Thiết bị phủ bay hơi là một loại thiết bị dùng để phủ vật liệu màng mỏng lên bề mặt vật liệu nền, được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực thiết bị quang học, thiết bị điện tử, lớp phủ trang trí, v.v. Lớp phủ bay hơi chủ yếu sử dụng nhiệt độ cao để chuyển vật liệu rắn thành trạng thái khí, sau đó phủ lên vật liệu nền trong môi trường chân không. Sau đây là nguyên lý hoạt động của thiết bị phủ bay hơi:
Môi trường chân không:
Quá trình phủ lớp bay hơi cần được thực hiện trong môi trường chân không cao để tránh vật liệu phản ứng với oxy hoặc các tạp chất khác trong không khí trong quá trình bay hơi và đảm bảo độ tinh khiết của lớp phủ được phủ.
Buồng chân không đạt được mức chân không cần thiết thông qua các thiết bị như bơm cơ học và bơm khuếch tán.
Nguồn bốc hơi:
Nguồn bốc hơi là thiết bị dùng để làm nóng và bốc hơi vật liệu phủ. Các nguồn bốc hơi phổ biến bao gồm nguồn gia nhiệt điện trở, nguồn bốc hơi chùm electron và nguồn bốc hơi laser.
Làm nóng bằng điện trở: làm nóng vật liệu thông qua dây điện trở để làm bay hơi vật liệu.
Bốc hơi chùm tia điện tử: sử dụng súng điện tử để phát ra chùm tia điện tử nhằm làm nóng trực tiếp vật liệu phủ để làm vật liệu bốc hơi.
Bốc hơi bằng laser: chiếu tia laser năng lượng cao vào vật liệu để làm vật liệu bốc hơi nhanh chóng.
Quá trình bay hơi:
Vật liệu phủ được chuyển từ trạng thái rắn hoặc lỏng sang trạng thái khí dưới nhiệt độ cao của nguồn bay hơi, tạo thành hơi.
Các phân tử hơi này di chuyển tự do trong môi trường chân không và khuếch tán theo mọi hướng.
Nộp phim:
Các phân tử hơi tiếp xúc với bề mặt được làm mát của chất nền khi chúng di chuyển, ngưng tụ và lắng đọng để tạo thành một lớp màng mỏng.
Chất nền có thể được xoay hoặc tiếp xúc đồng đều với môi trường hơi để đảm bảo tính đồng nhất và nhất quán của màng.
Làm mát và bảo dưỡng:
Sau khi lắng đọng, màng phim nguội và đóng rắn trên bề mặt chất nền để tạo thành lớp màng mỏng có các tính chất vật lý và hóa học cụ thể.
Các lĩnh vực ứng dụng
Lớp phủ quang học: Được sử dụng để sản xuất màng chống phản xạ, gương, bộ lọc và các thành phần quang học khác.
Thiết bị điện tử: dùng để sản xuất mạch tích hợp, thiết bị bán dẫn, thiết bị hiển thị, v.v.
Lớp phủ trang trí: dùng để phủ bề mặt các vật trang trí, đồng hồ, đồ trang sức, v.v. nhằm tăng tính thẩm mỹ và khả năng chống mài mòn.
Lớp phủ chức năng: dùng để tạo ra các lớp màng có chức năng đặc biệt như chống ăn mòn, chống oxy hóa và chống mài mòn.
Với độ tinh khiết cao, tính đồng nhất và đa chức năng, công nghệ phủ bay hơi đã được sử dụng rộng rãi trong nhiều ứng dụng có độ chính xác cao và nhu cầu cao.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 23-07-2024