In ការដាក់ចំហាយទឹករូបវន្ត(PVD) និងដំណើរការថ្នាំកូតក្នុងកន្លែងបូមធូលីដែលពាក់ព័ន្ធ ភាពបរិសុទ្ធនៃខ្សែភាពយន្តច្រើនតែត្រូវបានផ្សារភ្ជាប់យ៉ាងសាមញ្ញជាមួយនឹងភាពបរិសុទ្ធខាងក្នុងនៃវត្ថុធាតុដើមគោលដៅ ឬប្រភព។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ នៅក្នុងផលិតកម្មជាក់ស្តែង ភាពបរិសុទ្ធចុងក្រោយនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ត្រូវបានកំណត់មិនត្រឹមតែដោយសមាសធាតុសម្ភារៈប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងដោយគុណភាពនៃបរិស្ថានកន្លែងបូមធូលីមុន និងក្នុងដំណាក់កាលដំបូងនៃការដាក់ផងដែរ។ អត្រាបូមចុះក្រោម និងការបង្កើតសម្ពាធចុងក្រោយមានឥទ្ធិពលដោយផ្ទាល់ទៅលើសមាសភាព និងសម្ពាធដោយផ្នែកនៃឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់ ដោយហេតុនេះប៉ះពាល់ដល់មីក្រូរចនាសម្ព័ន្ធ និងភាពបរិសុទ្ធគីមីនៃខ្សែភាពយន្ត។
នៅពេលដែលបន្ទប់ផ្លាស់ប្តូរពីលក្ខខណ្ឌបរិយាកាសទៅជាកន្លែងទំនេរខ្ពស់ ការស្រូបយកឧស្ម័ន និងសំណើមដែលស្រូបយកជាបន្តបន្ទាប់កើតឡើងពីជញ្ជាំងបន្ទប់ គ្រឿងបរិក្ខារ និងស្រទាប់ខាងក្រោម។ ចំហាយទឹក (H₂O) អុកស៊ីសែន (O₂) អាសូត (N₂) និងអ៊ីដ្រូកាបូនផ្សេងៗមានវត្តមានជាទូទៅ។ ប្រសិនបើប្រភេទសំណល់ទាំងនេះចូលរួមក្នុងប្រតិកម្មអំឡុងពេលដាក់ ឬបញ្ចូលទៅក្នុងខ្សែភាពយន្តដែលកំពុងលូតលាស់ ពួកវាណែនាំអាតូមមិនបរិសុទ្ធ ឬបង្កើតជាសមាសធាតុដែលមិនចង់បាន ដែលកាត់បន្ថយភាពបរិសុទ្ធនៃខ្សែភាពយន្ត និងអាចធ្វើឱ្យខូចលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី ប្រសិទ្ធភាពអុបទិក និងស្ថេរភាពរយៈពេលវែង។
អត្ថប្រយោជន៍ចម្បងនៃការបូមចុះក្រោមល្បឿនលឿនគឺការកាត់បន្ថយពេលវេលាស្នាក់នៅយ៉ាងឆាប់រហ័សក្នុងរបបសម្ពាធខ្ពស់។ ក្នុងដំណាក់កាលបូមរដុប ការប៉ះពាល់នឹងសម្ពាធកម្រិតមធ្យមរយៈពេលយូរជំរុញដំណើរការស្រូបយក និងបញ្ចេញម្តងហើយម្តងទៀតនៅលើផ្ទៃក្នុងបន្ទប់ ដែលបង្កើតជាវដ្តនៃការចម្លងរោគឡើងវិញ។ ការបង្កើនល្បឿនបូមដែលមានប្រសិទ្ធភាពអនុញ្ញាតឱ្យប្រព័ន្ធឆ្លងកាត់ជួរសម្ពាធនេះបានយ៉ាងឆាប់រហ័ស ដោយកាត់បន្ថយឱកាសសម្រាប់ការស្រូបយកចំហាយទឹក និងម៉ូលេគុលសរីរាង្គឡើងវិញ និងបង្កើតលក្ខខណ្ឌចាប់ផ្តើមស្អាតជាងមុនសម្រាប់ដំណាក់កាលបូមធូលីខ្ពស់។
នៅពេលដែលស្ថិតនៅក្នុងរបបបូមខ្យល់ដែលមានសុញ្ញកាសខ្ពស់ ល្បឿនបូមនៅតែមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងសម្ពាធដោយផ្នែកនៃឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់។ ល្បឿនបូមដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់នាំឱ្យសម្ពាធដោយផ្នែកនៃស្ថានភាពស្ថិរភាពទាប ជាពិសេសសម្រាប់អុកស៊ីសែន និងចំហាយទឹក។ នៅក្នុងការដាក់ស្រទាប់លោហៈ សូម្បីតែការប្រែប្រួលបន្តិចបន្តួចនៃសម្ពាធដោយផ្នែកនៃអុកស៊ីសែនក៏អាចបង្កឱ្យមានអុកស៊ីតកម្មលើផ្ទៃ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការបង្កើតជាសារធាតុផ្សំនៃអុកស៊ីដលោហៈ និងការថយចុះនៃភាពបរិសុទ្ធនៃលោហៈ។ នៅក្នុងថ្នាំកូតអុបទិក ឬថ្នាំកូតមុខងារខ្ពស់ សំណើមដែលនៅសេសសល់ក៏អាចប៉ះពាល់ដល់ដង់ស៊ីតេខ្សែភាពយន្ត និងបង្កើនពិការភាពរចនាសម្ព័ន្ធផងដែរ។
ការបូមចុះល្បឿនលឿនមានឥទ្ធិពលបន្ថែមទៀតទៅលើគុណភាពនៃចំណុចប្រទាក់ខ្សែភាពយន្ត-ស្រទាប់ខាងក្រោមដំបូង។ មុនពេលផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានគ្របដណ្តប់ទាំងស្រុងដោយសម្ភារៈដែលបានដាក់ សម្ពាធឧស្ម័នផ្ទៃខាងក្រោយខ្ពស់បង្កើនប្រូបាប៊ីលីតេនៃម៉ូលេគុលមិនបរិសុទ្ធដែលចូលរួមក្នុងប្រតិកម្មអន្តរមុខ បង្កើតជាស្រទាប់បំពុល ឬស្រទាប់អន្តរមុខដែលភ្ជាប់គ្នាខ្សោយ។ ពិការភាពអន្តរមុខបែបនេះច្រើនតែពិបាកក្នុងការលុបបំបាត់នៅក្នុងការលូតលាស់ជាបន្តបន្ទាប់ ប៉ុន្តែក្រោយមកវាអាចបង្ហាញថាជាការបរាជ័យនៃការស្អិត ឬបញ្ហាភាពជឿជាក់ក្រោមការធ្វើតេស្តបរិស្ថាន។
វាជាការសំខាន់ក្នុងការកត់សម្គាល់ថា ល្បឿនបូមខ្ពស់មិនមែនគ្រាន់តែសម្រេចបានដោយការដំឡើងម៉ាស៊ីនបូមធូលីដែលមានសមត្ថភាពខ្ពស់នោះទេ។ វាតម្រូវឱ្យមានការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងយ៉ាងទូលំទូលាយនៃការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធម៉ាស៊ីនបូម ចរន្តនៃបំពង់បូមធូលី លក្ខណៈឆ្លើយតបនៃសន្ទះបិទបើក និងការរចនារចនាសម្ព័ន្ធបន្ទប់។ មានតែនៅពេលដែលប្រសិទ្ធភាពបូមប្រព័ន្ធទាំងមូលត្រូវបានធានាប៉ុណ្ណោះ ទើបឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់អាចត្រូវបានយកចេញយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងសម្ពាធផ្នែកទាបត្រូវបានរក្សាជាប់លាប់ ដែលផ្តល់នូវមូលដ្ឋានគ្រឹះដ៏រឹងមាំសម្រាប់ការបង្កើតខ្សែភាពយន្តភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។
នៅក្នុងថ្នាំកូតមុខងារកម្រិតខ្ពស់ ខ្សែភាពយន្តអុបទិក និងកម្មវិធីអេឡិចត្រូនិចដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ភាពខុសគ្នានៃដំណើរការច្រើនតែកើតឡើងពីផលប៉ះពាល់បូកបញ្ចូលគ្នានៃភាពមិនបរិសុទ្ធកម្រិតដាន។ ដូច្នេះសមត្ថភាពបូមចុះលឿន និងស្ថិរភាពមិនមែនគ្រាន់តែជាបញ្ហានៃប្រសិទ្ធភាពដំណើរការនោះទេ។ វាគឺជាលក្ខខណ្ឌដំណើរការជាមូលដ្ឋានដែលពាក់ព័ន្ធដោយផ្ទាល់នៅក្នុងយន្តការគ្រប់គ្រងគុណភាពខ្សែភាពយន្ត។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលី ម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែកុម្ភៈ-០៦-២០២៦