Ao amin'ny famokarana maoderina, ny teknolojia "vacuum coating" dia ampiharina betsaka amin'ny sehatra maro toy ny elektronika, optika, fiara ary fiaramanidina. Ny iray amin'ireo anton-javatra tena ilaina amin'ny fiantohana ny fahombiazan'ny coating dia ny fanaraha-maso marina ny hatevin'ny sarimihetsika, izay misy fiantraikany mivantana amin'ny fitarihana herinaratra, ny fihetsika optika, ny fanoherana ny harafesina, ary ny toetra hafa ampiasain'ny sarimihetsika. Noho izany, ny fanaraha-maso ny hatevin'ny sarimihetsika dia lasa ifantohana fototra amin'ny injeniera fametrahana banga. Ity lahatsoratra ity dia mamaritra ny fitsipika, ny fomba mahazatra, ary ireo anton-javatra misy fiantraikany amin'ny fanaraha-maso marina ny hateviny, manolotra hevi-baovao ho an'ny fanatsarana ny famokarana sarimihetsika manify.
Ireo masontsivana fototra laharana voalohany ao amin'nyFanaraha-maso ny hatevin'ny sarimihetsika
1. Tahan'ny fametrahana
Miankina betsaka amin'ny tahan'ny fametrahana ny hatevin'ny sarimihetsika, izay faritana ho ny hatevin'ny sarimihetsika apetraka isaky ny fotoana eo amin'ny velaran'ny substrate. Amin'ny dingana banga, ny tahan'ny fametrahana dia misy fiantraikany amin'ny anton-javatra maromaro:
Hery ampiharina amin'ny loharanon'ny etona na ny sputtering
Tsindrin'ny efitrano
Ny elanelana misy eo amin'ny substrate sy ny loharano fametrahana
Amin'ny fanitsiana tsara ireo masontsivana ireo, dia afaka mitazona tahan'ny fitomboan'ny sarimihetsika tsy miovaova sy azo fehezina ireo mpanamboatra.
2. Fotoana fametrahana
Raha heverina fa marin-toerana ny tahan'ny fametrahana, dia mifanandrify amin'ny fotoana fametrahana ny hatevin'ny sarimihetsika. Amin'ny alàlan'ny fametrahana marina ny faharetan'ny dingana, dia azo tratrarina ny hatevina kendrena. Na izany aza, mandritra ny tsingerin'ny fametrahana lava, dia tsy maintsy fehezina ny fiovaovan'ny tahan'ny noho ny fahasimban'ny loharano na ny fiovaovan'ny dingana mba hisorohana ny fametrahana tsy mitovy na tafahoatra.
3. Jeometrika avy amin'ny loharano mankany amin'ny substrate
Ny toerana misy ny loharano sy ny zoro misy eo amin'ny loharano sy ny substrate dia misy fiantraikany lehibe amin'ny fitoviana amin'ny fametrahana sy ny hatevin'ny sarimihetsika eo an-toerana. Raha akaiky loatra dia mety ho matevina loatra ny sarimihetsika; raha lavitra loatra kosa dia mety hiteraka tsy fahampian'ny fametrahana na fandrakofana ratsy. Ny fanatsarana ny jeometrika loharano sy ny fampiasana ny fihodinan'ny substrate na ny fihetsehan'ny planeta dia afaka manatsara ny fitoviana amin'ny sarimihetsika.
Teknika mahazatra laharana faha-2 amin'ny fanaraha-maso sy fanaraha-maso ny hateviny
1. Fanaraha-maso Optika
Fomba ampiasaina betsaka ny fanaraha-maso optika, indrindra ho an'ny coating optika mazava tsara. Mifototra amin'ny fitsabahana optika, dia manara-maso ny fiovan'ny taratra na ny fifindran'ny hazavana amin'ny halavan'ny onjam-peo voafaritra amin'ny fotoana tena izy izy io. Afaka manitsy ny masontsivana fametrahana amin'ny fomba mavitrika ny rafitra mba hahazoana ny hatevina irina amin'ny fomba mazava tsara. Mety tsara ho an'ny coating anti-reflective, fitaratra dielectric, ary sivana.
2. Fifandanjana bitika kristaly Quartz (QCM)
Mampiasa "capteur" kristaly quartz ity teknika ity mba hanaraha-maso ny fiovan'ny faobe amin'ny alàlan'ny fiovan'ny matetika, izay ahafahana manao kajy mivantana ny hatevin'ny zavatra napetraka. Matetika ny QCM dia tafiditra ao anatin'ny rafitra etona mafana sy etona e-beam, izay manolotra fahatsapana sy fanaraha-maso avo lenta.
3. Fivoahan'ny etona voafehin'ny herinaratra
Amin'ny etona mafana amin'ny metaly, ny fanitsiana ny fikorianan'ny herinaratra mankany amin'ny singa fanafanana resistive dia misy fiantraikany mivantana amin'ny tahan'ny etona. Tsotra sy mahomby amin'ny vidiny ity fomba ity saingy mitaky famatsiana herinaratra sy fanamarinana maharitra mba hihazonana ny fahamarinan'ny fametrahana azy.
4. Fanaraha-maso ny mari-pana ao anaty tany
Ny hafanan'ny substrate dia misy fiantraikany amin'ny fivezivezen'ny adatom, ny hakitroky ny sarimihetsika, ary ny firafitry ny micro. Ny fanaraha-maso ny fanafanana ny substrate mandritra ny fametrahana azy dia afaka manatsara ny fifikirana sy ny fitoviana amin'ny sarimihetsika. Amin'ny fampiharana toy ny fonosana semiconductor na coatings mafy, ny fanaraha-maso ny mari-pana dia tena ilaina mba hahazoana hatevina sy fahombiazana mitovy.
Laharana faha-3 amin'ny anton-javatra manan-danja izay misy fiantraikany amin'ny fahamarinan'ny hateviny
1. Toetran'ny akora
Samy hafa ny toetran'ny etona sy ny firafitry ny akora samihafa. Mora etona ny metaly toy ny aliminioma na volafotsy, raha toa kosa ka mila mari-pana ambony kokoa na atmosfera mihetsika ny seramika na ny firaka (ohatra, SiO₂, TiN). Tsy maintsy ampifanarahana amin'ny fihetsiky ny fitaovana ara-batana sy ara-hafanana ny masontsivana momba ny fizotran'ny asa mba hahazoana fanaraha-maso mahomby ny hateviny.
2. Tsindrin'ny efitrano sy ny firafitry ny entona
Mitana anjara toerana lehibe ny tsindry miasa ao anatin'ny efitrano. Mampitombo ny fiparitahana ny tsindry avo ary mampihena ny tahan'ny fametrahana; ny tsindry ambany kosa mety hanimba ny plasma na hampihena ny tahan'ny fihetsehana amin'ny fiparitahan'ny entona. Tena ilaina amin'ny fahamarinan'ny fizotran'ny asa ny fitazonana ny fikorianan'ny entona marin-toerana (ohatra, Ar, O₂, N₂).
3. Toetran'ny velaran'ny tany
Ny fahalotoan'ny ety ambonin'ny tany, ny oksida, na ny haratsian'ny substrate dia mety hisy fiantraikany amin'ny fifikiran'ny sarimihetsika ary hiteraka hateviny tsy mitovy. Ampiasaina ny teknika fanomanana ny ety ambonin'ny tany toy ny fanadiovana ultrasonika solvent, fanadiovana plasma, na ny baomba ion mba hahazoana antoka fa madio sy mitovy ny ety ambonin'ny substrate.
Famaranana
Ny fanaraha-maso marina ny hatevin'ny sarimihetsika dia fototra iorenan'ny fahazoana coating banga mahomby sy avo lenta. Amin'ny alàlan'ny fanaraha-maso mazava tsara ny tahan'ny fametrahana, ny fotoana, ny jeometrika loharano, ary ny teknolojia fanaraha-maso amin'ny fotoana tena izy, dia afaka mahafeno ny fepetra takian'ny sarimihetsika henjana hatrany ireo mpanamboatra. Satria mitombo hatrany ny fangatahana sarimihetsika manify amin'ny haben'ny nanometra amin'ny optika, microelectronics, ary coating miasa, dia handray anjara lehibe amin'ny fanavaozana sy ny fifaninanana amin'ny famokarana ireo teknika fanaraha-maso ny hatevina mandroso.
—Navoakan'ny fitaovana fanosotra bangampanamboatra Zhenhua Vacuum
Fotoana fandefasana: 12 Jolay 2025