Habka kululaynta walxaha adag ee jawiga faakuumka sare si loo hooseeyo ama uumibaxo loona dhigo substrate gaar ah si loo helo filim khafiif ah waxaa loo yaqaanaa daahan uumiga vacuum (oo loo yaqaan daahan uumiga).
Taariikhda diyaarinta filimada khafiifka ah ee habka uumi-baxa vacuum waxaa dib loo raadin karaa ilaa 1850-kii. Sannadkii 1857kii, M. Farrar waxa uu bilaabay isku dayga dahaarka faakuumka isaga oo uumi ka saaray fiilooyinka birta ee nitrogen si uu u sameeyo filimo khafiif ah. Sababtoo ah tignoolajiyada faakuumka hooseeya ee wakhtigaas, diyaarinta filimada khafiifka ah ee habkan waxay ahayd mid aad u waqti badan oo aan waxtar lahayn. Ilaa 1930 kii bamka faafinta saliida waxaa la aasaasay nidaamka bamgareynta wadajirka ah ee bamka farsamada, tignoolajiyada faakuumku waxay noqon kartaa horumar degdeg ah, oo keliya si ay uumi-baxa iyo dahaadhka xajinta u noqoto tignoolajiyad wax ku ool ah.
In kasta oo uumiga faakuumku yahay tignoolajiyada kaydinta filimada khafiifka ah ee qadiimiga ah, laakiin waa shaybaadhka iyo meelaha warshadaha ee loo isticmaalo habka ugu caansan. Faa'iidooyinkeeda ugu muhiimsan waa hawlgal sahlan, xakamaynta sahlan ee xuduudaha dhigaalka iyo nadiifnimada sare ee filimada natiijada. Habka dahaarka faakuumka waxa loo qaybin karaa saddexda tallaabo ee soo socda.
1) Walaxda isha waa la kululeeyaa oo la dhalaaliyaa si ay u uumi-baxdo ama hoos u dhigto; 2) Uumiga ayaa laga saarayaa agabka isha si uu uumi u baxo ama hoos ugu dhaco.
2) Uumiga waxaa laga soo wareejiyaa agabka isha ilaa substrate-ka.
3) Uumiga wuxuu isku ururiyaa dusha sare si uu u sameeyo filim adag.
Uumi-baxa aflaanta khafiifka ah, guud ahaan waa filim polycrystalline ama filim amorphous ah, filim ilaa jasiiradda kobaca ayaa ah mid aad u sarreeya, iyada oo loo marayo nukleation iyo filim laba hab. Atomyada uumi-baxa (ama molecules) waxay isku dhacaan substrate-ka, qayb ka mid ah ku-xidhnaanta joogtada ah ee substrate-ka, qayb ka mid ah xayaysiinta ka dibna ka soo baxa substrate-ka, iyo qayb ka mid ah dib u milicsiga tooska ah ee dusha sare ee substrate. Ku dhajinta dusha sare ee atamka (ama molecules) dhaqdhaqaaqa kulaylka awgeed waxay u dhaqaaqi kartaa dusha sare, sida taabashada atamka kale waxay ku ururi doontaa rucubyo. Kooxuhu waxay u badan tahay inay ka dhacaan halka walbahaarka dusha sare ee substrate-ka uu sarreeyo, ama tallaabooyinka xallinta substrate-ka crystal, sababtoo ah tani waxay yaraynaysaa tamarta bilaashka ah ee atamka la isku dhejiyay. Tani waa habka nukliyeerka. Dhigista dheeraadka ah ee atamka (molecules) waxay keenaysaa balaadhinta rucubyada qaabaysan jasiiradda (nukliyeerka) ee kor lagu sheegay ilaa ay ka noqdaan filim joogto ah. Sidaa darteed, qaab-dhismeedka iyo sifooyinka filimaanta polycrystalline ee uumi-baxku waxay si dhow ula xiriiraan heerka uumiga iyo heerkulka substrate-ka. Guud ahaan, marka uu hooseeyo heerkulka substrate-ka, ayaa sarreeya heerka uumiga, ka sii fiican oo cufan hadhuudhka filimka.
–Maqaalkan waxa soo saaraysoo saaraha mashiinka daahan vacuumGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Mar-23-2024

