In ho kenngoa ha mouoane oa 'mele(PVD) le lits'ebetso tse amanang le ho koahela ka vacuum, bohloeki ba filimi hangata bo amahanngoa habonolo le bohloeki ba ka hare ba thepa e reretsoeng kapa ea mohloli. Leha ho le joalo, tlhahisong e sebetsang, bohloeki ba ho qetela ba filimi e behiloeng ha bo khethoe feela ke sebopeho sa thepa, empa hape - ka ho teba - ke boleng ba tikoloho ea vacuum pele le nakong ea mekhahlelo ea pele ea ho beoa. Sekhahla sa ho theola pompo le ho thehoa ha khatello ea ho qetela li susumetsa ka kotloloho sebopeho le khatello e sa fellang ea likhase tse setseng, ka hona li ama sebopeho sa microstructure le bohloeki ba lik'hemik'hale ba filimi.
Ha kamore e fetoha ho tloha maemong a sepakapaka ho ea ho vacuum e phahameng, ho tlosoa ho sa khaotseng ha likhase tse monngoang le mongobo ho etsahala ho tsoa maboteng a kamore, lisebelisoa le li-substrate. Mouoane oa metsi (H₂O), oksijene (O₂), naetrojene (N₂), le li-hydrocarbon tse fapaneng li atisa ho ba teng. Haeba mefuta ena e setseng e nka karolo liketsong nakong ea ho kenngoa kapa e kenngoa filiming e ntseng e hola, e hlahisa liathomo tse sa hloekang kapa e etsa metsoako e sa batleheng, e fokotsang bohloeki ba filimi le thepa ea motlakase e ka 'nang ea senya, ts'ebetso ea optical, le botsitso ba nako e telele.
Molemo oa bohlokoa oa ho theola pompo ka lebelo le phahameng ke phokotso e potlakileng ea nako ea bolulo tsamaisong e phahameng ea khatello. Nakong ea mohato o boima oa ho pompo, ho pepesehela khatello e mahareng nako e telele ho khothalletsa ts'ebetso ea ho monya le ho ntša metsi khafetsa holim'a libaka tse ka har'a kamore, e leng se etsang hore ho be le potoloho ea ho monya metsi hape. Ho eketsa lebelo le sebetsang la ho pompo ho lumella sistimi ho feta kapele sebakeng sena sa khatello, ho fokotsa menyetla ea ho monya metsi hape le limolek'hule tsa tlhaho le ho theha boemo bo hloekileng ba ho qala bakeng sa mohato oa vacuum e phahameng.
Hang ha e le tsamaisong ea vacuum e phahameng, lebelo la ho pompa le lula le le bohlokoa bakeng sa ho laola khatello e sa fellang ea likhase tse setseng. Lebelo le phahameng la ho pompa le lebisa khatellong e tlase ea karolo e tsitsitseng, haholo-holo bakeng sa oksijene le mouoane oa metsi. Ho kenngoeng ha filimi ea tšepe, esita le ho fetoha ho honyenyane ha khatello e sa fellang ea oksijene ho ka baka oxidation ea bokaholimo, e leng se fellang ka ho thehoa ha li-inclusions tsa oxide ea tšepe le phokotso ea bohloeki ba tšepe. Likoahelong tsa optical kapa tse sebetsang hantle, mongobo o sa setseng o ka boela oa ama bongata ba filimi le ho eketsa liphoso tsa sebopeho.
Pompo e potlakileng e theolang thepa e ama boleng ba sebopeho sa filimi le substrate sa pele. Pele bokaholimo ba substrate bo koaheloa ka botlalo ke thepa e bolokiloeng, khatello e phahameng ea khase ea morao e eketsa monyetla oa hore limolek'hule tse litšila li kenelle liketsong tsa interfacial, li etse mekhahlelo ea tšilafalo kapa mekhahlelo e kopaneng e fokolang. Liphoso tse joalo tsa interfacial hangata li thata ho li felisa kholong e latelang, leha ho le joalo hamorao li ka hlaha e le ho hloleha ho khomarela kapa mathata a ts'epahalang tlas'a liteko tsa tikoloho.
Ho bohlokoa ho hlokomela hore lebelo le phahameng la ho pompa ha le fihlellehe feela ka ho kenya lipompo tsa vacuum tse nang le bokhoni bo phahameng. Ho hloka ntlafatso e felletseng ea tlhophiso ea pompo, ho tsamaisa mela ea vacuum, litšobotsi tsa karabelo ea valve, le moralo oa sebopeho sa kamore. Ke feela ha ts'ebetso e akaretsang ea ho pompa ha sistimi e netefalitsoe moo likhase tse setseng li ka tlosoang kapele 'me likhatello tse tlase tse sa fellang li bolokoa ka mokhoa o tsitsitseng, ho fana ka motheo o tsitsitseng oa ho thehoa ha lifilimi tse hloekileng haholo.
Likoahelong tse tsoetseng pele tsa ts'ebetso, lifiliming tsa mahlo, le lits'ebetsong tsa elektroniki tse nepahetseng, liphapang tsa ts'ebetso hangata li hlaha ka lebaka la litlamorao tse kopaneng tsa litšila tsa boemo ba trace. Ka hona, bokhoni ba ho pompa ka potlako le bo tsitsitseng ha se taba feela ea katleho ea ts'ebetso; ke boemo ba motheo ba ts'ebetso bo amehang ka kotloloho mekhoeng e laolang boleng ba filimi.
-Sengoloa sena se phatlalalitsoe kemoetsi oa lisebelisoa tsa ho roala ka vacuum Letsoho la Zhenhua
Nako ea poso: Hlakola-06-2026