Wax soo saarka casriga ah, tignoolajiyada dahaarka faakuumka ayaa si weyn loogu adeegsadaa qaybaha sida elektarooniga, indhaha, baabuurta, iyo hawada sare. Mid ka mid ah arrimaha ugu muhiimsan ee lagu hubinayo waxqabadka dahaarka waa xakamaynta dhumucda filimka saxda ah, taas oo si toos ah u saameysa socodka korantada, dhaqanka indhaha, iska caabbinta daxalka, iyo sifooyinka kale ee shaqada ee filimka. Sidaa darteed, nidaaminta dhumucda filimku waxay noqotay diiradda ugu weyn ee injineernimada dhigista faakuumka. Maqaalkani wuxuu qeexayaa mabaadi'da, hababka caadiga ah, iyo arrimaha saameeya xakamaynta dhumucda saxda ah, iyadoo bixinaysa aragtiyo lagu hagaajinayo wax soo saarka filimka khafiifka ah.
Halbeegyada Muhiimka ah ee Lambarka 1aadXakamaynta Dhumucda Filimka
1. Heerka Dhigaalka
Dhumucda filimku waxay aad ugu tiirsan tahay heerka dhigista, oo lagu qeexo dhumucda filimka lagu shubo waqti kasta oo cutub ah dusha sare ee substrate-ka. Hawlaha faakiyuumka, heerka dhigista waxaa saameeya dhowr arrimood:
Koronto lagu shubo isha uumi-baxa ama uumiga
Cadaadiska qolka
Masaafada u dhaxaysa substrate-ka iyo isha dhigista
Iyadoo si fiican loo hagaajinayo xuduudahan, soosaarayaashu waxay ilaalin karaan heerarka koritaanka filimka ee joogtada ah oo la xakameyn karo.
2. Waqtiga Bixinta
Haddii la qiyaaso heerka kaydinta oo deggan, dhumucda filimku waxay si toosan ugu dhigantaa waqtiga kaydinta. Marka si sax ah loo dejiyo muddada hawsha, dhumucda bartilmaameedka ah ayaa la gaari karaa. Si kastaba ha ahaatee, inta lagu jiro wareegyada kaydinta ee dheer, isbeddellada heerka oo ay ugu wacan tahay burburka isha ama socodka geeddi-socodka waa in la maareeyaa si looga fogaado kaydinta aan isku mid ahayn ama xad-dhaaf ah.
3. Joomatari Isha-ilaa-Substrate-ka
Meesha iyo xagasha u dhaxaysa isha iyo substrate-ka ayaa si weyn u saameeya isku-midnimada dhigista iyo dhumucda filimka maxalliga ah. Haddii aad u dhowaato, filimku wuxuu noqon karaa mid aad u qaro weyn; aad u fog, waxayna keeni kartaa hoos u dhac ku yimaada booska ama daboolid liidata. Hagaajinta joomatari ee isha iyo isticmaalka wareegga substrate-ka ama dhaqdhaqaaqa meeraha ayaa kor u qaadi kara midnimada filimka.
Farsamooyinka Caadiga ah ee La Socodka iyo Xakamaynta Dhumucda No.2
1. La socodka Indhaha
La socodka indhaha waa hab si weyn loo isticmaalo, gaar ahaan dahaarka indhaha ee saxda ah. Iyada oo ku saleysan faragelinta indhaha, waxay la socotaa isbeddellada ku yimaada milicsiga ama gudbinta hirarka gaarka ah waqtiga dhabta ah. Nidaamku wuxuu si firfircoon u hagaajin karaa xuduudaha dhigista si loo gaaro dhumucda la rabo iyadoo la adeegsanayo saxnaan sare. Ku habboon dahaarka ka hortagga milicsiga, muraayadaha dielectric, iyo shaandheeyayaasha.
2. Isku dheelitirka Quartz Crystal Microbalance (QCM)
Farsamadani waxay isticmaashaa dareemaha kiristaalka quartz si ay ula socoto isbeddelka tirada iyada oo loo marayo isbeddelka soo noqnoqda, taasoo u oggolaanaysa xisaabinta waqtiga-dhabta ah ee dhumucda la dhigay. QCM-yada waxaa badanaa lagu dhex daraa nidaamyada uumiga kulaylka iyo e-beam, iyagoo bixiya xasaasiyad sare iyo xakameyn.
3. Uumi-baxa hadda la xakameeyo
Uumi-baxa kulaylka ee biraha, hagaajinta qulqulka iyo qaybta kuleyliyaha iska caabbinta ayaa si toos ah u saamaysa heerka uumi-baxa. Habkani waa mid fudud oo kharash-ool ah laakiin wuxuu u baahan yahay sahay koronto oo deggan iyo habayn si loo ilaaliyo saxnaanta dhigista.
4. Xakamaynta Heerkulka Substrate-ka
Heerkulka dhulka hoostiisa wuxuu saameeyaa dhaqdhaqaaqa adatom, cufnaanta filimka, iyo qaab-dhismeedka yar. Xakamaynta kululaynta dhulka hoostiisa inta lagu jiro kaydinta waxay hagaajin kartaa isku-dhejinta filimka iyo isku-midnimada. Codsiyada sida baakadaha semiconductor-ka ama dahaarka adag, xakamaynta heerkulku waa muhiim u ah dhumucda iyo waxqabadka joogtada ah.
Lambarka 3aad Qodobbada Muhiimka ah ee Saameeya Saxnaanta Dhumucda
1. Sifooyinka Agabka
Agabyo kala duwan waxay muujiyaan astaamo uumi-baxa oo kala duwan iyo isku-dhafka isku dhejinta. Biraha sida aluminiumka ama lacagta si fudud ayay u uumi baxaan, halka dhoobada ama birta (tusaale ahaan, SiO₂, TiN) ay u baahan yihiin heerkul sare ama jawi falgal ah. Xuduudaha habka waa in loo habeeyaa hab-dhaqanka jireed iyo kan kulaylka ee walaxda si loo xakameeyo dhumucda wax ku oolka ah.
2. Cadaadiska Qolka iyo Halabuurka Gaaska
Cadaadiska shaqada ee gudaha qolka ayaa door muhiim ah ka ciyaara. Cadaadiska sare wuxuu kordhiyaa kala firdhinta wuxuuna yareeyaa heerka dhigista; cadaadiska hoose wuxuu khalkhal gelin karaa balaasmaha ama wuxuu yareyn karaa heerarka falgalka marka uu ku jiro buufinta falceliska. Ilaalinta socodka gaaska oo deggan (tusaale ahaan, Ar, O₂, N₂) ayaa lagama maarmaan u ah xasilloonida habka.
3. Xaaladda Dusha Sare ee Substrate-ka
Wasakhowga dusha sare, oksaydhyada, ama qallafsanaanta dusha sare waxay saameyn kartaa isku dhejinta filimka waxayna keeni kartaa dhumuc aan sinnayn. Farsamooyinka diyaarinta dusha sare sida nadiifinta ultrasonic-ka dareeraha ah, nadiifinta balaasmaha, ama bamgareynta ion ayaa loo isticmaalaa si loo hubiyo dusha sare ee nadiifka ah oo isku mid ah.
Gunaanad
Xakamaynta saxda ah ee dhumucda filimka ayaa aasaas u ah gaaritaanka dahaarka faaruqa ee waxqabadka sare leh iyo kuwa wax soo saar sare leh. Iyada oo loo marayo nidaaminta saxda ah ee heerka dhigista, waqtiga, joomatari isha, iyo teknoolojiyada kormeerka waqtiga-dhabta ah, soosaarayaashu waxay buuxin karaan shuruudaha filimka ee sii kordhaya ee adag. Maadaama baahida loo qabo filimada khafiifka ah ee cabbirka nanometer-ka ay sii kordheyso indhaha, microelectronics, iyo dahaarka shaqada, farsamooyinka xakamaynta dhumucda ee horumarsan ayaa door muhiim ah ka ciyaari doona hal-abuurka wax soo saarka iyo tartanka.
—Maqaalkan waxaa daabacay qalabka dahaadhka faakuumkasaaraha Zhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Luulyo-12-2025