O le faʻagasologa o le faʻamafanafanaina o mea faʻamalosi i totonu o se siosiomaga gaogao maualuga e faʻapipiʻi pe faʻafefe ma teuina i luga o se mea faʻapitoa e maua ai se ata manifinifi e taʻua o le faʻafefe o le gaogao (e taʻua o le faʻafefe o le faʻafefe).
O le tala'aga o le sauniaina o ata manifinifi e ala i le fa'amama fa'amama e mafai ona fa'amauina i tua i le 1850's. I le 1857, na amata ai e M. Farrar le taumafai e faʻapipiʻi masini e ala i le faʻasaʻoina o uaea uʻamea i le nitrogen e fausia ai ni ata manifinifi. Ona o le maualalo o tekonolosi masini i lena taimi, o le sauniuniga o ata manifinifi i lenei auala na matua alu ai le taimi ma e le aoga. Seia oo i le 1930 suauu faʻasalalau pamu na faʻavaeina se masini faʻapipiʻi faʻapipiʻi faʻapipiʻi, o le masini masini e mafai ona vave atinaʻe, naʻo le faʻaogaina o le faʻamalo ma le sputtering e avea ma tekonolosi aoga.
E ui lava o le vacuum evaporation o se tekinolosi tuufua ata tifaga manifinifi, ae o le falesuesue ma nofoaga alamanuia faʻaaogaina i le auala sili ona taatele. O ona faʻamanuiaga autu o le faʻaogaina faigofie, faigofie le pulea o faʻamaufaʻailoga faʻapipiʻi ma maualuga le mama o ata e maua ai. E mafai ona vaevaeina le fa'agasologa o le fa'apipi'i gaogao i laasaga nei e tolu.
1) o le puna mea e faʻamafanafanaina ma faʻafefeteina e faʻafefe pe faʻafefe; 2) ua aveese le ausa mai le mea e maua mai ai ina ia faʻamama pe faʻafefe.
2) O le ausa e faʻafeiloaʻi mai le mea faʻapogai i le mea faʻapipiʻi.
3) O le ausa condenses i luga o substrate luga e fausia ai se ata tifaga malo.
Vacuum evaporation o ata manifinifi, e masani lava o polycrystalline ata tifaga po amorphous ata, ata tifaga i le motu tuputupu ae e pule, e ala i le nucleation ma ata tifaga e lua faiga. Atoma fa'asao (po'o mole) feto'ai ma le substrate, o se vaega o le pipii tumau i le substrate, vaega o le adsorption ona fa'amama ese lea o le substrate, ma se vaega o le ata sa'o i tua mai luga ole substrate. O le pipii i le pito i luga ole vaega o atoms (po'o mole mole) ona o le vevela e mafai ona gaoioi i luga o le fogaeleele, e pei o le paʻi atu i isi atoma o le a faʻaputuina i fuifui. E sili atu ona tupu fa'aputuga i le mea e maualuga ai le fa'amamafa i luga o le substrate, po'o luga ole la'asaga fofo o le mea tioata tioata, aua o lenei mea e fa'aitiitia ai le malosi saoloto o atoms adsorbed. O le fa'agasologa lea o le nucleation. O le fa'aputuina atili o atoma (mole) e mafua ai le fa'alauteleina o fuifui fa'a-motu (nuclei) o lo'o ta'ua i luga se'ia o'o ina fa'alautele i se ata fa'aauau. O le mea lea, o le fausaga ma meatotino o vacuum evaporated polycrystalline ata tifaga e vavalalata vavalalata ma le fua faatatau evaporation ma substrate vevela. I se tulaga masani, o le maualalo o le vevela o le substrate, o le maualuga lea o le fua o le fa'asao, o le sili atu ma le mafiafia o le saito ata.
–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Mati-23-2024