అధిక శూన్య వాతావరణంలో ఘన పదార్థాలను వేడి చేసి సబ్లైమేట్ చేయడం లేదా ఆవిరైపోవడం మరియు సన్నని పొరను పొందడానికి వాటిని ఒక నిర్దిష్ట ఉపరితలంపై జమ చేసే ప్రక్రియను వాక్యూమ్ బాష్పీభవన పూత (బాష్పీభవన పూత అని పిలుస్తారు) అంటారు.
వాక్యూమ్ బాష్పీభవన ప్రక్రియ ద్వారా సన్నని పొరల తయారీ చరిత్రను 1850ల నాటి నుండి గుర్తించవచ్చు. 1857లో, ఎం. ఫర్రార్ నత్రజనిలో లోహపు తీగలను ఆవిరి చేసి సన్నని పొరలను ఏర్పరచడం ద్వారా వాక్యూమ్ పూత ప్రయత్నాన్ని ప్రారంభించాడు. ఆ సమయంలో తక్కువ వాక్యూమ్ సాంకేతికత కారణంగా, ఈ విధంగా సన్నని పొరల తయారీ చాలా సమయం తీసుకుంటుంది మరియు ఆచరణాత్మకం కాదు. 1930 వరకు ఆయిల్ డిఫ్యూజన్ పంప్ మెకానికల్ పంప్ జాయింట్ పంపింగ్ వ్యవస్థను స్థాపించారు, వాక్యూమ్ సాంకేతికత వేగంగా అభివృద్ధి చెందగలదు, బాష్పీభవనం మరియు స్పట్టరింగ్ పూతను ఆచరణాత్మక సాంకేతికతగా మార్చడానికి మాత్రమే.
వాక్యూమ్ బాష్పీభవనం అనేది పురాతనమైన సన్నని పొర నిక్షేపణ సాంకేతికత అయినప్పటికీ, ఇది అత్యంత సాధారణ పద్ధతిలో ఉపయోగించే ప్రయోగశాల మరియు పారిశ్రామిక ప్రాంతాలు. దీని ప్రధాన ప్రయోజనాలు సరళమైన ఆపరేషన్, నిక్షేపణ పారామితులను సులభంగా నియంత్రించడం మరియు ఫలిత చిత్రాల యొక్క అధిక స్వచ్ఛత. వాక్యూమ్ పూత ప్రక్రియను ఈ క్రింది మూడు దశలుగా విభజించవచ్చు.
1) మూల పదార్థాన్ని వేడి చేసి కరిగించి ఆవిరి చేయడం లేదా ఉత్కృష్టపరచడం జరుగుతుంది; 2) ఆవిరిని ఆవిరి చేయడానికి లేదా ఉత్కృష్టపరచడానికి మూల పదార్థం నుండి తొలగిస్తారు.
2) ఆవిరి మూల పదార్థం నుండి ఉపరితలానికి బదిలీ చేయబడుతుంది.
3) ఆవిరి ఉపరితల ఉపరితలంపై ఘనీభవించి ఘనీభవించి ఒక ఘన పొరను ఏర్పరుస్తుంది.
సన్నని పొరల యొక్క వాక్యూమ్ బాష్పీభవనం, సాధారణంగా పాలీక్రిస్టలైన్ ఫిల్మ్ లేదా అమార్ఫస్ ఫిల్మ్, న్యూక్లియేషన్ మరియు ఫిల్మ్ రెండు ప్రక్రియల ద్వారా ఫిల్మ్ నుండి ఐలాండ్ పెరుగుదల ఆధిపత్యం చెలాయిస్తుంది. బాష్పీభవించిన అణువులు (లేదా అణువులు) ఉపరితలంతో ఢీకొంటాయి, ఉపరితలంతో శాశ్వత అటాచ్మెంట్లో కొంత భాగం, అధిశోషణంలో కొంత భాగం మరియు ఉపరితల ఉపరితలం నుండి ఆవిరైపోతుంది మరియు ఉపరితల ఉపరితలం నుండి ప్రత్యక్ష ప్రతిబింబంలో కొంత భాగం తిరిగి వస్తుంది. ఉష్ణ కదలిక కారణంగా అణువుల (లేదా అణువుల) ఉపరితల ఉపరితలానికి అంటుకోవడం ఉపరితలం వెంట కదలవచ్చు, ఉదాహరణకు ఇతర అణువులను తాకడం ద్వారా సమూహాలుగా పేరుకుపోతుంది. ఉపరితల ఉపరితలంపై ఒత్తిడి ఎక్కువగా ఉన్న చోట లేదా క్రిస్టల్ ఉపరితలం యొక్క ద్రావణ దశలపై సమూహాలు ఎక్కువగా సంభవిస్తాయి, ఎందుకంటే ఇది శోషించబడిన అణువుల స్వేచ్ఛా శక్తిని తగ్గిస్తుంది. ఇది న్యూక్లియేషన్ ప్రక్రియ. అణువుల (అణువులు) మరింత నిక్షేపణ ఫలితంగా పైన పేర్కొన్న ద్వీపం-ఆకారపు సమూహాలు (కేంద్రకాలు) నిరంతర ఫిల్మ్గా విస్తరించబడే వరకు విస్తరించబడతాయి. అందువల్ల, వాక్యూమ్ ఆవిరైన పాలీక్రిస్టలైన్ ఫిల్మ్ల నిర్మాణం మరియు లక్షణాలు బాష్పీభవన రేటు మరియు ఉపరితల ఉష్ణోగ్రతతో దగ్గరి సంబంధం కలిగి ఉంటాయి. సాధారణంగా చెప్పాలంటే, ఉపరితల ఉష్ణోగ్రత తక్కువగా ఉంటే, బాష్పీభవన రేటు ఎక్కువగా ఉంటుంది, ఫిల్మ్ గ్రెయిన్ సూక్ష్మంగా మరియు దట్టంగా ఉంటుంది.
–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ సమయం: మార్చి-23-2024