko ndi kupsinjika kwa njira. Kupanikizika kwakukulu nthawi zambiri kumayesedwa pansi pa mikhalidwe yodziwika bwino yopanda katundu kapena chipinda choyera. Kupsinjika kwa maziko kumatanthauza kupsinjika komwe kumachitika njira yosungira isanayambe, nthawi zambiri ndi zinthu zomangira ndi zomangira zomwe zayikidwa. Kupanikizika kwa njira ndi kupsinjika komwe kumayendetsedwa bwino pambuyo poyambitsa argon, oxygen, nayitrogeni kapena mpweya wina wa njira.

Dongosolo lopaka utoto lingasonyeze kupanikizika kwakukulu pamene chipinda chilibe kanthu, koma limagwirabe ntchito bwino panthawi yopanga ngati zinthu zodzaza ndi madzi zimatulutsa nthunzi yambiri yamadzi kapena zinthu zina zodetsa zachilengedwe. Pachifukwa ichi, kuwunika kwaukadaulo kwa makina opaka utoto kuyenera kuyang'ana kwambiri pa mphamvu yake yomaliza yopaka utoto komanso momwe amagwirira ntchito yeniyeni yopaka utoto pansi pa zochitika zenizeni.

Ultimate Vacuum monga Chizindikiro cha Ukhondo wa Dongosolo

Limodzi mwa matanthauzo ofunikira kwambiri a uinjiniya wa vacuum yomaliza ndi kuthekera kwake kuwonetsa ukhondo wa malo osungira vacuum.

Pamene kupanikizika kumachepa, kuchuluka kwa mamolekyu a mpweya wotsala mkati mwa chipindacho kumachepa. Izi zimachepetsa mwayi woti tinthu tomwe timatuluka kapena tomwe timatuluka timagundana ndi mamolekyu a mpweya osafunikira asanafike pansi pake. Zimachepetsanso kutenga nawo mbali kwa nthunzi ya madzi, mpweya, ma hydrocarbon ndi zinthu zina zodetsa mu nucleation ya filimu ndi kukula kwake.

Mu njira zosungira nthunzi monga kupopera kwa magnetron, kuyika ma ion a arc, kupopera kwa resistance ndi kupopera kwa ma electron-beam, mpweya wotsalira ukhoza kuchitapo kanthu ndi maatomu omwe asungidwa kapena kuphatikizidwa mu filimu yomwe ikukula. Kutengera ndi zinthu zokutira ndi momwe zimagwiritsidwira ntchito, izi zitha kubweretsa kusungunuka kosalamulirika, kulowetsedwa kwa zinthu zodetsedwa, kuchepa kwa kuchuluka kwa filimu, kusasunthika kwa refractive index, kuwonjezeka kwa kukana kwamagetsi, kusagwirizana bwino kapena kusintha kwa kuuma ndi mtundu.

Zotsatira zake zimakhala zofunika kwambiri mu zokutira zamagetsi zowoneka ndi maso (multilayer optical coating), mafilimu a semiconductor, zokutira zowongolera zowonekera, mafilimu owunikira achitsulo ndi ntchito zina zomwe zimafuna kuwongolera bwino kapangidwe ka filimu. Ngakhale kuti kuthamanga kogwira ntchito panthawi yotulutsa mpweya kuli kwakukulu kwambiri kuposa kuthamanga komaliza, kuthamanga koyambirira kotsika kokwanira ndikofunikirabe kuti muchepetse kuipitsidwa kwa kumbuyo mpweya usanalowe. Zolemba zophimba mpweya m'mafakitale zimagogomezeranso kuti kutulutsa mpweya kumafuna kuwongolera kolondola kwa kuthamanga kwa mpweya komanso kuthamanga kotsika kuti zithandizire kuyera kwa magawo ndi kukhazikika kwa njira.

Chifukwa chake, vacuum yomaliza iyenera kumveka ngati poyambira pa ukhondo wa njira. Imatsimikizira maziko a mpweya wotsalira womwe mlengalenga wowongolera umakhazikitsidwa.

Mphamvu pa Kupanga Mafilimu ndi Kugwira Ntchito

Zotsatira za vacuum yomaliza zimawonekera pamapeto pake mu mawonekedwe a filimu yomwe yaikidwa.

Pa zokutira zachitsulo, mpweya wochuluka ndi nthunzi yamadzi zingayambitse okosijeni pang'ono panthawi yoyika, zomwe zimakhudza kusinthasintha kwa mpweya, kuwunikira, komanso kusinthasintha kwa mtundu. Pa zokutira za nitride, oxide ndi carbide, mpweya wotsalira wambiri ungasokoneze chiŵerengero cha mpweya wosinthika chomwe chikufunidwa, zomwe zimapangitsa kuti stoichiometric control ikhale yovuta kwambiri.

Mu njira zophikira kuwala, kuipitsidwa kumatha kusintha chiwerengero cha refractive ndi kutha kwa zigawo za zigawo zosiyanasiyana. Pamene zigawo zingapo za nanometer-scale zaikidwa pamodzi, kusiyana pang'ono kwa kapangidwe kapena kuchulukana kumatha kusonkhana, zomwe zimapangitsa kuti ma spectral asinthe, kuchepetsa kutumiza, kuwonjezeka kwa kuwala kapena mtundu wosagwirizana pakati pa magulu opanga.

Pa mafilimu oyendetsera mpweya monga ITO, AZO, siliva, mkuwa kapena zigawo zina zogwirira ntchito, kuipitsidwa kwa mpweya wotsalira kumatha kuwonjezera kukana kwa pepala ndikuchepetsa kuyenda kwa chonyamulira. Pakugwiritsa ntchito zokutira zolimba, kuipitsidwa kochulukirapo kungakhudze kukula kwa tirigu, kupsinjika kwamkati, kuuma, kuchuluka kwa kukangana ndi kukana dzimbiri.

Chotsukira mpweya chomaliza sichimasankha mwachindunji zinthu zonsezi, koma chimakhazikitsa malire omwe magawo oyikamo mpweya amatha kuyendetsedwa. Malo oyeretsera mpweya oyamba amachepetsa zinthu zosalamulirika ndipo amalola magawo a ntchito monga kuyenda kwa mpweya, mphamvu yowunikira, kukonda kwa substrate, kuchuluka kwa mpweya ndi kutentha kwa substrate kuchita ntchito zomwe akufuna.

Ubale Pakati pa Ultimate Vacuum ndi Plasma Stability

Mu magnetron sputtering, arc ion plating ndi plasma-enhanced deposition processes, malo okhazikika a plasma amadalira kuwongolera kodalirika kwa kapangidwe ka mpweya ndi kuthamanga kwake.

Pamene mphamvu ya pansi ili yochepa mokwanira, mpweya wotsalira umakhala gawo la mpweya wa plasma. Malo enieni otulutsira mpweya amasiyana ndi momwe mpweya umayendera omwe amawonetsedwa ndi olamulira kuyenda kwa mpweya. Izi zingayambitse kuyaka kosakhazikika, kusinthasintha kwa mphamvu yamagetsi ndi mphamvu yamagetsi yotulutsira mpweya, kusintha kwa mphamvu ya ionization ndi kusinthasintha kwa momwe zinthu zimakhalira.

Kutulutsa mpweya woipa m'mlengalenga (reactive sputtering) ndi vuto lalikulu kwambiri. Mukayika ma oxide, nitrides kapena mafilimu ena ophatikizika, kuyanjana pakati pa mphamvu ya chandamale, kuyenda kwa mpweya woipa, liwiro la kupompa ndi kulowetsedwa kwa mpweya m'chipinda ndi khoma kumatsimikiza ngati njirayi ikugwira ntchito mu metallic mode, transition mode kapena compound mode. Kusalamulirika kwa mpweya woipa kumapangitsa kuti kusagwirizana kumeneku kusakhale kodziwikiratu ndipo kungapangitse kuti chiopsezo cha poizoni wa chandamale chiwonjezeke, kugwedezeka kapena kugwedezeka kwa mpweya.

Kupanikizika kochepa komanso kobwerezabwereza kwa maziko kumapereka chikhalidwe chokhazikika choyambirira cha kuyaka kwa plasma ndi kuyika mpweya. Izi zimathandizira kubwerezabwereza kwa njira yophikira ndikuchepetsa kuchuluka kwa kusintha komwe kumafunika pakati pa magulu.

Kumatira Komaliza kwa Vacuum ndi Coating

Kumatirira kwa filimu kumakhudzidwa ndi ukhondo wa substrate, kuyatsa pamwamba, kuipitsidwa kwa interfacial, kuphulika kwa ma ion ndi kupsinjika kwa filimu. Ultimate vacuum imagwira ntchito yosalunjika koma yofunika kwambiri pa chilichonse mwa zinthuzi.

Asanayike pansi, zinthu zogwiritsidwa ntchito m'malo osungira madzi nthawi zambiri zimatenthedwa kapena kutsukidwa ndi kuwala, kutsukidwa ndi ma ion kapena kudulidwa ndi chitsulo. Mankhwalawa cholinga chake ndi kuchotsa mpweya wothira madzi, zotsalira za organic ndi zigawo za pamwamba zomwe sizikugwirizana bwino. Ngati chipindacho chili ndi nthunzi yambiri yamadzi kapena ma hydrocarbon, pamwamba pa chinthu choyeretsedwacho chikhoza kubwezeretsedwanso mwachangu chisanayike pansi choyamba chogwira ntchito.

Kupanikizika kokwanira kwa maziko kumafupikitsa nthawi pakati pa kuyeretsa pamwamba ndi kuyika filimu m'malo oipitsidwa. Izi zimathandiza kusunga mawonekedwe oyera komanso kukonza magwiridwe antchito a kuyeretsa ma ion ndi kuyika kwa ma adhesion.

Komabe, vacuum yabwino kwambiri yokha siingatsimikizire kuti imamatira mwamphamvu. Kukonza substrate isanayambe, kapangidwe ka zinthu, njira zoyeretsera, kutentha kwa pamwamba, mphamvu ya ma ion ndi kupsinjika kwa filimu ziyeneranso kulamulidwa bwino. Vacuum yomaliza iyenera kuonedwa ngati gawo limodzi la njira yonse yolumikizirana ndi mainjiniya.

Kufunika kwa Makhalidwe Ochepetsa Kupopera

Mu mafakitale opanga, nthawi yofunikira kuti mufike pamlingo wofunikira nthawi zambiri imakhala yofunika kwambiri kuposa kupanikizika kochepa komwe kumachitika pakapita nthawi yayitali.

Chipinda chophikira chingafike pamlingo wotsika kwambiri, koma ngati njira yochepetsera mpweya imatenga nthawi yayitali, zida sizingakwaniritse nthawi yofunikira yopangira. Mosiyana ndi zimenezi, dongosolo lomwe limafika mofulumira pamlingo wokhazikika komanso woyenera njira lingapereke phindu lalikulu pakupanga, ngakhale kuti mphamvu yake yomaliza si yotsika kwambiri.

Mzere wozungulira wa pompu umavumbula zambiri zaukadaulo kuposa kuwerenga komaliza kamodzi. Pa gawo loyamba, kuchepa kwa kuthamanga kwa mpweya kumatsimikiziridwa makamaka ndi kuchotsa mpweya wochuluka m'chipinda. Pamene kuthamanga kukupitirira kutsika, kutuluka kwa mpweya m'makoma a chipinda, zida, ndi zinthu zina pang'onopang'ono kumakhala mphamvu yaikulu ya mpweya. Ngati mzere wozungulira wa mpweya ufika pamlingo wosayenera, izi zitha kusonyeza kutuluka kwa mpweya, kutuluka kwa mpweya wambiri, kuipitsidwa, kuwonongeka kwa mpweya kapena liwiro losakwanira la kupopera mpweya.

Pachifukwa ichi, kuwunika kwa makina oyeretsera mpweya kuyenera kuphatikizapo osati kokha kupanikizika komaliza komanso nthawi yotuluka, mawonekedwe a kupsinjika ndi kuwola, nthawi yobwezeretsa mpweya pambuyo potulutsa mpweya komanso kubwerezabwereza pakati pa kuzungulira.

Zinthu Zomwe Zimatsimikizira Kupanikizika Kwambiri Komwe Kungatheke

Kupanikizika kwakukulu kwa zida zokutira kumatsimikiziridwa ndi kapangidwe kake konse ka vacuum.

Kuphatikiza kwa pampu komwe kwasankhidwa kumakhazikitsa luso la kupompa. Kutengera ndi kuchuluka kwa vacuum komwe kumafunika, makinawa angagwiritse ntchito mapampu ozungulira, mapampu owuma, zolimbikitsira mizu, mapampu ofalitsa, mapampu a turbomolecular kapena mapampu a cryogenic. Komabe, kusankha pampu kokha sikukwanira.

M'mimba mwake mwa payipi, kutalika kwa payipi, mawonekedwe a chigongono, kayendetsedwe ka valavu ndi malo oyikapo pompo zonse zimakhudza liwiro logwira ntchito la kupopera mpweya m'chipindamo. M'dera la kayendedwe ka mamolekyu, mapaipi opapatiza kapena ataliatali kwambiri amatha kuletsa kwambiri mayendedwe a mpweya.

Zipangizo za m'chipinda ndi momwe pamwamba pake pali zinthu zofunikanso. Zipinda zosapanga dzimbiri nthawi zambiri zimakhala ndi vacuum yoyenera, koma ubwino wa weld, kuuma kwa pamwamba, kuchuluka kwa zinthu zomwe zatsekedwa komanso kuipitsidwa kwa mkati kumatha kuchepetsa magwiridwe antchito a vacuum. Zisindikizo za elastomer ndizothandiza kwambiri pamafakitale ambiri opaka utoto, ngakhale kuti kulowetsedwa ndi kuchotsedwa kwa mpweya kuyenera kuganiziridwa. Kugwiritsa ntchito vacuum yochuluka kwambiri kungafunike zisindikizo zachitsulo, zipangizo zapadera, kuphika kwa chipinda ndi njira zotsukira zolimba.

Kutentha kumakhudzanso vacuum yomaliza. Kutenthetsa chipinda, substrate kapena chogwirira ntchito kumatha kutulutsa nthunzi yamadzi yomwe yalowa m'madzi ndi zotsalira za processing. Kupanikizika kungakwere kwakanthawi panthawi yotenthetsera isanagwe pamene mpweya wotulutsidwa ukuchotsedwa. Chifukwa chake, kuthamanga kwa chipinda chozizira ndi kuthamanga kwa processing yotentha siziyenera kuonedwa ngati zizindikiro zofanana.

Kusankha ndi kukhazikitsa gauge ya vacuum kuyeneranso kuganiziridwa. Maukadaulo osiyanasiyana a gauge ali ndi miyeso yosiyanasiyana, mphamvu ya mpweya komanso kulekerera kuipitsidwa. Malo a gauge angapangitse kuti kuthamanga komwe kukuwonetsedwa kukhale kosiyana ndi kuthamanga kwenikweni pafupi ndi substrate kapena doko lopopera. Chifukwa chake, mfundo yodalirika ya vacuum iyenera kufotokoza malo oyezera, mtundu wa gauge, momwe chipinda chilili, ndi njira yoyesera.

Chotsukira Chokwanira Ngati Chida Chodziwira Zipangizo

Kusintha kwa kuthamanga kwamphamvu kumapereka chidziwitso chofunikira chokhudza momwe zida zilili.

Ngati chipindacho chikufunika nthawi yochulukirapo kuti chifike pa kuthamanga komweko, chifukwa chake chingakhale kuipitsidwa kwa chipindacho, mafuta a pampu owonongeka, mapaipi otsekedwa, misampha yodzaza, zotsekera zosweka kapena kuchepa kwa magwiridwe antchito a pampu. Ngati kuthamanga kwakukulu kwatsika mwadzidzidzi, njira yatsopano yotayikira kapena kulephera kwa zigawo kungakhale kuti kwachitika.

Kuyerekeza ma curve opopera madzi pakati pa nthawi yopangira kungathandize magulu okonza zinthu kuzindikira kuwonongeka pang'onopang'ono kwa ntchito zisanachitike zolakwika pakuphimba. Zikaphatikizidwa ndi kuzindikira kutuluka kwa helium, kusanthula mpweya wotsalira, kuyang'anira mphamvu ya pampu ndi kulemba deta ya njira, machitidwe a vacuum otsiriza amakhala chizindikiro chothandiza chodziwira bwino momwe zinthu zidzakhalire.

Kusanthula mpweya wotsalira kumathandiza kwambiri makamaka pamene kuthamanga konse kokha sikungathe kufotokoza vuto la njira. Makina awiri oyeretsera mpweya amatha kuwonetsa kuthamanga konse komweko pomwe ali ndi mitundu yosiyanasiyana ya mpweya. Chipinda choyendetsedwa ndi nthunzi ya madzi chimachita mosiyana ndi chipinda choyendetsedwa ndi kutuluka kwa mpweya kapena kuipitsidwa ndi hydrocarbon. Kupanikizika konse kumasonyeza kuchuluka kwa mpweya wotsalira, pomwe kusanthula pang'ono kwa kuthamanga kumathandiza kuzindikira komwe kwachokera.

Kupanikizika Kochepa Sikuti Ndi Cholinga Chokha Chokhacho

Ngakhale kuti kupanikizika kochepa nthawi zambiri kumapereka malo abwino osungiramo zinthu, kutsatira mtengo wotsika kwambiri sikuti nthawi zonse kumakhala koyenera paukadaulo kapena pazachuma.

Njira zosiyanasiyana zophikira zimakhala ndi zofunikira zosiyanasiyana za vacuum. Zophikira zokongoletsera za PVD, ma multilayer optical, mafilimu a semiconductor, zophikira zida ndi zophikira zomangamanga zazikulu sizifuna mphamvu zofanana. Zofunikira kwambiri za vacuum zitha kuwonjezera mtengo wa zida, nthawi yopumira, kugwiritsa ntchito mphamvu, zovuta zokonza komanso kukhudzidwa ndi kuipitsidwa popanda kupanga kusintha koyenera pakugwira ntchito kwa zinthu.

Cholinga choyenera cha uinjiniya sichingokwaniritsa kupanikizika kochepa kwambiri, koma kukhazikitsa mulingo wa vacuum woyenera zinthu zophikira, njira yoyikamo, momwe gawo lapansi lilili komanso momwe filimu imafunikira.

Dongosolo lopangidwa bwino liyenera kufikira mphamvu yoyambira yomwe yatchulidwa mkati mwa nthawi yofunikira yopangira, kusunga mpweya wotsalira wokhazikika panthawi yotenthetsera ndi kuyika, kuchira nthawi zonse pambuyo poti mpweya wa m'chipinda watuluka ndikuthandizira zotsatira zobwerezabwereza zophimba pakapita nthawi yayitali.

Kuwunika Ultimate Vacuum Kuchokera ku Malingaliro Opanga

Poyesa zida zokutira za mafakitale, ogwiritsa ntchito ayenera kupewa kudalira kokha phindu la vacuum lomwe lafotokozedwa mu pepala lofotokozera.

Kuyesa kovomerezeka koyenera kuyenera kufotokozera ngati chipinda chili chopanda kanthu kapena chodzaza, kaya makinawo ndi ozizira kapena otentha, nthawi yayitali yomwe yapopedwa, gauge iti ya vacuum yomwe imagwiritsidwa ntchito komanso komwe gauge imayikidwa. Kuyesako kuyeneranso kuganizira kuchuluka kwa kutuluka kwa madzi m'chipinda, nthawi yomwe pampu imatsika, kukhazikika kwa kuthamanga, kuwongolera mpweya ndi njira yogwirira ntchito komanso kubwerezabwereza pazochitika zosiyanasiyana zopangira.

Pa ntchito zovuta, kungakhale kofunikiranso kuwunika kapangidwe ka mpweya wotsalira, kuchira kwa kupanikizika pambuyo podzaza substrate ndi momwe kupanikizika kumakhalira panthawi yoyeretsa ma ion kapena kutentha substrate.

Zizindikiro izi zimapereka kuwunika koyenera ngati zidazo zingathe kusunga malo osungira mpweya wofunikira kuti pakhale kupanga zinthu zambiri mokhazikika.

Mapeto

Kufunika kwa uinjiniya wa vacuum yomaliza mu zida zokutira sikungodalira momwe mphamvu ingatsikire. Kumayimira ukhondo wa malo osungiramo zinthu, umphumphu wa makina otsekera, kugwira ntchito bwino kwa kapangidwe ka kupompa ndi kuthekera kwa zidazo kuwongolera mpweya wotsalira.

Chotsukira mpweya choyenera komanso chobwerezabwereza chimathandiza kuchepetsa kuipitsidwa kwa filimu, kukhazikika kwa kutuluka kwa plasma, kukonza ukhondo wa pakati pa nkhope ndikuthandizira mawonekedwe a kuwala, magetsi, zokongoletsera komanso makina nthawi zonse. Chofunika kwambiri, chimapanga malo oyambira odalirika pa nthawi iliyonse yophimba.

Pazida zophikira vacuum zamafakitale, mtengo weniweni wa vacuum womaliza uyenera kuyesedwa pamodzi ndi nthawi yotsika kwa pampu, kuchuluka kwa kutayikira, kapangidwe ka mpweya wotsalira, magwiridwe antchito a chipinda chodzaza ndi zinthu, komanso kubwerezabwereza kwa ntchito kwa nthawi yayitali.

Dongosolo labwino kwambiri la vacuum si lomwe limapangitsa kuti pakhale kupanikizika kochepa kwambiri. Ndi lomwe limakhazikitsa malo oyenera a vacuum bwino, limasunga nthawi zonse ndikusandutsa kukhazikika kumeneko kukhala filimu yabwino komanso yodalirika yopanga zinthu zambiri.