ۋاكۇئۇم قاپلاش جەريانىدا پىلاستىنكا قېلىنلىقىنى قانداق توغرا كونترول قىلىش كېرەك

زامانىۋى ئىشلەپچىقىرىشتا، ۋاكۇئۇم قاپلاش تېخنىكىسى ئېلېكترون، ئوپتىكا، ئاپتوموبىل ۋە ئاۋىئاتسىيە قاتارلىق ساھەلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ. قاپلاش ئىقتىدارىغا كاپالەتلىك قىلىشتىكى ئەڭ مۇھىم ئامىللارنىڭ بىرى پىلاستىنكىنىڭ قېلىنلىقىنى توغرا كونترول قىلىش بولۇپ، ئۇ پىلاستىنكىنىڭ ئېلېكتر ئۆتكۈزۈشچانلىقى، ئوپتىكىلىق خۇسۇسىيىتى، چىرىشكە قارشى تۇرۇش كۈچى ۋە باشقا ئىقتىدار خۇسۇسىيەتلىرىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. شۇڭا، پىلاستىنكىنىڭ قېلىنلىقىنى تەڭشەش ۋاكۇئۇم قاپلاش قۇرۇلۇشىدىكى ئاساسلىق نۇقتىغا ئايلاندى. بۇ ماقالىدە قېلىنلىقنى توغرا كونترول قىلىشنىڭ پىرىنسىپلىرى، ئورتاق ئۇسۇللىرى ۋە تەسىر كۆرسىتىدىغان ئامىللىرى بايان قىلىنىپ، نېپىز پىلاستىنكا ئىشلەپچىقىرىشنى ئەلالاشتۇرۇش ئۈچۈن چۈشەنچىلەر بېرىلىدۇ.

1-نومۇرلۇق ئاچقۇچلۇق پارامېتىرلارپىلاستىنكا قېلىنلىقىنى كونترول قىلىش
1. چۆكمە نىسبىتى
پىلاستىنكا قېلىنلىقى چۆكمە سۈرئىتىگە زور دەرىجىدە باغلىق بولۇپ، ئۇ بىرلىك ۋاقىت ئىچىدە ئاساسىي يۈزىگە چۆككەن پىلاستىنكىنىڭ قېلىنلىقى دەپ ئېنىقلىنىدۇ. ۋاكۇئۇم جەريانلىرىدا، چۆكمە سۈرئىتىگە بىر قانچە ئامىل تەسىر كۆرسىتىدۇ:

پارغا ئايلىنىش ياكى چاچراش مەنبەسىگە قوللىنىلغان توك

كامېرىنىڭ بېسىمى

ئاساسىي قاتلام بىلەن چۆكمە مەنبەسى ئارىسىدىكى ئارىلىق

بۇ پارامېتىرلارنى ئىنچىكە تەڭشەش ئارقىلىق، ئىشلەپچىقارغۇچىلار پىلاستىنكا ئۆسۈش سۈرئىتىنىڭ مۇقىم ۋە كونترول قىلغىلى بولىدىغانلىقىنى ساقلىيالايدۇ.

2. چۆكمە ۋاقتى
مۇقىم چۆكمە سۈرئىتى دەپ پەرەز قىلساق، پەردە قېلىنلىقى چۆكمە ۋاقتى بىلەن سىزىقلىق نىسبەتتە بولىدۇ. جەرياننىڭ ۋاقتىنى توغرا تەڭشەش ئارقىلىق، نىشان قېلىنلىقىغا ئېرىشكىلى بولىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، ئۇزۇن چۆكمە دەۋرىيلىكى جەريانىدا، مەنبەنىڭ بۇزۇلۇشى ياكى جەرياننىڭ يۆتكىلىشى سەۋەبىدىن سۈرئەتنىڭ ئۆزگىرىشىنى كونترول قىلىپ، تەكشى ئەمەس ياكى ئارتۇقچە چۆكمە يۈز بېرىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش كېرەك.

3. مەنبەدىن ئاساسىي قاتلامغا گېئومېتىرىيە
مەنبە بىلەن ئاساسىي قاتلام ئوتتۇرىسىدىكى نىسپىي ئورۇن ۋە بۇلۇڭ چۆكمە بىردەكلىكى ۋە يەرلىك پەردە قېلىنلىقىغا زور دەرىجىدە تەسىر كۆرسىتىدۇ. ئەگەر بەك يېقىن بولسا، پەردە ھەددىدىن زىيادە قېلىنلىشىپ كېتىشى مۇمكىن؛ بەك يىراق بولۇپ، چۆكمە يېتەرلىك بولماسلىقى ياكى قاپلاش ناچار بولۇشى مۇمكىن. مەنبە گېئومېتىرىيەسىنى ئەلالاشتۇرۇش ۋە ئاساسىي قاتلامنىڭ ئايلىنىشى ياكى پلانېتا ھەرىكىتىنى قوللىنىش پەردە بىردەكلىكىنى يۇقىرى كۆتۈرەلەيدۇ.

2-نومۇرلۇق قېلىنلىقنى كۆزىتىش ۋە كونترول قىلىشنىڭ ئورتاق تېخنىكىلىرى
1. ئوپتىكىلىق كۆزىتىش
ئوپتىكىلىق كۆزىتىش، بولۇپمۇ ئېنىق ئوپتىكىلىق قاپلاش ئۈچۈن كەڭ قوللىنىلىدىغان ئۇسۇل. ئوپتىكىلىق ئارىلىشىشقا ئاساسەن، ئۇ مەلۇم دولقۇن ئۇزۇنلۇقىدىكى نۇر قايتۇرۇش ياكى ئۆتكۈزۈشچانلىقىدىكى ئۆزگىرىشلەرنى ھەقىقىي ۋاقىت ئىچىدە ئىز قوغلايدۇ. بۇ سىستېما يۇقىرى ئېنىقلىق بىلەن ئارزۇ قىلىنغان قېلىنلىققا يېتىش ئۈچۈن چۆكمە پارامېتىرلىرىنى دىنامىك تەڭشىيەلەيدۇ. نۇر قايتۇرۇشقا قارشى قاپلاش، دىئېلېكترىك ئەينەك ۋە سۈزگۈچلەر ئۈچۈن ئەڭ ياخشى.

2. كۋارتس كرىستال مىكرو تەڭپۇڭلۇقى (QCM)
بۇ تېخنىكا چاستوتا ئۆزگىرىشى ئارقىلىق ماسسا ئۆزگىرىشىنى نازارەت قىلىش ئۈچۈن كۋارتس كرىستال سېنزورىنى ئىشلىتىدۇ، بۇ ئارقىلىق قېلىنلىقنىڭ ھەقىقىي ۋاقىتلىق ھېسابلىنىشىغا يول قويۇلىدۇ. QCM ئادەتتە ئىسسىقلىق پارغا ئايلىنىش ۋە ئېلېكترونلۇق نۇر پارغا ئايلىنىش سىستېمىلىرىغا بىرلەشتۈرۈلۈپ، يۇقىرى سەزگۈرلۈك ۋە كونترول ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلەيدۇ.

3. توك كونترول قىلىنىدىغان پارغا ئايلىنىش
مېتاللارنىڭ ئىسسىقلىق پارغا ئايلىنىشىدا، قارشىلىق كۆرسىتىش قىزىتىش ئېلېمېنتىغا توكنى تەڭشەش پارغا ئايلىنىش سۈرئىتىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. بۇ ئۇسۇل ئاددىي ۋە ئەرزان، ئەمما مۇقىم توك بىلەن تەمىنلەش ۋە تەڭشەشنى تەلەپ قىلىدۇ، بۇنىڭ بىلەن ياتقۇزۇشنىڭ توغرىلىقىنى ساقلاپ قالغىلى بولىدۇ.

4. ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسىنى كونترول قىلىش
ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسى ئادەمتومنىڭ ھەرىكەتچانلىقى، پىلاستىنكا زىچلىقى ۋە مىكرو قۇرۇلمىسىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ. ياتقۇزۇش جەريانىدا ئاساسىي قاتلامنىڭ قىزىشىنى كونترول قىلىش پىلاستىنكىنىڭ يېپىشىشى ۋە بىردەكلىكىنى ياخشىلىيالايدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئورالما ياكى قاتتىق قاپلاش قاتارلىق قوللىنىشچان پروگراممىلاردا، تېمپېراتۇرا كونترول قىلىش قېلىنلىقى ۋە ئىقتىدارىنىڭ مۇقىم بولۇشى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.

3-نومۇرلۇق قېلىنلىقنىڭ توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدىغان ئاساسلىق ئامىللار
1. ماتېرىيال خۇسۇسىيىتى
ھەر خىل ماتېرىياللارنىڭ پارغا ئايلىنىش خۇسۇسىيىتى ۋە يېپىشىش كوئېففىتسېنتى ئوخشىمايدۇ. ئاليۇمىن ياكى كۈمۈش قاتارلىق مېتاللار ئاسانلا پارغا ئايلىنىدۇ، كېرامىكا ياكى قېتىشمىلار (مەسىلەن، SiO₂، TiN) يۇقىرى تېمپېراتۇرا ياكى ئاكتىپ ئاتموسفېرا تەلەپ قىلىدۇ. ئۈنۈملۈك قېلىنلىقنى كونترول قىلىش ئۈچۈن، جەريان پارامېتىرلىرى ماتېرىيالنىڭ فىزىكىلىق ۋە ئىسسىقلىق خۇسۇسىيىتىگە ماسلاشتۇرۇلۇشى كېرەك.

2. كامېرىنىڭ بېسىمى ۋە گاز تەركىبى
كامېر ئىچىدىكى خىزمەت بېسىمى مۇھىم رول ئوينايدۇ. يۇقىرى بېسىم چېچىلىشنى ئاشۇرىدۇ ۋە چۆكمە سۈرئىتىنى تۆۋەنلىتىدۇ؛ تۆۋەن بېسىم پلازمانىڭ مۇقىملىقىنى بۇزۇشى ياكى رېئاكتىپ چېچىلىشتىكى رېئاكسىيە سۈرئىتىنى تۆۋەنلىتىشى مۇمكىن. گاز ئېقىمىنىڭ مۇقىملىقىنى ساقلاش (مەسىلەن، Ar، O₂، N₂) جەرياننىڭ مۇقىملىقى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.

3. ئاساسىي قەۋەتنىڭ يۈزەكى ئەھۋالى
يۈزەكى بۇلغىنىش، ئوكسىدلار ياكى ئاساسىي قاتلامنىڭ داغلىق بولۇشى پەردىنىڭ يېپىشىشىغا تەسىر كۆرسىتىپ، قېلىنلىقىنىڭ تەكشى بولماسلىقىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ئاساسىي قاتلام يۈزىنىڭ پاكىز ۋە بىردەك بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن، ئېرىتكۈچ ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تازىلاش، پلازما تازىلاش ياكى ئىئون بومباردىمان قىلىش قاتارلىق يۈزەكى تەييارلىق تېخنىكىلىرى قوللىنىلىدۇ.

خۇلاسە
پىلاستىنكا قېلىنلىقىنى توغرا كونترول قىلىش يۇقىرى ئۈنۈملۈك ۋە يۇقىرى مەھسۇلاتلىق ۋاكۇئۇم قاپلىمىسىغا ئېرىشىشنىڭ ئاساسى. چۆكمە سۈرئىتى، ۋاقىت، مەنبە گېئومېتىرىيەسى ۋە ھەقىقىي ۋاقىتلىق نازارەت قىلىش تېخنىكىلىرىنى توغرا تەڭشەش ئارقىلىق، ئىشلەپچىقارغۇچىلار بارغانسېرى قاتتىق پىلاستىنكا ئۆلچىمىگە يېتىشى مۇمكىن. ئوپتىكىلىق، مىكرو ئېلېكترونلۇق ۋە ئىقتىدارلىق قاپلىمىلاردا نانومېتىرلىق نېپىز پىلاستىنكىلارغا بولغان ئېھتىياجنىڭ ئېشىشىغا ئەگىشىپ، ئىلغار قېلىنلىقنى كونترول قىلىش تېخنىكىسى ئىشلەپچىقىرىشتا يېڭىلىق يارىتىش ۋە رىقابەت كۈچىگە ئىگە بولۇشتا مۇھىم رول ئوينايدۇ.

—بۇ ماقالە ئېلان قىلىندى ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرىئىشلەپچىقارغۇچى Zhenhua چاڭ-توزان سۈمۈرگۈچ