In ka waiho ʻana o ka mahu kino(PVD) a me nā kaʻina hana uhi vacuum e pili ana, ua pili pinepine ʻia ka maʻemaʻe o ka ʻiliʻili me ka maʻemaʻe kūloko o nā mea i manaʻo ʻia a i ʻole nā mea kumu. Eia nō naʻe, i ka hana maoli, ʻo ka maʻemaʻe hope loa o kahi ʻiliʻili i waiho ʻia ʻaʻole wale ia e ka haku mele ʻana o nā mea, akā, ʻo ke ʻano koʻikoʻi hoʻi, e ka maikaʻi o ke kaiapuni vacuum ma mua a i ka wā mua o ka waiho ʻana. ʻO ka nui o ka pump-down a me ka hoʻokumu ʻana o ke kaomi hope loa e hoʻopili pololei i ka haku mele a me ke kaomi hapa o nā kinoea i koe, no laila e hoʻopilikia ana i ka microstructure a me ka maʻemaʻe kemika o ke kiʻiʻoniʻoni.
I ka neʻe ʻana o ke keʻena mai nā kūlana lewa a i ka vacuum kiʻekiʻe, hoʻomau ka desorption o nā kinoea adsorbed a me ka makū mai nā paia o ke keʻena, nā mea paʻa, a me nā substrates. Loaʻa pinepine ka mahu wai (H₂O), oxygen (O₂), nitrogen (N₂), a me nā hydrocarbons like ʻole. Inā komo kēia mau ʻano koena i nā hopena i ka wā o ka waiho ʻana a i ʻole e hoʻokomo ʻia i loko o ka ʻili e ulu ana, hoʻolauna lākou i nā ʻātoma haumia a hana paha i nā hui i makemake ʻole ʻia, e hōʻemi ana i ka maʻemaʻe o ke kiʻiʻoniʻoni a hiki ke hoʻohaʻahaʻa i nā waiwai uila, ka hana optical, a me ke kūpaʻa lōʻihi.
ʻO kahi pōmaikaʻi nui o ka hoʻohaʻahaʻa wikiwiki ʻana i ka pump-down ka wikiwiki o ka hōʻemi ʻana o ka manawa noho ma ke ʻano kaomi kiʻekiʻe. I ka wā o ka pumping rough, ʻo ka hoʻolōʻihi ʻana i nā kaomi waena e hoʻolaha i nā kaʻina hana adsorption a me desorption ma nā ʻili i loko o ke keʻena, e hana ana i kahi pōʻaiapuni o ka recontamination. ʻO ka hoʻonui ʻana i ka wikiwiki pumping kūpono e hiki ai i ka ʻōnaehana ke hele wikiwiki ma o kēia pae kaomi, e hōʻemi ana i nā manawa kūpono no ka re-adsorption o ka mahu wai a me nā molekala organik a hoʻokumu i kahi kūlana hoʻomaka maʻemaʻe no ka pae vacuum kiʻekiʻe.
I ka manawa i loko o ke ʻano vacuum kiʻekiʻe, he mea nui ka wikiwiki o ka pamu no ka kaohi ʻana i ke kaomi hapa o nā kinoea i koe. ʻO ka wikiwiki o ka pamu ʻana maikaʻi aʻe e alakaʻi ai i nā kaomi hapa paʻa haʻahaʻa, ʻoi aku hoʻi no ka oxygen a me ka mahu wai. I ka waiho ʻana o ka ʻili metala, ʻoiai nā loli iki o ke kaomi hapa oxygen hiki ke hoʻoulu i ka oxidation o ka ʻili, e hopena ana i ka hoʻokumu ʻia ʻana o nā hoʻokomo ʻana o ka oxide metala a me ka emi ʻana o ka maʻemaʻe metala. I loko o nā uhi optical a hana paha kiʻekiʻe, hiki i ka makū koena ke hoʻopilikia i ka nui o ka ʻili a hoʻonui i nā hemahema kūkulu.
Hoʻopilikia hou ka hoʻohaʻahaʻa wikiwiki ʻana i ka maikaʻi o ka pilina mua o ka kiʻiʻoniʻoni-substrate. Ma mua o ka uhi piha ʻia ʻana o ka ʻili o ka substrate e ka mea i waiho ʻia, hoʻonui ke kaomi kinoea hope kiʻekiʻe i ka hiki ke komo nā molekala haumia i nā hopena interfacial, e hana ana i nā papa haumia a i ʻole nā papa interfacial i hoʻopaʻa nāwaliwali ʻia. He paʻakikī pinepine ke hoʻopau ʻana i kēlā mau hemahema interfacial i ka ulu ʻana ma hope, akā hiki iā lākou ke hōʻike ma hope aku ma ke ʻano he mau hemahema adhesion a i ʻole nā pilikia hilinaʻi ma lalo o ka hoʻāʻo ʻana i ke kaiapuni.
He mea nui e hoʻomaopopo ʻaʻole hiki ke hoʻokō ʻia ka wikiwiki o ka pamu ʻana ma o ke kau ʻana i nā pamu vacuum me ka mana kiʻekiʻe. Pono ia i ka hoʻonui piha ʻana i ka hoʻonohonoho pamu, ke alakaʻi ʻana o nā laina vacuum, nā ʻano pane valve, a me ka hoʻolālā ʻana o ke keʻena. Ke hōʻoia ʻia ka pono o ka pamu ʻana o ka ʻōnaehana holoʻokoʻa hiki ke wehe koke ʻia nā kinoea i koe a mālama mau ʻia nā kaomi hapa haʻahaʻa, e hāʻawi ana i kahi kahua paʻa no ka hoʻokumu ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni maʻemaʻe kiʻekiʻe.
I loko o nā uhi hana holomua, nā kiʻiʻoniʻoni optical, a me nā noi uila pololei, kū pinepine nā ʻokoʻa hana mai nā hopena hōʻuluʻulu o nā haumia pae trace. No laila, ʻo ka hiki ke hoʻohaʻahaʻa wikiwiki a paʻa ʻaʻole ia he mea wale nō o ka pono o ke kaʻina hana; he kūlana kaʻina hana kumu ia e pili pono ana i nā ʻano hana e hoʻomalu ana i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni.
-Ua paʻi ʻia kēia ʻatikala emea hana lako uhi vacuum ʻO Zhenhua Vacuum
Ka manawa hoʻouna: Pepeluali-06-2026