In физик пар утырмасы(PVD) һәм аңа бәйле вакуум каплау процессларында пленка сафлыгы еш кына максатлы яки чыганак материалларның эчке сафлыгы белән гадиләштерелә. Ләкин гамәли җитештерүдә, урнаштырылган пленканың соңгы сафлыгы материал составы белән генә түгел, ә - мөһим яктан - утырту алдыннан һәм аның башлангыч этапларындагы вакуум мохите сыйфаты белән дә билгеләнә. Насослау тизлеге һәм чик басымын билгеләү калдык газларның составына һәм өлешчә басымына турыдан-туры йогынты ясый, шуның белән пленканың микроструктурасына һәм химик сафлыгына тәэсир итә.
Камера атмосфера шартларыннан югары вакуумга күчкәндә, камера стеналарыннан, җайланмаларыннан һәм субстратларыннан адсорбцияләнгән газлар һәм дымның өзлексез десорбциясе бара. Су пары (H₂O), кислород (O₂), азот (N₂) һәм төрле углеводородлар гадәттә очрый. Әгәр бу калдык төрләр утырма вакытында реакцияләрдә катнашса яки үсүче пленкага кушылса, алар катнашма атомнарын кертә яки кирәкмәгән кушылмалар барлыкка китерә, пленканың сафлыгын киметә һәм электр үзлекләрен, оптик эшчәнлеген һәм озак вакытлы тотрыклылыгын начарайта ала.
Югары тизлекле насослауның төп өстенлеге - югарырак басым режимында тору вакытын тиз киметү. Каты насослау этабында, арадаш басымнарга озак вакыт дучар булу камера эчендәге өслекләрдә кабатланган адсорбция һәм десорбция процессларын стимуллаштыра, яңадан пычрану циклын булдыра. Нәтиҗәле насослау тизлеген арттыру системага бу басым диапазоны аша тиз үтәргә мөмкинлек бирә, су пары һәм органик молекулаларның кабат адсорбцияләнү мөмкинлекләрен киметә һәм югары вакуум фазасы өчен чистарак башлангыч шартлар тудыра.
Югары вакуум режимына кергәч, калдык газларның парциаль басымын контрольдә тоту өчен насос тизлеге бик мөһим булып кала. Югарырак нәтиҗәле насос тизлеге тотрыклы халәттәге парциаль басымның кимүенә китерә, бигрәк тә кислород һәм су пары өчен. Металл пленка утырмасында кислородның парциаль басымындагы кечкенә тирбәнешләр дә өслек оксидлашуын стимуллаштыра ала, нәтиҗәдә металл оксиды кушылмалары барлыкка килә һәм металл сафлыгы кими. Югары нәтиҗәле оптик яки функциональ капламаларда калдык дым шулай ук пленка тыгызлыгына тәэсир итә һәм структура кимчелекләрен арттыра ала.
Югары тизлектәге насос белән суырту башлангыч пленка-субстрат чикләренең сыйфатына тагын да йогынты ясый. Субстрат өслеге тулысынча утыртылган материал белән капланганчы, югары фон газ басымы катнашма молекулаларының чикара реакцияләрдә катнашу ихтималын арттыра, пычрану катламнары яки көчсез бәйләнешле чикара катламнар барлыкка китерә. Мондый чикара җитешсезлекләрне соңрак үсештә бетерү еш кына авыр, ләкин соңрак алар әйләнә-тирә мохитне тикшерү вакытында адгезия җитешсезлекләре яки ышанычлылык проблемалары буларак күренергә мөмкин.
Шунысын да билгеләп үтәргә кирәк, югары насос тизлегенә югарырак сыйдырышлы вакуум насослары урнаштыру белән генә ирешеп булмый. Бу насос конфигурациясен, вакуум линияләренең үткәрүчәнлеген, клапаннарның җавап бирү үзенчәлекләрен һәм камера структурасын комплекслы оптимизацияләүне таләп итә. Бары тик системаның гомуми насослау нәтиҗәлелеге тәэмин ителгән очракта гына калдык газларны тиз арада чыгарып, түбән парциаль басымны даими рәвештә саклап калып, югары чисталыклы пленкалар формалашуы өчен тотрыклы нигез булдырырга мөмкин.
Алга киткән функциональ каплауларда, оптик пленкаларда һәм төгәл электрон кушымталарда, эшчәнлек аермалары еш кына эз дәрәҗәсендәге пычракларның кумулятив йогынтысыннан килеп чыга. Шуңа күрә тиз һәм тотрыклы суырту мөмкинлеге процессның нәтиҗәлелеге генә түгел; бу пленка сыйфатын көйләүче механизмнарда турыдан-туры катнашкан төп процесс шарты.
-Бу мәкалә бастырып чыгарылганвакуум каплау җиһазлары җитештерүчесе Чжэньхуа чүп-чар
Бастырылган вакыты: 2026 елның 6 феврале