In danîna buhara fîzîkî(PVD) û pêvajoyên pêçandina valahiya têkildar, paqijiya fîlmê pir caran bi hêsanî bi paqijiya xwerû ya materyalên hedef an çavkaniyê ve girêdayî ye. Lêbelê, di hilberîna pratîkî de, paqijiya dawîn a fîlmek razandî ne tenê bi pêkhateya materyalê, lê di heman demê de - bi girîngî - bi kalîteya jîngeha valahiya berî û di qonaxên destpêkê yên razandinê de jî tê destnîşankirin. Rêjeya pompkirinê û avakirina zexta dawîn rasterast bandorê li pêkhate û zexta qismî ya gazên mayî dike, bi vî rengî bandorê li mîkroavahî û paqijiya kîmyewî ya fîlmê dike.
Her ku ode ji şert û mercên atmosferîk derbasî valahiyek bilind dibe, gazên adsorpsiyonkirî û şilbûna berdewam ji dîwar, amûr û substratên odeyê têne derxistin. Buxara avê (H₂O), oksîjen (O₂), nîtrojen (N₂), û cûrbecûr hîdrokarbon bi gelemperî hene. Ger ev cureyên mayî di dema danînê de beşdarî reaksiyonan bibin an jî di nav fîlma mezinbûnê de bibin, ew atomên nepakiyê dixin an jî pêkhateyên nexwestî çêdikin, paqijiya fîlmê kêm dikin û potansiyel taybetmendiyên elektrîkê, performansa optîkî û aramiya demdirêj xirab dikin.
Sûdeke sereke ya pompkirina bilez ew e ku dema mayînê di rejîma zexta bilind de bi lez kêm dibe. Di qonaxa pompkirina dijwar de, rûbirûbûna dirêj a bi zextên navîn re pêvajoyên dubare yên adsorpsiyon û desorpsiyonê li ser rûberên di hundurê odeyê de pêş dixe, û çerxek ji nû ve qirêjbûnê diafirîne. Zêdekirina leza pompkirina bi bandor dihêle ku pergal bi lez ji vê rêza zextê derbas bibe, derfetên ji bo ji nû ve adsorpsiyona buhara avê û molekulên organîk kêm dike û şertek destpêkek paqijtir ji bo qonaxa valahiyek bilind ava dike.
Dema ku di rejîma valahiyek bilind de be, leza pompkirinê ji bo kontrolkirina zexta qismî ya gazên mayî girîng dimîne. Leza pompkirina bi bandor a bilindtir dibe sedema zextên qismî yên rewşa aram kêmtir, nemaze ji bo oksîjen û buhara avê. Di çêbûna fîlima metalîk de, tewra guherînên piçûk ên di zexta qismî ya oksîjenê de jî dikarin oksîdasyona rûyê çêbikin, ku di encamê de dibe sedema çêbûna têkelên oksîda metal û kêmbûna paqijiya metalîk. Di pêçandinên optîkî an fonksiyonel ên performansa bilind de, şilbûna mayî jî dikare bandorê li dendika fîlimê bike û kêmasiyên avahîsaziyê zêde bike.
Pompkirina bilez bandorê li ser kalîteya rûbera destpêkê ya fîlm-substratê dike. Berî ku rûyê substratê bi tevahî bi materyalê razayî were nixumandin, zexta gaza paşîn a bilind îhtîmala beşdarbûna molekulên nepakiyê di reaksiyonên rûbera navberê de zêde dike, tebeqeyên qirêjbûnê an tebeqeyên navbera girêdanên qels çêdikin. Di mezinbûna paşîn de ji holê rakirina kêmasiyên rûbera navberê pir caran dijwar e, lê dibe ku ew paşê wekî têkçûnên zeliqandinê an pirsgirêkên pêbaweriyê di bin ceribandina jîngehê de xuya bibin.
Girîng e ku were zanîn ku leza pompkirina bilind ne tenê bi sazkirina pompên valahiyê yên kapasîteya bilindtir tê bidestxistin. Ew hewceyê baştirkirina berfireh a mîhengkirina pompê, guhêrbariya xetên valahiyê, taybetmendiyên bersiva valvê û sêwirana avahiya odeyê ye. Tenê dema ku karîgeriya pompkirina giştî ya pergalê were misoger kirin, gazên mayî dikarin bi lez werin rakirin û zextên qismî yên nizm bi domdarî werin parastin, ku bingehek sabît ji bo avakirina fîlimên paqijiya bilind peyda dike.
Di pêçandinên fonksiyonel ên pêşketî, fîlmên optîkî û sepanên elektronîkî yên bi hûrgilî de, cudahîyên performansê pir caran ji bandorên berhevkirî yên qirêjiyên asta şopê derdikevin. Ji ber vê yekê, kapasîteya pompkirinê ya bilez û aram ne tenê meseleyek karîgeriya pêvajoyê ye; ew şertek bingehîn a pêvajoyê ye ku rasterast di mekanîzmayên ku kalîteya fîlmê birêve dibin de cih digire.
- Ev gotar ji hêla ... ve hatiye weşandin.hilberînerê alavên boyaxkirina valahiyê Zhenhua Valahî
Dema şandinê: Sibat-06-2026