Tlhahisong ea sejoale-joale, theknoloji ea ho koahela ka vacuum e sebelisoa haholo makaleng a kang lisebelisoa tsa elektroniki, optics, likoloi le lifofane. E 'ngoe ea lintlha tsa bohlokoa ka ho fetisisa ho netefatseng ts'ebetso ea ho koahela ke taolo e nepahetseng ea botenya ba filimi, e amang ka kotloloho ho tsamaisa motlakase, boitšoaro ba optical, ho hanyetsa mafome, le litšobotsi tse ling tsa ts'ebetso ea filimi. Ka hona, taolo ea botenya ba filimi e se e le ntlha ea bohlokoa boenjiniere ba ho boloka vacuum. Sengoloa sena se hlalosa melao-motheo, mekhoa e tloaelehileng, le lintlha tse susumetsang bakeng sa taolo e nepahetseng ea botenya, e fanang ka temohisiso ea ho ntlafatsa tlhahiso ea filimi e tšesaane.
Liparamitha tsa Bohlokoa tsa Nomoro ea 1 hoTaolo ea Botenya ba Filimi
1. Sekhahla sa ho ntsha tjhelete
Botenya ba filimi bo itshetlehile haholo ka sekgahla sa ho bewa, se hlaloswang e le botenya ba filimi e beilweng ka nako ya yuniti hodima bokahodimo ba substrate. Ditshebetsong tsa vacuum, sekgahla sa ho bewa se susumetswa ke mabaka a mmalwa:
Matla a sebediswang moyeng kapa mohloding wa ho ntsha metsi
Khatello ea kamore
Sebaka se pakeng tsa substrate le mohloli oa deposition
Ka ho lokisa diparamitha tsena hantle, bahlahisi ba ka boloka sekgahla sa kgolo ya filimi se tsitsitseng le se laolehang.
2. Nako ea ho Beha Tefo
Ha re nahana ka sekhahla se tsitsitseng sa ho beoa, botenya ba filimi bo lekana ka ho otloloha le nako ea ho beoa. Ka ho beha nako ea ts'ebetso ka nepo, botenya bo reriloeng bo ka fihlelleha. Leha ho le joalo, nakong ea potoloho e telele ea ho beoa, ho feto-fetoha ha sekhahla ka lebaka la ho senyeha ha mohloli kapa ho kheloha ha ts'ebetso ho tlameha ho laoloa ho qoba ho beoa ho sa ts'oanang kapa ho feteletseng.
3. Jeometri ea Mohloli ho ea ho Substrate
Sebaka se amanang le sebaka le sekhutlo pakeng tsa mohloli le substrate li ama haholo ho lekana ha deposition le botenya ba filimi ea lehae. Haeba e le haufi haholo, filimi e ka ba teteaneng haholo; e hole haholo, 'me e ka fella ka ho se behe hantle kapa ho koaheloa hampe. Ho ntlafatsa geometry ea mohloli le ho sebelisa ho potoloha ha substrate kapa motsamao oa lipolanete ho ka ntlafatsa ho tšoana ha filimi.
Che.2 Mekhoa e Tloaelehileng ea Tlhokomelo le Taolo ea Botenya
1. Tlhokomelo ea Mahlo
Tlhokomelo ea mahlo ke mokhoa o sebelisoang haholo, haholo-holo bakeng sa ho roala ka nepo ha optical. Ho ipapisitsoe le tšitiso ea mahlo, e latela liphetoho tsa ho bonahatsa kapa ho fetisetsa maqhubung a itseng a maqhubu ka nako ea sebele. Sistimi e ka fetola liparamente tsa ho beha ka mokhoa o feto-fetohang ho fihlela botenya bo lakatsehang ka ho nepahala ho hoholo. E loketse bakeng sa ho roala ho thibelang ho bonahatsa, liipone tsa dielectric le li-filters.
2. Quartz Crystal Microbalance (QCM)
Mokhoa ona o sebedisa sensor ya kristale ya quartz ho lekola phetoho ya boima ka ho fetola maqhubu, e leng se dumellang ho balwa ha botenya bo behilweng ka nako ya sebele. Hangata di-QCM di kopantswe le ditsamaiso tsa mouoane wa mocheso le e-beam, tse fanang ka kutlwisiso e phahameng le taolo.
3. Mouoane o Laoloang ke Hona Joale
Ha ho etsoa mouoane oa tšepe ka mocheso, ho fetola motlakase ho ea ho karolo ea ho futhumatsa e hanyetsang ho ama ka ho toba sekhahla sa mouoane. Mokhoa ona o bonolo ebile o theko e tlaase empa o hloka phepelo e tsitsitseng ea motlakase le tlhahlobo ho boloka ho nepahala ha ho beoa.
4. Taolo ea Mocheso oa Substrate
Mocheso oa substrate o susumetsa ho tsamaea ha adatom, bongata ba filimi le sebopeho sa micro. Ho laola ho futhumatsa substrate nakong ea ho beha filimi ho ka ntlafatsa ho khomarela le ho tšoana ha filimi. Litšebelisong tse kang liphutheloana tsa semiconductor kapa liphahlo tse thata, taolo ea mocheso e bohlokoa bakeng sa botenya le ts'ebetso e tsitsitseng.
3 Lintlha tsa Bohlokoa tse Amang ho Nepahala ha Botenya
1. Thepa ea Lintho
Lisebelisoa tse fapaneng li bontša litšobotsi tse fapaneng tsa mouoane le li-coefficient tse khomarelang. Litšepe tse kang aluminium kapa silevera li fetoha mouoane habonolo, ha li-ceramic kapa li-alloy (mohlala, SiO₂, TiN) li hloka mocheso o phahameng kapa sepakapaka se arabelang. Litekanyetso tsa ts'ebetso li tlameha ho etsoa ho latela boitšoaro ba 'mele le ba mocheso ba thepa bakeng sa taolo e sebetsang ea botenya.
2. Khatello ea Kamore le Sebopeho sa Khase
Khatello e sebetsang ka har'a kamore e bapala karolo ea bohlokoa. Khatello e phahameng e eketsa ho hasana le ho fokotsa sekhahla sa ho beoa; khatello e tlase e ka sitisa plasma kapa ea fokotsa sekhahla sa karabelo ho sputtering e arabelang. Ho boloka phallo e tsitsitseng ea khase (mohlala, Ar, O₂, N₂) ho bohlokoa bakeng sa botsitso ba ts'ebetso.
3. Boemo ba Sebaka se ka tlas'a lefatše
Tšilafalo ea bokaholimo, li-oxide, kapa ho ba thata holim'a substrate ho ka ama ho khomarela ha filimi 'me ha fella ka botenya bo sa lekanang. Mekhoa ea ho lokisa bokaholimo joalo ka ho hloekisa ka ultrasonic ea solvent, ho hloekisa plasma, kapa ho phatloha ha ion e sebelisoa ho netefatsa bokaholimo bo hloekileng le bo lekanang ba substrate.
Qetello
Taolo e nepahetseng ea botenya ba filimi ke ea bohlokoa ho fihlelleng liphahlo tsa vacuum tse sebetsang hantle le tse hlahisang litholoana tse ngata. Ka taolo e nepahetseng ea sekhahla sa ho beha, nako, jiometri ea mohloli, le mahlale a ho beha leihlo ka nako ea sebele, bahlahisi ba ka fihlela litlhaloso tse thata tsa filimi. Ha tlhoko ea lifilimi tse tšesaane tsa nanometer e ntse e tsoela pele ho hola ho optics, microelectronics, le liphahlo tse sebetsang, mekhoa e tsoetseng pele ea taolo ea botenya e tla bapala karolo ea bohlokoa boqaping ba tlhahiso le tlholisano.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke lisebelisoa tsa ho roala ka vacuummoetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Phupu-12-2025