N'ime mmepụta ọgbara ọhụrụ, a na-eji teknụzụ mkpuchi oghere eme ihe n'ọtụtụ ebe dịka eletrọnịkị, optics, ụgbọala, na aerospace. Otu n'ime ihe ndị kacha mkpa iji hụ na arụmọrụ mkpuchi bụ njikwa ọkpụrụkpụ ihe nkiri ziri ezi, nke na-emetụta kpọmkwem ike eletriki, omume anya, iguzogide nchara, na ihe ndị ọzọ dị mkpa nke ihe nkiri ahụ. Dịka nke a, iwu ọkpụrụkpụ ihe nkiri aghọwo isi ihe dị mkpa na injinịa itinye ihe oghere. Isiokwu a na-akọwapụta ụkpụrụ, ụzọ ndị a na-ahụkarị, na ihe ndị na-emetụta njikwa ọkpụrụkpụ ziri ezi, na-enye nghọta maka imeziwanye mmepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị.
Nkebi nke 1 Isi Paramita dị naNjikwa Ọkpụrụkpụ Ihe Nkiri
1. Ọnụego nkwụnye ego
Ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ dabere nke ukwuu na ọnụego ihe e tinyere, nke a kọwara dị ka ọkpụrụkpụ nke ihe nkiri ahụ e tinyere kwa oge otu n'elu ihe mkpuchi ahụ. N'ime usoro ihe mkpofu, ọtụtụ ihe na-emetụta ọnụego ihe e tinyere:
Ike etinyere na evaporation ma ọ bụ sputtering isi iyi
Nrụgide nke ụlọ
Anya dị n'etiti ihe mkpuchi ahụ na isi iyi nkwụnye ego
Site n'ịgbanwe paramita ndị a nke ọma, ndị nrụpụta nwere ike ịnọgide na-enwe ọnụego uto fim na-agbanwe agbanwe ma na-achịkwa.
2. Oge Mbupu
Ọ bụrụ na a na-ewere ọnụego nkwụnye ihe siri ike, ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ dabara n'usoro na oge nkwụnye ihe. Site n'ịhazi oge nhazi ahụ nke ọma, enwere ike iru ọkpụrụkpụ ihe mgbaru ọsọ ahụ. Agbanyeghị, n'oge usoro nkwụnye ihe dị ogologo, a ga-ejikwa mgbanwe na ọnụego n'ihi mmebi isi mmalite ma ọ bụ mgbanwe usoro iji zere nkwụnye ihe na-adịghị otu ma ọ bụ oke.
3. Jiometrị Isi mmalite ruo na ala
Ọnọdụ na nkuku dị n'etiti isi iyi na ihe mkpuchi ahụ na-emetụta nke ukwuu nha nhata nke ihe mkpuchi ahụ na ọkpụrụkpụ ihe nkiri mpaghara. Ọ bụrụ na ọ dị nso nke ukwuu, ihe nkiri ahụ nwere ike ịdị oke oke; ọ ga-adịkwa anya, ọ nwekwara ike ibute oke mbelata ma ọ bụ mkpuchi na-adịghị mma. Imeziwanye ọdịdị isi iyi ahụ na iji ntụgharị substrate ma ọ bụ mmegharị mbara ala nwere ike ime ka otu ihe nkiri ahụ dịkwuo mma.
Nke 2 Usoro Ndị A Na-ahụkarị Maka Nlekota na Njikwa Oke Ọkpụrụkpụ
1. Nlekota Anya
Nlekota anya bụ usoro a na-ejikarị eme ihe, ọkachasị maka mkpuchi anya ziri ezi. Dabere na nnyonye anya, ọ na-esochi mgbanwe na ntụgharị ma ọ bụ nnyefe na ogologo ebili mmiri kpọmkwem n'oge. Sistemụ ahụ nwere ike ịgbanwe paramita nkwụnye ahụ n'ụzọ dị iche iche iji ruo ọkpụrụkpụ achọrọ na oke nkenke. Ọ dị mma maka mkpuchi mgbochi-reflective, enyo dielectric, na nzacha.
2. Quartz Crystal Microbalance (QCM)
Usoro a na-eji ihe mmetụta kristal quartz iji nyochaa mgbanwe oke site na mgbanwe ugboro ugboro, na-enye ohere maka ngụkọ oge nke ọkpụrụkpụ echekwara. A na-ejikarị QCMs eme ihe na sistemu evaporation okpomọkụ na e-beam, na-enye nnukwu mmetụta na njikwa.
3. Mmiri na-anaghị amị amị nke a na-achịkwa ugbu a
N'ihe gbasara okpomọkụ nke ígwè, ịgbanwe ọkụ eletrik na ihe na-ekpo ọkụ na-eguzogide ọgwụ na-emetụta ọsọ ikuku. Usoro a dị mfe ma dị ọnụ ala mana ọ chọrọ ike na nhazi siri ike iji nọgide na-enwe izi ezi nke nkwụnye.
4. Njikwa Okpomọkụ nke ihe ndị dị n'okpuru ala
Okpomọkụ nke ihe ndị dị n'okpuru ala na-emetụta mmegharị adatom, njupụta ihe nkiri, na obere nhazi. Ijikwa ikpo ọkụ nke ihe ndị dị n'okpuru ala n'oge a na-etinye ihe nwere ike ime ka njikọ ihe nkiri na ịdị n'otu dịkwuo mma. N'ọrụ dịka nkwakọ ngwaahịa semiconductor ma ọ bụ mkpuchi siri ike, njikwa okpomọkụ dị oke mkpa maka ọkpụrụkpụ na arụmọrụ na-aga n'ihu.
Nke 3 Isi Ihe Ndị Na-emetụta Ịdị Mma nke Oke Ọkpụrụkpụ
1. Njirimara Ihe
Ihe dị iche iche na-egosipụta àgwà nke ịpụ apụ na ihe ndị na-arapara. Ígwè dị ka aluminom ma ọ bụ ọlaọcha na-apụ apụ ngwa ngwa, ebe seramiiki ma ọ bụ alloys (dịka ọmụmaatụ, SiO₂, TiN) chọrọ okpomọkụ dị elu ma ọ bụ ikuku na-emegharị ahụ. A ga-ahazi paramita usoro ahụ ka ọ dabara na omume anụ ahụ na nke okpomọkụ nke ihe ahụ maka njikwa ọkpụrụkpụ dị irè.
2. Nrụgide Ụlọ na Ngwakọta Gas
Nrụgide ọrụ n'ime ụlọ ahụ na-arụ ọrụ dị mkpa. Nrụgide dị elu na-eme ka mgbasa gbasaa ma na-ebelata ọnụego nkwụnye; obere nrụgide nwere ike imebi plasma ma ọ bụ belata ọnụego mmeghachi omume na sputtering reactive. Ịnọgide na-enwe usoro gas kwụsiri ike (dịka ọmụmaatụ, Ar, O₂, N₂) dị mkpa maka iguzosi ike n'ezi ihe usoro.
3. Ọnọdụ Elu Ala nke Ala
Mmetọ elu, oxides, ma ọ bụ ihe siri ike na ihe mkpuchi ahụ nwere ike imetụta njikọta ihe nkiri ahụ ma mee ka ọkpụrụkpụ ya ghara ịdị nhata. A na-eji usoro nkwadebe elu dị ka nhicha ultrasonic nke ihe mgbaze, nhicha plasma, ma ọ bụ bombardment ion iji hụ na elu ihe mkpuchi ahụ dị ọcha ma dị otu.
Mmechi
Njikwa ọkpụrụkpụ nke ihe nkiri dị oke mkpa iji nweta ihe mkpuchi oghere dị elu na nke na-emepụta ihe nke ọma. Site na nhazi ziri ezi nke ọnụego nkwụnye ego, oge, geometry isi mmalite, na teknụzụ nlekota oge, ndị nrụpụta nwere ike izute nkọwapụta ihe nkiri siri ike na-arịwanye elu. Ka ọchịchọ maka ihe nkiri dị gịrịgịrị nke nanometer na-aga n'ihu na-eto eto na optics, microelectronics, na mkpuchi ọrụ, usoro njikwa ọkpụrụkpụ dị elu ga-arụ ọrụ dị mkpa na mmepụta ihe na asọmpi.
—E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara ya akụrụngwa mkpuchi agụụonye nrụpụta Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Julaị-12-2025