Di çêkirina nûjen de, teknolojiya pêçandina valûyê bi berfirehî li seranserê sektorên wekî elektronîk, optîk, otomotîk û hewavaniyê tê sepandin. Yek ji faktorên herî girîng di misogerkirina performansa pêçandinê de kontrola rastîn a qalindahiya fîlmê ye, ku rasterast bandorê li ser guhêrbariya elektrîkê, tevgera optîkî, berxwedana korozyonê û taybetmendiyên din ên fonksiyonel ên fîlmê dike. Ji ber vê yekê, rêziknameya qalindahiya fîlmê di endezyariya danîna valûyê de bûye mijarek sereke. Ev gotar prensîb, rêbazên hevpar û faktorên bandorker ji bo kontrola qalindahiya rastîn destnîşan dike, û têgihiştinan ji bo çêtirkirina hilberîna fîlma tenik pêşkêş dike.
Parametreyên Sereke yên Jimare 1 diKontrola Qalindahiya Fîlmê
1. Rêjeya Depozîsyonê
Qalindahiya fîlmê pir girêdayî rêjeya danînê ye, ku wekî qalindahiya fîlmê ku di yekîneya demê de li ser rûyê substratê tê danîn tê pênasekirin. Di pêvajoyên valahiyê de, rêjeya danînê ji hêla çend faktoran ve tê bandorkirin:
Hêza ku li ser çavkaniya buharbûn an sputterkirinê tê sepandin
Zexta odeyê
Dûrahiya di navbera substrat û çavkaniya danînê de
Bi verastkirina van parametreyan bi baldarî, hilberîner dikarin rêjeyên mezinbûna fîlimê yên domdar û kontrolkirî biparêzin.
2. Dema danînê
Bi texmîna rêjeyek danîna sabît, qalindahiya fîlmê bi awayekî xêzikî rêjeyî dema danîna ye. Bi destnîşankirina rast a dema pêvajoyê, qalindahiya armanc dikare were bidestxistin. Lêbelê, di dema çerxên danîna dirêj de, divê guherînên di rêjeyê de ji ber xirabûna çavkaniyê an jî guheztina pêvajoyê werin rêvebirin da ku ji danîna neyeksan an zêde dûr bikevin.
3. Geometrîya Çavkaniyê-ber-Binî
Cihê nisbî û goşeya di navbera çavkanî û substratê de bandorek girîng li ser yekrengiya danînê û stûriya fîlma herêmî dike. Ger pir nêzîk be, fîlm dikare pir stûr bibe; pir dûr be, û dibe ku bibe sedema kêm danînê an jî veşartina nebaş. Çêtirkirina geometrîya çavkaniyê û bikaranîna zivirîna substratê an tevgera gerstêrkê dikare yekrengiya fîlmê zêde bike.
Teknîkên Hejmar 2 yên Hevpar ji bo Çavdêrîkirin û Kontrolkirina Qalindahiyê
1. Çavdêriya Optîkî
Çavdêriya optîkî rêbazek berfireh e ku tê bikar anîn, nemaze ji bo pêçanên optîkî yên bi rastî. Li ser bingeha destwerdana optîkî, ew guhertinên di refleksansê an veguhestinê de li dirêjahiya pêlên taybetî di wextê rast de dişopîne. Sîstem dikare parametreyên danînê bi dînamîkî biguherîne da ku qalindahiya xwestî bi rastbûnek bilind bi dest bixe. Îdeal ji bo pêçanên dij-refleks, neynikên dielektrîk û fîlteran.
2. Mîkrobalansa Krîstala Quartz (QCM)
Ev teknîk sensorek krîstala quartz bikar tîne da ku guherîna girseyê bi rêya guheztina frekansê bişopîne, ku dihêle ku di wextê rast de qalindahiya razayî were hesab kirin. QCM bi gelemperî di nav pergalên buharkirina germî û buharkirina tîrêjên elektronîkî de têne entegre kirin, hesasiyet û kontrolek bilind pêşkêş dikin.
3. Buharkirina Bi Kontrolkirina Herikê
Di buharbûna germî ya metalan de, verastkirina herikê li ser hêmana germkirina berxwedêr rasterast bandorê li rêjeya buharbûnê dike. Ev rêbaz hêsan û lêçûn-bandor e lê ji bo parastina rastbûna danînê pêdivî bi dabînkirina hêzê ya stabîl û kalibrkirinê heye.
4. Kontrola Germahiya Bingehê
Germahiya substratê bandorê li tevgera adatom, tîrbûna fîlmê û mîkroavahiyê dike. Kontrolkirina germbûna substratê di dema danîna wê de dikare girêdana fîlmê û yekrengiyê baştir bike. Di sepanên wekî pakkirina nîvconductor an pêçanên hişk de, kontrola germahiyê ji bo qalindahî û performansa domdar girîng e.
Faktorên Sereke yên Jimare 3 ku Bandorê li Rastbûna Qalindahiyê dikin
1. Taybetmendiyên Materyalê
Materyalên cûda taybetmendiyên buharbûnê û katsayiyên zeliqandinê yên cûda nîşan didin. Metalên wekî alumînyûm an zîv bi hêsanî buhar dibin, lê seramîk an alloy (mînak, SiO₂, TiN) hewceyê germahiyên bilindtir an atmosferên reaktîf in. Ji bo kontrolkirina qalindahiya bi bandor, divê parametreyên pêvajoyê li gorî tevgera fîzîkî û germî ya materyalê werin çêkirin.
2. Zext û Pêkhateya Gazê ya Odeya Xezîneyê
Zeexta xebatê ya di hundirê odeyê de roleke girîng dilîze. Zeexta bilind belavbûnê zêde dike û rêjeya pêkhatinê kêm dike; zeexta nizm dikare plazmayê bêîstîqrar bike an jî rêjeyên reaksiyonê di sputterkirina reaktîf de kêm bike. Parastina herikîna gazê ya sabît (mînak, Ar, O₂, N₂) ji bo îstîqrara pêvajoyê girîng e.
3. Rewşa Rûyê Bingehê
Gemarbûna rûyê erdê, oksîd, an jî hişkbûna li ser substratê dikare bandorê li ser zeliqandina fîlmê bike û bibe sedema qalindahiya neyeksan. Teknîkên amadekirina rûyê wekî paqijkirina ultrasonîk a çareserker, paqijkirina plazmayê, an bombebarana îyonan têne bikar anîn da ku rûyê substratê paqij û yekreng be.
Xelasî
Kontrolkirina rast a qalindahiya fîlmê ji bo bidestxistina pêçanên valahiyê yên performansa bilind û berhemdariya bilind bingehîn e. Bi rêya rêkxistina rast a rêjeya danînê, dem, geometrîya çavkaniyê, û teknolojiyên çavdêriya rast-dem, hilberîner dikarin taybetmendiyên fîlmê yên ku her ku diçe dijwartir dibin bicîh bînin. Ji ber ku daxwaza fîlmên zirav ên di asta nanometre de di optîk, mîkroelektronîk û pêçanên fonksiyonel de berdewam dike, teknîkên kontrolkirina qalindahiya pêşkeftî dê di nûjeniya hilberînê û pêşbaziyê de rolek navendî bilîzin.
— Ev gotar ji hêla alavên boyaxkirina valahiyêhilberîner Zhenhua Vacuum
Dema şandinê: 12ê Tîrmehê-2025