ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ဖလင်အထူကို မည်သို့တိကျစွာထိန်းချုပ်ရမည်နည်း

ခေတ်မီထုတ်လုပ်မှုတွင်၊ ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာနည်းပညာကို အီလက်ထရွန်းနစ်၊ မှန်ဘီလူး၊ မော်တော်ကားနှင့် အာကာသကဲ့သို့သော ကဏ္ဍများတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့် အသုံးပြုကြသည်။ အပေါ်ယံလွှာစွမ်းဆောင်ရည်ကို သေချာစေရန် အရေးကြီးဆုံးအချက်များထဲမှတစ်ခုမှာ တိကျသောဖလင်အထူထိန်းချုပ်မှုဖြစ်ပြီး၊ ၎င်းသည် ဖလင်၏ လျှပ်စစ်စီးကူးနိုင်စွမ်း၊ အလင်းဆိုင်ရာအပြုအမူ၊ ချေးခံနိုင်ရည်နှင့် အခြားလုပ်ဆောင်ချက်ဂုဏ်သတ္တိများကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်စေသည်။ ထို့ကြောင့် ဖလင်အထူထိန်းညှိမှုသည် ဖုန်စုပ်အနည်ကျခြင်းအင်ဂျင်နီယာတွင် အဓိကအာရုံစိုက်မှုတစ်ခုဖြစ်လာခဲ့သည်။ ဤဆောင်းပါးသည် တိကျသောအထူထိန်းချုပ်မှုအတွက် အခြေခံမူများ၊ အသုံးများသောနည်းလမ်းများနှင့် လွှမ်းမိုးသောအချက်များကို ဖော်ပြထားပြီး ဖလင်ပါးထုတ်လုပ်မှုကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ရန်အတွက် အတွေးအမြင်များကို ပေးဆောင်သည်။

နံပါတ် ၁ အဓိက ကန့်သတ်ချက်များဖလင်အထူထိန်းချုပ်မှု
၁။ အပ်ငွေနှုန်း
ဖလင်အထူသည် အနည်ကျမှုနှုန်းပေါ်တွင် များစွာမူတည်ပြီး အောက်ခံမျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် တစ်ယူနစ်လျှင် အလွှာ၏အထူအဖြစ် သတ်မှတ်သည်။ လေဟာနယ်လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အနည်ကျမှုနှုန်းကို အချက်များစွာက လွှမ်းမိုးထားသည်-

အငွေ့ပျံခြင်း သို့မဟုတ် ဖြန်းထုတ်ခြင်းရင်းမြစ်သို့ အသုံးပြုသော ပါဝါ

အခန်းဖိအား

အလွှာနှင့် အနည်ကျအရင်းအမြစ်ကြား အကွာအဝေး

ဤကန့်သတ်ချက်များကို အသေးစိတ်ချိန်ညှိခြင်းဖြင့် ထုတ်လုပ်သူများသည် တသမတ်တည်းနှင့် ထိန်းချုပ်နိုင်သော ဖလင်ကြီးထွားမှုနှုန်းကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်သည်။

၂။ အပ်နှံချိန်
တည်ငြိမ်သော အနည်ကျမှုနှုန်းကို ယူဆပါက ဖလင်အထူသည် အနည်ကျချိန်နှင့် အချိုးကျပါသည်။ လုပ်ငန်းစဉ်ကြာချိန်ကို တိကျစွာသတ်မှတ်ခြင်းဖြင့် ပစ်မှတ်အထူကို ရရှိနိုင်ပါသည်။ သို့သော်၊ ရှည်လျားသော အနည်ကျစက်ဝန်းများအတွင်း၊ အရင်းအမြစ်ယိုယွင်းပျက်စီးခြင်း သို့မဟုတ် လုပ်ငန်းစဉ်ရွေ့လျားမှုကြောင့်ဖြစ်ပေါ်သောနှုန်းအတက်အကျများကို မညီမညာ သို့မဟုတ် အလွန်အကျွံ အနည်ကျခြင်းကို ရှောင်ရှားရန် စီမံခန့်ခွဲရပါမည်။

၃။ အရင်းအမြစ်မှ အလွှာသို့ ဂျီသြမေတြီ
အရင်းအမြစ်နှင့် အလွှာကြားရှိ ဆွေမျိုးတည်နေရာနှင့် ထောင့်သည် အနည်ကျမှု တစ်ပြေးညီဖြစ်မှုနှင့် ဒေသတွင်းအလွှာအထူကို သိသိသာသာ သက်ရောက်မှုရှိသည်။ အလွန်နီးကပ်ပါက အလွှာသည် အလွန်ထူလာနိုင်သည်။ အလွန်ဝေးကွာပါက အနည်ကျမှု နည်းပါးခြင်း သို့မဟုတ် ဖုံးအုပ်မှု ညံ့ဖျင်းခြင်းတို့ကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။ အရင်းအမြစ် ဂျီသြမေတြီကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်းနှင့် အလွှာလည်ပတ်ခြင်း သို့မဟုတ် ဂြိုဟ်ရွေ့လျားမှုကို အသုံးပြုခြင်းသည် အလွှာတစ်ပြေးညီဖြစ်မှုကို မြှင့်တင်ပေးနိုင်သည်။

အထူစောင့်ကြည့်ခြင်းနှင့် ထိန်းချုပ်ခြင်းအတွက် နံပါတ် ၂ အသုံးများသော နည်းစနစ်များ
၁။ အလင်းတန်းစောင့်ကြည့်ခြင်း
အလင်းစောင့်ကြည့်ခြင်းသည် အထူးသဖြင့် တိကျသော အလင်းတန်းအပေါ်ယံလွှာများအတွက် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုသော နည်းလမ်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ အလင်းတန်းဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုအပေါ်အခြေခံ၍ ၎င်းသည် သတ်မှတ်ထားသော လှိုင်းအလျားများတွင် ရောင်ပြန်ဟပ်မှု သို့မဟုတ် ဖြတ်သန်းနိုင်မှုပြောင်းလဲမှုများကို အချိန်နှင့်တပြေးညီ ခြေရာခံသည်။ စနစ်သည် မြင့်မားသောတိကျမှုဖြင့် လိုချင်သောအထူကိုရရှိရန် deposition parameters များကို ပြောင်းလဲချိန်ညှိနိုင်သည်။ ရောင်ပြန်ဟပ်မှုဆန့်ကျင်ရေးအပေါ်ယံလွှာများ၊ dielectric မှန်များနှင့် filter များအတွက် အသင့်တော်ဆုံးဖြစ်သည်။

၂။ ကွာ့ဇ် ခရစ်စတယ် မိုက်ခရိုချိန်ခွင်လျှာညှိခြင်း (QCM)
ဤနည်းပညာသည် ကွာ့ဇ်ပုံဆောင်ခဲအာရုံခံကိရိယာကို အသုံးပြု၍ ကြိမ်နှုန်းပြောင်းလဲမှုမှတစ်ဆင့် ဒြပ်ထုပြောင်းလဲမှုကို စောင့်ကြည့်ပြီး စုပုံနေသောအထူကို အချိန်နှင့်တပြေးညီ တွက်ချက်နိုင်စေပါသည်။ QCM များကို အပူငွေ့ပျံခြင်းနှင့် e-beam ရေငွေ့ပျံစနစ်များတွင် အများအားဖြင့် ပေါင်းစပ်ထားလေ့ရှိပြီး မြင့်မားသော အာရုံခံနိုင်စွမ်းနှင့် ထိန်းချုပ်မှုကို ပေးစွမ်းသည်။

၃။ လျှပ်စီးကြောင်းထိန်းချုပ်ထားသော အငွေ့ပျံခြင်း
သတ္တုများ၏ အပူငွေ့ပျံခြင်းတွင်၊ ခုခံမှုအပူပေးသည့်ဒြပ်စင်သို့ လျှပ်စီးကြောင်းကို ချိန်ညှိခြင်းသည် အငွေ့ပျံနှုန်းကို တိုက်ရိုက်လွှမ်းမိုးသည်။ ဤနည်းလမ်းသည် ရိုးရှင်းပြီး ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော်လည်း အနည်ထိုင်မှုတိကျမှုကို ထိန်းသိမ်းရန်အတွက် တည်ငြိမ်သော ပါဝါထောက်ပံ့မှုနှင့် ချိန်ညှိမှုလိုအပ်သည်။

၄။ အလွှာအပူချိန်ထိန်းချုပ်မှု
အောက်ခံအလွှာအပူချိန်သည် အာဒါတမ်ရွေ့လျားနိုင်မှု၊ ဖလင်သိပ်သည်းဆနှင့် အဏုကြည့်ဖွဲ့စည်းပုံတို့ကို လွှမ်းမိုးသည်။ စုပုံနေစဉ်အတွင်း အောက်ခံအပူကို ထိန်းချုပ်ခြင်းသည် ဖလင်ကပ်ငြိမှုနှင့် တစ်ပြေးညီဖြစ်မှုကို တိုးတက်စေနိုင်သည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုပ်ပိုးမှု သို့မဟုတ် မာကျောသောအပေါ်ယံလွှာများကဲ့သို့သော အသုံးချမှုများတွင် အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှုသည် တသမတ်တည်းရှိသော အထူနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်အတွက် အရေးကြီးပါသည်။

အထူတိကျမှုကို ထိခိုက်စေသော နံပါတ် ၃ အဓိကအချက်များ
၁။ ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများ
ပစ္စည်းအမျိုးမျိုးသည် မတူညီသော အငွေ့ပျံခြင်း ဝိသေသလက္ခဏာများနှင့် ကပ်ငြိမှုကိန်းဂဏန်းများကို ပြသကြသည်။ အလူမီနီယမ် သို့မဟုတ် ငွေကဲ့သို့သော သတ္တုများသည် အလွယ်တကူ အငွေ့ပျံသွားပြီး ကြွေထည် သို့မဟုတ် သတ္တုစပ်များ (ဥပမာ SiO₂၊ TiN) သည် ပိုမိုမြင့်မားသော အပူချိန် သို့မဟုတ် ဓာတ်ပြုမှုလေထုများ လိုအပ်သည်။ ထိရောက်သော အထူထိန်းချုပ်မှုအတွက် လုပ်ငန်းစဉ် ကန့်သတ်ချက်များကို ပစ္စည်း၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာနှင့် အပူအပြုအမူနှင့် ကိုက်ညီအောင် ချိန်ညှိထားရမည်။

၂။ အခန်းဖိအားနှင့် ဓာတ်ငွေ့ဖွဲ့စည်းမှု
အခန်းအတွင်းရှိ အလုပ်လုပ်သောဖိအားသည် အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်သည်။ ဖိအားမြင့်ခြင်းသည် ပြန့်ကျဲမှုကို တိုးစေပြီး အနည်ကျမှုနှုန်းကို လျော့ကျစေသည်။ ဖိအားနည်းခြင်းသည် ပလာစမာကို မတည်မငြိမ်ဖြစ်စေနိုင်သည် သို့မဟုတ် reactive sputtering တွင် ဓာတ်ပြုမှုနှုန်းကို လျော့ကျစေနိုင်သည်။ တည်ငြိမ်သောဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုကို ထိန်းသိမ်းခြင်း (ဥပမာ Ar၊ O₂၊ N₂) သည် လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သည်။

၃။ အောက်ခံမျက်နှာပြင်အခြေအနေ
မျက်နှာပြင်ညစ်ညမ်းမှု၊ အောက်ဆိုဒ်များ သို့မဟုတ် အောက်ဆိုဒ်များပေါ်ရှိ ကြမ်းတမ်းမှုများသည် ဖလင်ကပ်ငြိမှုကို ထိခိုက်စေပြီး အထူမညီမျှမှုကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။ အရည်ပျော်အာထရာဆောင်းသန့်စင်ခြင်း၊ ပလာစမာသန့်စင်ခြင်း သို့မဟုတ် အိုင်းယွန်းဗုံးကြဲခြင်းကဲ့သို့သော မျက်နှာပြင်ပြင်ဆင်မှုနည်းပညာများကို သန့်ရှင်းပြီး တသမတ်တည်းရှိသော အောက်ခံမျက်နှာပြင်ကို သေချာစေရန် အသုံးပြုသည်။

နိဂုံးချုပ်
မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် မြင့်မားသောထွက်နှုန်းရှိသော ဖုန်စုပ်အလွှာများရရှိရန် ဖလင်အထူကို တိကျစွာထိန်းချုပ်ခြင်းသည် အခြေခံကျသည်။ ඉදිරියටနှုန်း၊ အချိန်၊ အရင်းအမြစ်ဂျီသြမေတြီနှင့် အချိန်နှင့်တပြေးညီ စောင့်ကြည့်ခြင်းနည်းပညာများကို တိကျစွာထိန်းညှိခြင်းဖြင့် ထုတ်လုပ်သူများသည် ပိုမိုတင်းကျပ်သော ဖလင်သတ်မှတ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီနိုင်သည်။ အလင်းပညာ၊ မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်နှင့် လုပ်ဆောင်ချက်ဆိုင်ရာ အလွှာများတွင် နာနိုမီတာစကေးပါးလွှာသော ဖလင်များအတွက် ဝယ်လိုအား ဆက်လက်တိုးပွားလာသည်နှင့်အမျှ အဆင့်မြင့်အထူထိန်းချုပ်မှုနည်းပညာများသည် ထုတ်လုပ်မှုဆန်းသစ်တီထွင်မှုနှင့် ယှဉ်ပြိုင်နိုင်စွမ်းတွင် အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်လိမ့်မည်။

- ဤဆောင်းပါးကို ထုတ်ဝေသူ ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာပစ္စည်းကိရိယာများထုတ်လုပ်သူ Zhenhua ဖုန်စုပ်စက်