Prestandan hos olika vakuumpumpar har andra skillnader förutom förmågan att pumpa vakuum till kammaren. Därför är det mycket viktigt att klargöra det arbete som pumpen utför i vakuumsystemet när man väljer, och pumpens roll inom olika arbetsområden sammanfattas enligt följande.
1. Att vara huvudpumpen i systemet
Huvudpumpen är vakuumpumpen som direkt pumpar vakuumsystemets pumpkammare för att uppnå den vakuumgrad som krävs för att uppfylla processkraven.
2. Grovpumpande pump
Grovpumpningspumpen är en vakuumpump som börjar minska från lufttrycket och trycket från vakuumsystemet når ett annat pumpsystem som kan börja arbeta.
3. Förstegspump
En förstegspump är en vakuumpump som används för att hålla förstegstrycket för en annan pump under dess högsta tillåtna förstegstryck.
4. Hållpump
En hållpump är en pump som inte effektivt kan använda huvudförstegspumpen när vakuumsystemets pumpkapacitet är mycket liten. Av denna anledning används en annan typ av hjälpförstegspump med lägre pumphastighet i vakuumsystemet för att upprätthålla huvudpumpens normala arbete eller för att bibehålla det låga tryck som krävs av den tömda behållaren.
5. Grov vakuumpump eller låg vakuumpump
Grov- eller lågvakuumpump är en vakuumpump som startar från luften och arbetar inom intervallet lågt eller grovt vakuumtryck efter att ha minskat trycket i den pumpade behållaren.
6. Högvakuumpump
Högvakuumpump avser en vakuumpump som arbetar i ett högvakuumområde.
7、Ultrahög vakuumpump
En ultrahög vakuumpump avser en vakuumpump som arbetar inom ultrahögt vakuumområde.
8. Boosterpump
Med boosterpump avses vanligtvis en vakuumpump som arbetar mellan en lågvakuumpump och en högvakuumpump för att öka pumpsystemets pumpkapacitet i mittentrycksområdet eller minska pumpbehovet för den förstnämnda pumpen.
Introduktion till jonrengöring
Plasmarengörare
1. Plasma är en joniserad gas där densiteten av positiva joner och elektroner är ungefär lika. Den består av joner, elektroner, fria radikaler och neutrala partiklar.
2. Det är materiens fjärde tillstånd. Eftersom plasma är en kombination av högre energi än gas, kan ämnet i plasmamiljön erhålla fler fysikalisk-kemiska och andra reaktionsegenskaper.
3. Plasmarengöringsmaskinens mekanism är att förlita sig på materialets "plasmatillstånd" och "aktiveringseffekt" för att ta bort ytfläckar.
4. Plasmarengöring är också den mest bottenlösa avrensningstypen av alla rengöringsmetoder. Den kan användas i stor utsträckning inom halvledar-, mikroelektronik-, COG-, LCD-, LCM- och LED-processer.
5. Precisionsrengöring före förpackning av enheter, vakuumelektronik, kontakter och reläer, solcellsindustrin, rengöring av ytor av plast, gummi, metall och keramik, etsningsbehandling, föraskningsbehandling, ytaktivering och andra områden inom biovetenskapliga experiment.
Publiceringstid: 7 november 2022