In فىزىكىلىق پار چۆكمىسى(PVD) ۋە ئۇنىڭغا مۇناسىۋەتلىك ۋاكۇئۇم قاپلاش جەريانلىرىدا، پىلاستىنكىنىڭ ساپلىقى كۆپىنچە نىشان ياكى مەنبە ماتېرىياللارنىڭ ئىچكى ساپلىقى بىلەن ئاددىيلاشتۇرۇلىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، ئەمەلىي ئىشلەپچىقىرىشتا، چۆكتۈرۈلگەن پىلاستىنكىنىڭ ئاخىرقى ساپلىقى پەقەت ماتېرىيال تەركىبى بىلەنلا ئەمەس، بەلكى - مۇھىمى - چۆكتۈرۈشتىن بۇرۇنقى ۋە دەسلەپكى باسقۇچتىكى ۋاكۇئۇم مۇھىتىنىڭ سۈپىتى بىلەنمۇ بەلگىلىنىدۇ. پومپىلاش سۈرئىتى ۋە ئاخىرقى بېسىمنىڭ بېكىتىلىشى قالدۇق گازلارنىڭ تەركىبى ۋە قىسمەن بېسىمىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ، شۇنىڭ بىلەن پىلاستىنكىنىڭ مىكرو قۇرۇلمىسى ۋە خىمىيىلىك ساپلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
كامېرا ئاتموسفېرا شارائىتىدىن يۇقىرى ۋاكۇئۇمغا ئۆتكەندە، كامېرانىڭ تاملىرى، ئۈسكۈنىلىرى ۋە ئاساسىي قەۋەتلىرىدىن سۈمۈرۈلگەن گازلار ۋە نەملىكنىڭ ئۈزلۈكسىز سۈمۈرۈلۈشى يۈز بېرىدۇ. سۇ پارى (H₂O)، ئوكسىگېن (O₂)، ئازوت (N₂) ۋە ھەر خىل كاربون سۇ بىرىكمىلىرى ئادەتتە مەۋجۇت بولىدۇ. ئەگەر بۇ قالدۇق تۈرلەر چۆكمە جەريانىدا رېئاكسىيەگە قاتناشسا ياكى ئۆسۈۋاتقان پەردىگە قوشۇلۇپ كەتسە، ئۇلار ئارىلاشما ئاتوملارنى كىرگۈزىدۇ ياكى كېرەكسىز بىرىكمىلەرنى ھاسىل قىلىدۇ، بۇ پەردىنىڭ ساپلىقىنى تۆۋەنلىتىدۇ ۋە ئېلېكتر خۇسۇسىيىتى، ئوپتىكىلىق ئىقتىدارى ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك مۇقىملىقىنى تۆۋەنلىتىشى مۇمكىن.
يۇقىرى سۈرئەتلىك پومپا بىلەن چۈشۈرۈشنىڭ ئاساسلىق پايدىسى يۇقىرى بېسىملىق ھالەتتە تۇرۇش ۋاقتىنى تېز قىسقارتىشتۇر. قاتتىق پومپا باسقۇچىدا، ئوتتۇرا بېسىمغا ئۇزۇن ۋاقىت دۇچ كېلىش كامېرا ئىچىدىكى يۈزلەردە قايتا-قايتا ئادسوربسىيە ۋە دېسوربسىيە جەريانلىرىنى ئىلگىرى سۈرۈپ، قايتا بۇلغىنىش دەۋرىنى ھاسىل قىلىدۇ. ئۈنۈملۈك پومپا سۈرئىتىنى ئاشۇرۇش سىستېمىنىڭ بۇ بېسىم دائىرىسىدىن تېز ئۆتۈشىگە يول قويۇپ، سۇ پارى ۋە ئورگانىك مولېكۇلانىڭ قايتا ئادسوربسىيە قىلىنىش پۇرسىتىنى ئازايتىدۇ ھەمدە يۇقىرى ۋاكۇئۇم باسقۇچى ئۈچۈن تېخىمۇ پاكىز باشلىنىش شارائىتىنى يارىتىدۇ.
يۇقىرى ۋاكۇئۇم ھالىتىگە كىرگەندىن كېيىن، پومپا سۈرئىتى قالدۇق گازلارنىڭ قىسمەن بېسىمىنى كونترول قىلىشتا مۇھىم رول ئوينايدۇ. يۇقىرى ئۈنۈملۈك پومپا سۈرئىتى مۇقىم ھالەتتىكى قىسمەن بېسىمنى تۆۋەنلىتىدۇ، بولۇپمۇ ئوكسىگېن ۋە سۇ پارى ئۈچۈن. مېتال پەردە چۆكمىسىدە، ئوكسىگېن قىسمەن بېسىمىدىكى ئازراق ئۆزگىرىشلەر يۈزەكى ئوكسىدلىنىشنى قوزغىتىپ، مېتال ئوكسىد قوشۇلمىلىرىنىڭ شەكىللىنىشىگە ۋە مېتال ساپلىقىنىڭ تۆۋەنلىشىگە سەۋەب بولىدۇ. يۇقىرى ئۈنۈملۈك ئوپتىكىلىق ياكى ئىقتىدارلىق قاپلاملاردا، قالدۇق نەملىك پەردە زىچلىقىغا تەسىر كۆرسىتىپ، قۇرۇلما نۇقسانلىرىنى ئاشۇرۇشى مۇمكىن.
يۇقىرى سۈرئەتلىك پومپا بىلەن چۈشۈرۈش دەسلەپكى پىلاستىنكا-ئاساسلىق يۈزىنىڭ سۈپىتىگە تېخىمۇ تەسىر كۆرسىتىدۇ. ئاساسىي يۈزى تولۇق چۆكمە ماتېرىيال بىلەن قاپلىنىشتىن بۇرۇن، يۇقىرى ئارقا كۆرۈنۈش گاز بېسىمى ئارىلىق رېئاكسىيەلەرگە قاتنىشىدىغان، بۇلغىنىش قەۋىتى ياكى ئاجىز باغلىنىشلىق ئارىلىق قەۋەتلەرنى ھاسىل قىلىدىغان ئارىلىق مولېكۇلالىرىنىڭ ئېھتىماللىقىنى ئاشۇرىدۇ. بۇنداق ئارىلىق كەمتۈكلۈكلەرنى كېيىنكى ئۆسۈشتە يوقىتىش كۆپىنچە تەس، ئەمما كېيىن مۇھىت سىنىقىدا يېپىشىش مەسىلىسى ياكى ئىشەنچلىكلىك مەسىلىسى سۈپىتىدە ئىپادىلىنىشى مۇمكىن.
شۇنىڭغا دىققەت قىلىش كېرەككى، يۇقىرى پومپا سۈرئىتى پەقەت يۇقىرى سىغىملىق ۋاكۇئۇم پومپىلىرىنى ئورنىتىش ئارقىلىقلا قولغا كەلتۈرۈلمەيدۇ. بۇ پومپا سەپلىمىسى، ۋاكۇئۇم لىنىيەسىنىڭ ئۆتكۈزۈشچانلىقى، كلاپان ئىنكاسى ۋە كامېرا قۇرۇلمىسى لايىھىسىنى ئومۇميۈزلۈك ئەلالاشتۇرۇشنى تەلەپ قىلىدۇ. پەقەت سىستېمىنىڭ ئومۇمىي پومپا ئۈنۈمىگە كاپالەتلىك قىلىنغاندىلا، قالغان گازلارنى تېز سۈرئەتتە چىقىرىۋېتىشكە ۋە تۆۋەن قىسمەن بېسىمنى ئىزچىل ساقلاپ قېلىشقا بولىدۇ، بۇ يۇقىرى ساپلىق پەردىلىرىنىڭ شەكىللىنىشى ئۈچۈن مۇقىم ئاساس سالىدۇ.
ئىلغار ئىقتىدارلىق قاپلاش، ئوپتىكىلىق پىلىنكا ۋە ئېنىق ئېلېكترونلۇق قوللىنىشلاردا، ئىقتىدار پەرقى كۆپىنچە ئىز دەرىجىلىك ئارىلاشمىلارنىڭ توپلىنىش تەسىرىدىن كېلىپ چىقىدۇ. شۇڭا تېز ۋە مۇقىم پومپا قىلىش ئىقتىدارى پەقەت جەرياننىڭ ئۈنۈمى مەسىلىسى ئەمەس؛ ئۇ پىلىنكا سۈپىتىنى كونترول قىلىدىغان مېخانىزمغا بىۋاسىتە چېتىلىدىغان ئاساسىي جەريان شەرتى.
-بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچى جېنخۇا چاڭ-توزان سۈمۈرۈش ماشىنىسى
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2026-يىلى 2-ئاينىڭ 6-كۈنى