ວິທີການຄວບຄຸມຄວາມໜາຂອງຟິມໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນໃນຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ

ໃນການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝ, ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບສູນຍາກາດໄດ້ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະແໜງການຕ່າງໆເຊັ່ນ: ເອເລັກໂຕຣນິກ, ທັດສະນະ, ຍານຍົນ ແລະ ການບິນອະວະກາດ. ໜຶ່ງໃນປັດໄຈທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດໃນການຮັບປະກັນປະສິດທິພາບການເຄືອບແມ່ນການຄວບຄຸມຄວາມໜາຂອງຟິມທີ່ຖືກຕ້ອງ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມນຳໄຟຟ້າ, ພຶດຕິກຳທາງແສງ, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ແລະ ຄຸນສົມບັດການເຮັດວຽກອື່ນໆຂອງຟິມ. ດັ່ງນັ້ນ, ການຄວບຄຸມຄວາມໜາຂອງຟິມຈຶ່ງໄດ້ກາຍເປັນຈຸດສຸມຫຼັກໃນວິສະວະກຳການວາງຊັ້ນສູນຍາກາດ. ບົດຄວາມນີ້ອະທິບາຍຫຼັກການ, ວິທີການທົ່ວໄປ, ແລະ ປັດໄຈທີ່ມີອິດທິພົນຕໍ່ການຄວບຄຸມຄວາມໜາທີ່ຊັດເຈນ, ສະເໜີຄວາມເຂົ້າໃຈສຳລັບການເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດຟິມບາງ.

ພາລາມິເຕີຫຼັກອັນດັບ 1 ໃນການຄວບຄຸມຄວາມໜາຂອງຟິມ
1. ອັດຕາການຝາກເງິນ
ຄວາມໜາຂອງຟິມແມ່ນຂຶ້ນກັບອັດຕາການຕົກຕະກອນ, ເຊິ່ງຖືກນິຍາມວ່າເປັນຄວາມໜາຂອງຟິມທີ່ຕົກຕະກອນຕໍ່ໜ່ວຍເວລາຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ. ໃນຂະບວນການສູນຍາກາດ, ອັດຕາການຕົກຕະກອນແມ່ນໄດ້ຮັບອິດທິພົນຈາກຫຼາຍປັດໃຈຄື:

ພະລັງງານທີ່ໃຊ້ກັບແຫຼ່ງລະເຫີຍ ຫຼື ແຫຼ່ງການສີດພົ່ນ

ຄວາມດັນຂອງຫ້ອງ

ໄລຍະຫ່າງລະຫວ່າງຊັ້ນໃຕ້ດິນ ແລະ ແຫຼ່ງທີ່ມາຂອງຊັ້ນວາງ

ໂດຍການປັບຕົວກໍານົດເຫຼົ່ານີ້ຢ່າງລະອຽດ, ຜູ້ຜະລິດສາມາດຮັກສາອັດຕາການເຕີບໂຕຂອງຟິມທີ່ສອດຄ່ອງ ແລະ ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້.

2. ເວລາວາງ
ສົມມຸດວ່າອັດຕາການວາງຊັ້ນຄົງທີ່, ຄວາມໜາຂອງຟິມຈະມີສັດສ່ວນເສັ້ນຊື່ກັບເວລາວາງຊັ້ນ. ໂດຍການກຳນົດໄລຍະເວລາຂອງຂະບວນການຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ສາມາດບັນລຸຄວາມໜາເປົ້າໝາຍໄດ້. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ໃນລະຫວ່າງວົງຈອນການວາງຊັ້ນທີ່ຍາວນານ, ການປ່ຽນແປງຂອງອັດຕາຍ້ອນການເສື່ອມສະພາບຂອງແຫຼ່ງທີ່ມາ ຫຼື ການເລື່ອນຂອງຂະບວນການຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄຸ້ມຄອງເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການວາງຊັ້ນທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ ຫຼື ຫຼາຍເກີນໄປ.

3. ເລຂາຄະນິດຈາກແຫຼ່ງທີ່ມາຫາພື້ນຜິວ
ຕຳແໜ່ງ ແລະ ມຸມທຽບຖານລະຫວ່າງແຫຼ່ງກຳເນີດ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນມີຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການວາງຊັ້ນ ແລະ ຄວາມໜາຂອງຟິມທ້ອງຖິ່ນ. ຖ້າໃກ້ເກີນໄປ, ຟິມອາດຈະໜາເກີນໄປ; ຖ້າໄກເກີນໄປ, ແລະ ມັນອາດຈະເຮັດໃຫ້ຊັ້ນຮອງພື້ນໜ້ອຍເກີນໄປ ຫຼື ປົກຄຸມບໍ່ດີ. ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຮູບຮ່າງຂອງແຫຼ່ງກຳເນີດ ແລະ ການນຳໃຊ້ການໝູນຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ ຫຼື ການເຄື່ອນທີ່ຂອງດາວເຄາະສາມາດເສີມຂະຫຍາຍຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຟິມໄດ້.

ເຕັກນິກທົ່ວໄປອັນດັບທີ 2 ສຳລັບການຕິດຕາມ ແລະ ຄວບຄຸມຄວາມໜາ
1. ການຕິດຕາມກວດກາດ້ວຍແສງ
ການຕິດຕາມກວດກາດ້ວຍແສງແມ່ນວິທີການທີ່ໃຊ້ກັນຢ່າງກວ້າງຂວາງ, ໂດຍສະເພາະສຳລັບການເຄືອບແສງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ. ໂດຍອີງໃສ່ການແຊກແຊງທາງແສງ, ມັນຕິດຕາມການປ່ຽນແປງຂອງການສະທ້ອນ ຫຼື ການສົ່ງຜ່ານຄື້ນຄວາມຖີ່ສະເພາະໃນເວລາຈິງ. ລະບົບສາມາດປັບຕົວກໍານົດການວາງຊັ້ນໄດ້ແບບໄດນາມິກເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຄວາມໜາທີ່ຕ້ອງການດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ. ເໝາະສໍາລັບການເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນ, ກະຈົກໄດອີເລັກຕຣິກ, ແລະ ຕົວກອງ.

2. ເຄື່ອງຊັ່ງນໍ້າໜັກແບບຈຸລະພາກຂອງຜລຶກ Quartz (QCM)
ເຕັກນິກນີ້ໃຊ້ເຊັນເຊີຜລຶກຄວດສ໌ເພື່ອຕິດຕາມກວດກາການປ່ຽນແປງມວນສານຜ່ານການປ່ຽນຄວາມຖີ່, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຄິດໄລ່ຄວາມໜາທີ່ສະສົມໄວ້ໄດ້ຕາມເວລາຈິງ. QCMs ມັກຈະຖືກປະສົມປະສານເຂົ້າໃນລະບົບການລະເຫີຍຄວາມຮ້ອນ ແລະ ລະບົບການລະເຫີຍລຳແສງໄຟຟ້າ, ເຊິ່ງສະເໜີຄວາມອ່ອນໄຫວ ແລະ ການຄວບຄຸມສູງ.

3. ການລະເຫີຍທີ່ຄວບຄຸມດ້ວຍກະແສໄຟຟ້າ
ໃນການລະເຫີຍດ້ວຍຄວາມຮ້ອນຂອງໂລຫະ, ການປັບກະແສໄຟຟ້າໃຫ້ກັບອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນແບບຕ້ານທານມີອິດທິພົນໂດຍກົງຕໍ່ອັດຕາການລະເຫີຍ. ວິທີການນີ້ແມ່ນງ່າຍດາຍ ແລະ ມີປະສິດທິພາບດ້ານຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ ແຕ່ຕ້ອງການການສະໜອງພະລັງງານ ແລະ ການວັດແທກທີ່ໝັ້ນຄົງເພື່ອຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວາງຊັ້ນ.

4. ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຂອງພື້ນຜິວ
ອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນມີອິດທິພົນຕໍ່ການເຄື່ອນທີ່ຂອງອາດາມ, ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟິມ, ແລະໂຄງສ້າງຈຸລະພາກ. ການຄວບຄຸມຄວາມຮ້ອນຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນໃນລະຫວ່າງການວາງຊັ້ນສາມາດປັບປຸງການຍຶດຕິດ ແລະ ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຟິມ. ໃນການນຳໃຊ້ເຊັ່ນ: ການຫຸ້ມຫໍ່ເຄິ່ງຕົວນຳ ຫຼື ການເຄືອບແຂງ, ​​ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍຕໍ່ຄວາມໜາ ແລະ ປະສິດທິພາບທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ.

ປັດໄຈຫຼັກທີ 3 ທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຄວາມໜາ
1. ຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸ
ວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນມີລັກສະນະການລະເຫີຍ ແລະ ສຳປະສິດການຕິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ໂລຫະເຊັ່ນ: ອາລູມິນຽມ ຫຼື ເງິນ ລະເຫີຍໄດ້ງ່າຍ, ໃນຂະນະທີ່ເຊລາມິກ ຫຼື ໂລຫະປະສົມ (ເຊັ່ນ: SiO₂, TiN) ຕ້ອງການອຸນຫະພູມທີ່ສູງຂຶ້ນ ຫຼື ບັນຍາກາດທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ. ຕົວກຳນົດຂະບວນການຕ້ອງໄດ້ຮັບການປັບແຕ່ງໃຫ້ເໝາະສົມກັບພຶດຕິກຳທາງກາຍະພາບ ແລະ ຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸເພື່ອການຄວບຄຸມຄວາມໜາທີ່ມີປະສິດທິພາບ.

2. ຄວາມດັນຂອງຫ້ອງ ແລະ ອົງປະກອບຂອງອາຍແກັສ
ຄວາມດັນໃນການເຮັດວຽກພາຍໃນຫ້ອງມີບົດບາດສຳຄັນ. ຄວາມດັນສູງເພີ່ມການກະແຈກກະຈາຍ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການຕົກຕະກອນ; ຄວາມດັນຕ່ຳອາດເຮັດໃຫ້ພລາສມາບໍ່ໝັ້ນຄົງ ຫຼື ຫຼຸດອັດຕາການເກີດປະຕິກິລິຍາໃນການສະເປຣດເຕີຣິກ. ການຮັກສາກະແສອາຍແກັສໃຫ້ໝັ້ນຄົງ (ເຊັ່ນ: Ar, O₂, N₂) ແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.

3. ສະພາບໜ້າຜິວຂອງພື້ນຜິວ
ການປົນເປື້ອນຂອງພື້ນຜິວ, ອົກໄຊດ໌, ຫຼື ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການຍຶດຕິດຂອງຟິມ ແລະ ເຮັດໃຫ້ຄວາມໜາບໍ່ສະເໝີກັນ. ເຕັກນິກການກະກຽມພື້ນຜິວເຊັ່ນ: ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍຕົວລະລາຍດ້ວຍຄື້ນສຽງຄວາມຖີ່ສູງ, ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍພລາສມາ, ຫຼື ການຖິ້ມລະເບີດດ້ວຍໄອອອນແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຮັບປະກັນພື້ນຜິວຂອງພື້ນຜິວທີ່ສະອາດ ແລະ ເປັນເອກະພາບ.

ສະຫຼຸບ
ການຄວບຄຸມຄວາມໜາຂອງຟິມທີ່ຖືກຕ້ອງແມ່ນພື້ນຖານໃນການບັນລຸການເຄືອບສູນຍາກາດທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ ແລະ ໃຫ້ຜົນຜະລິດສູງ. ຜ່ານການຄວບຄຸມອັດຕາການວາງຊັ້ນ, ເວລາ, ຮູບຮ່າງຂອງແຫຼ່ງທີ່ມາ ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີການຕິດຕາມກວດກາແບບເວລາຈິງທີ່ຊັດເຈນ, ຜູ້ຜະລິດສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຟິມທີ່ເຂັ້ມງວດເພີ່ມຂຶ້ນ. ຍ້ອນວ່າຄວາມຕ້ອງການຟິມບາງຂະໜາດນາໂນແມັດຍັງສືບຕໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນໃນຂະແໜງທັດສະນະ, ເອເລັກໂຕຣນິກ, ແລະ ການເຄືອບທີ່ມີປະໂຫຍດ, ເຕັກນິກການຄວບຄຸມຄວາມໜາຂັ້ນສູງຈະມີບົດບາດສຳຄັນໃນການປະດິດສ້າງການຜະລິດ ແລະ ການແຂ່ງຂັນ.

— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua