די פאָרשטעלונג פון פֿאַרשידענע וואַקוום פּאָמפּעס האט אַנדערע אונטערשיידן אַחוץ די מעגלעכקייט צו פּאָמפּן וואַקוום צו דער קאַמער. דעריבער, איז עס זייער וויכטיק צו קלעראַפיצירן די אַרבעט וואָס די פּאָמפּע טוט אין דעם וואַקוום סיסטעם ווען מען קלייבט, און די ראָלע וואָס די פּאָמפּע שפּילט אין פֿאַרשידענע אַרבעטס פֿעלדער איז צוזאַמענגעפֿאַסט ווי פֿאָלגט.
1, זייענדיק די הויפּט פּאָמפּע אין די סיסטעם
די הויפּט פּאָמפּע איז די וואַקוום פּאָמפּע וואָס פּאָמפּט גלייך די פּאָמפּטע קאַמער פון די וואַקוום סיסטעם צו באַקומען די וואַקוום גראַד וואָס איז נויטיק צו טרעפן די פּראָצעס רעקווירעמענץ.
2, גראָב פּאָמפּע פּאָמפּע
א גראָבע פּאָמפּע פּאָמפּע איז די וואַקוום פּאָמפּע וואָס הייבט אָן צו רעדוצירן פון לופט דרוק און דער דרוק פון וואַקוום סיסטעם דערגרייכט אן אנדער פּאָמפּע סיסטעם וואָס קען אָנהייבן צו אַרבעטן.
3, פאַר-בינע פּאָמפּע
א פאַר-שטאַפּל פּאָמפּע איז אַ וואַקוום פּאָמפּע געניצט צו האַלטן דעם פאַר-שטאַפּל דרוק פון אַן אַנדער פּאָמפּע אונטער איר העכסטן ערלויבטן פאַר-שטאַפּל דרוק.
4, האַלטן פּאָמפּע
א האַלטן פּאָמפּע איז אַ פּאָמפּע וואָס קען נישט עפֿעקטיוו נוצן די הויפּט פֿאָר-שטאַפּל פּאָמפּע ווען די וואַקוום סיסטעם פּאָמפּע איז זייער קליין. צוליב דעם, ווערט אַן אַנדער סאָרט הילפֿס פֿאָר-שטאַפּל פּאָמפּע מיט אַ קלענערער פּאָמפּע גיכקייט גענוצט אין דער וואַקוום סיסטעם צו האַלטן די נאָרמאַלע אַרבעט פֿון דער הויפּט פּאָמפּע אָדער צו האַלטן דעם נידעריקן דרוק וואָס איז נויטיק פֿאַר דעם ליידיקן קאַנטיינער.
5, גראָב וואַקוום פּאָמפּע אָדער נידעריק וואַקוום פּאָמפּע
גראָב אָדער נידעריק וואַקוום פּאָמפּע איז אַ וואַקוום פּאָמפּע וואָס הייבט זיך אָן פֿון דער לופֿט און אַרבעט אין דעם קייט פֿון נידעריק אָדער גראָב וואַקוום דרוק נאָך דעם ווי עס רעדוצירט דעם דרוק פֿון דעם פּאָמפּטן קאַנטיינער.
6, הויך וואַקוום פּאָמפּע
הויך וואַקוום פּאָמפּע באַציט זיך צו אַ וואַקוום פּאָמפּע וואָס אַרבעט אין אַ הויך וואַקוום קייט.
7, אולטרא-הויך וואַקוום פּאָמפּע
אן אולטרא-הויך וואקיום פאמפ באציט זיך צו א וואקיום פאמפ וואס ארבעט אין אן אולטרא-הויך וואקיום קייט.
8, בוסטער פּאָמפּע
א בוסטער פאמפ באציט זיך געווענליך צו א וואקיום פאמפ וואס ארבעט צווישן א נידעריגער וואקיום פאמפ און א הויך וואקיום פאמפ צו פארגרעסערן די פאמפינג קאפאציטעט פון די פאמפינג סיסטעם אין די מיטל דרוק קייט אדער צו רעדוצירן די פאמפינג ראטע פארלאנג פון דער ערשטער פאמפ.
הקדמה צו יאָן רייניגער
פּלאַזמע רייניגער
1. פּלאַזמע איז אַן יאָניזירטער גאַז אין וועלכן די געדיכטקייטן פון פּאָזיטיווע יאָנען און עלעקטראָנען זענען אַפּראָקסימאַטיוו גלייך. עס באַשטייט פון יאָנען, עלעקטראָנען, פרייע ראַדיקאַלן און נייטראַלע פּאַרטיקלען.
2. דאָס איז דער פערטער צושטאַנד פֿון מאַטעריע. ווײַל פּלאַזמע איז אַ קאָמבינאַציע פֿון העכערער ענערגיע ווי גאַז, קען די סובסטאַנץ אין דער פּלאַזמע סביבה באַקומען מער פֿיזיקאָכעמישע און אַנדערע רעאַקציע כאַראַקטעריסטיקס.
3. פּלאַזמע רייניקונג מאַשין מעקאַניזאַם איז צו פאַרלאָזן זיך אויף די "פּלאַזמע שטאַט" פון די מאַטעריאַל "אַקטיוויישאַן ווירקונג" צו באַזייַטיקן ייבערפלאַך פלעקן.
4. פּלאַזמע רייניקונג איז אויך די מערסט אומבאשטימטע סטריפּינג טיפּ פון רייניקונג צווישן אַלע רייניקונג מעטאָדן. עס קען זיין וויידלי געניצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר, מיקראָעלעקטראָניק, COG, LCD, LCM און LED פּראָצעס.
5. פּרעציזיע רייניקונג איידער דיווייס פּאַקאַדזשינג, וואַקוום עלעקטראָניק, קאַנעקטערז און רעלייז, זונ פאָטאָוואָלטאַיק אינדוסטריע, פּלאַסטיק, גומע, מעטאַל און קעראַמיק ייבערפלאַך רייניקונג, עטשינג באַהאַנדלונג, אַשינג באַהאַנדלונג, ייבערפלאַך אַקטיוואַציע און אנדערע פעלדער פון לעבן וויסנשאַפֿט עקספּערימענטן.
פּאָסט צייט: נאָוועמבער-07-2022