Mu kupanga kwamakono, ukadaulo wopaka vacuum umagwiritsidwa ntchito kwambiri m'magawo monga zamagetsi, kuwala, magalimoto, ndi ndege. Chimodzi mwazinthu zofunika kwambiri pakuwonetsetsa kuti utoto ukugwira ntchito bwino ndi kuwongolera kolondola kwa makulidwe a filimu, komwe kumakhudza mwachindunji kuyendetsa magetsi, mawonekedwe a kuwala, kukana dzimbiri, ndi magwiridwe antchito ena a filimuyo. Motero, kulamulira makulidwe a filimu kwakhala chinthu chofunikira kwambiri pakupanga vacuum deposition. Nkhaniyi ikufotokoza mfundo, njira zodziwika bwino, ndi zinthu zomwe zimakhudza kuwongolera makulidwe molondola, kupereka chidziwitso chowongolera kupanga filimu yopyapyala.
Magawo Ofunika a Nambala 1 muKulamulira Kukhuthala kwa Mafilimu
1. Chiŵerengero cha Kuyika
Kukhuthala kwa filimu kumadalira kwambiri kuchuluka kwa malo osungira, komwe kumatanthauzidwa ngati makulidwe a filimu yomwe imayikidwa pa nthawi iliyonse pamwamba pa nthaka. Mu njira zotsukira, kuchuluka kwa malo osungira kumakhudzidwa ndi zinthu zingapo:
Mphamvu yogwiritsidwa ntchito ku gwero la nthunzi kapena kutulutsa madzi
Kupanikizika kwa chipinda
Mtunda pakati pa gawo lapansi ndi gwero loyikamo
Mwa kusintha bwino magawo awa, opanga amatha kusunga kuchuluka kwa filimu komwe kumasinthasintha komanso koyenera.
2. Nthawi Yoyika Ndalama
Poganizira kuti kuchuluka kwa filimu yoyikidwa bwino kumakhala kofanana ndi nthawi yoyikidwa. Mwa kukhazikitsa molondola nthawi ya ndondomekoyi, makulidwe omwe mukufuna kuyika akhoza kukwaniritsidwa. Komabe, panthawi yayitali yoyikidwa, kusinthasintha kwa kuchuluka kwa filimu chifukwa cha kuwonongeka kwa gwero kapena kusuntha kwa njira kuyenera kuyang'aniridwa kuti tipewe kuyika kosafanana kapena kopitirira muyeso.
3. Geometry Yochokera ku Gwero kupita ku Substrate
Malo ogwirizana ndi ngodya pakati pa gwero ndi gawo lapansi zimakhudza kwambiri kufanana kwa malo osungiramo zinthu komanso makulidwe a filimu yapafupi. Ngati ili pafupi kwambiri, filimuyo ikhoza kukhala yokhuthala kwambiri; kutali kwambiri, ndipo izi zingayambitse kutayika kochepa kapena kufalikira koipa. Kukonza bwino mawonekedwe a gwero ndikugwiritsa ntchito kuzungulira kwa gawo lapansi kapena kuyenda kwa mapulaneti kungathandize kuti filimuyo ikhale yofanana.
Nambala 2 Njira Zodziwika Bwino Zowunikira ndi Kulamulira Kukhuthala
1. Kuwunika kwa Maso
Kuwunika kwa kuwala ndi njira yomwe imagwiritsidwa ntchito kwambiri, makamaka pa zophimba zowunikira molondola. Kutengera kusokoneza kwa kuwala, imatsata kusintha kwa kuwunikira kapena kutumiza kwa kuwala pa mafunde enaake nthawi yeniyeni. Dongosololi limatha kusintha magawo oyika kuti likwaniritse makulidwe omwe mukufuna molondola kwambiri. Ndibwino kwambiri pa zophimba zotsutsana ndi kuwunikira, magalasi a dielectric, ndi zosefera.
2. Quartz Crystal Microbalance (QCM)
Njira imeneyi imagwiritsa ntchito sensa ya kristalo ya quartz kuti iwunikire kusintha kwa unyinji kudzera mu kusintha kwa ma frequency, zomwe zimathandiza kuwerengera nthawi yeniyeni makulidwe omwe aikidwa. Ma QCM nthawi zambiri amaphatikizidwa mu makina otenthetsera kutentha ndi e-beam evaporation, zomwe zimapereka mphamvu zambiri komanso kuwongolera.
3. Kutuluka kwa nthunzi komwe kumayendetsedwa ndi mphamvu ya magetsi
Pa kutentha kwa zitsulo, kusintha mphamvu yamagetsi ku chinthu chotenthetsera chotsutsa kumakhudza mwachindunji kuchuluka kwa kuzizira kwa madzi. Njirayi ndi yosavuta komanso yotsika mtengo koma imafuna magetsi okhazikika komanso kuwerengera kuti zisunge kulondola kwa malo.
4. Kulamulira Kutentha kwa Pansi pa Substrate
Kutentha kwa substrate kumakhudza kuyenda kwa adatom, kuchulukana kwa filimu, ndi kapangidwe kake kakang'ono. Kulamulira kutentha kwa substrate panthawi yoyika filimu kungathandize kuti filimu ikhale yogwirizana komanso yogwirizana. Mu ntchito monga ma semiconductor packaging kapena hard coating, kuwongolera kutentha ndikofunikira kwambiri kuti makulidwe ndi magwiridwe antchito azikhala ofanana.
Zinthu 3 Zofunika Kwambiri Zokhudza Kulondola kwa Kukhuthala
1. Katundu wa Zinthu
Zipangizo zosiyanasiyana zimakhala ndi mawonekedwe osiyanasiyana a nthunzi ndi ma coefficients omatira. Zitsulo monga aluminiyamu kapena siliva zimasanduka nthunzi mosavuta, pomwe zoumba kapena ma alloys (monga SiO₂, TiN) zimafuna kutentha kwambiri kapena mlengalenga wosinthika. Ma parameter a ndondomeko ayenera kusinthidwa kuti agwirizane ndi momwe zinthuzo zimakhalira ndi kutentha kwa thupi ndi kutentha kuti ziwongolere bwino makulidwe.
2. Kupanikizika kwa Chipinda ndi Kuphatikizika kwa Mpweya
Kupanikizika kogwira ntchito mkati mwa chipinda kumachita gawo lofunika kwambiri. Kupanikizika kwakukulu kumawonjezera kufalikira ndi kuchepetsa kuchuluka kwa kuyika; kupanikizika kochepa kumatha kusokoneza plasma kapena kuchepetsa kuchuluka kwa kuyankha mu kupopera kwa reactive. Kusunga mpweya wokhazikika (monga, Ar, O₂, N₂) ndikofunikira kuti njira ikhale yokhazikika.
3. Mkhalidwe wa Pansi pa Pansi
Kuipitsidwa ndi pamwamba, ma oxide, kapena kuuma kwa substrate kungakhudze kumamatira kwa filimuyo ndipo kumabweretsa makulidwe osafanana. Njira zokonzekera pamwamba monga kuyeretsa kwa solvent ultrasound, kuyeretsa plasma, kapena ion bombardment zimagwiritsidwa ntchito kuti zitsimikizire kuti substrate ili yoyera komanso yofanana.
Mapeto
Kuwongolera molondola makulidwe a filimu ndikofunikira kwambiri kuti tikwaniritse zophimba za vacuum zomwe zimagwira ntchito bwino komanso zobala zipatso zambiri. Kudzera mu malamulo olondola a kuchuluka kwa zoyikapo, nthawi, mawonekedwe a gwero, ndi ukadaulo wowunikira nthawi yeniyeni, opanga amatha kukwaniritsa zofunikira kwambiri za filimu. Pamene kufunikira kwa mafilimu opyapyala a nanometer kukupitilira kukula mu optics, microelectronics, ndi zophimba zogwira ntchito, njira zamakono zowongolera makulidwe zidzakhala ndi gawo lofunika kwambiri pakupanga zatsopano komanso mpikisano.
—Nkhaniyi yafalitsidwa ndi zida zophikira zotsukirawopanga Zhenhua Vacuum
Nthawi yotumizira: Julayi-12-2025