Oprema za izhlapevalni premaz je vrsta opreme, ki se uporablja za nanašanje tankoslojnih materialov na površino substrata in se pogosto uporablja na področju optičnih naprav, elektronskih naprav, dekorativnih premazov in tako naprej. Izhlapevalni premaz v glavnem uporablja visoko temperaturo za pretvorbo trdnih snovi v plinasto stanje, nato pa se nanaša na substrat v vakuumskem okolju. Načelo delovanja opreme za izhlapevalni premaz je naslednje:
Vakuumsko okolje:
Delo opreme za izhlapevalni premaz je treba izvajati v okolju visokega vakuuma, da se prepreči reakcija materiala s kisikom ali drugimi nečistočami v zraku med izhlapevanjem in da se zagotovi čistost nanesenega filma.
Vakuumska komora doseže zahtevano raven vakuuma z opremo, kot so mehanske črpalke in difuzijske črpalke.
Vir izhlapevanja:
Vir izhlapevanja je naprava, ki se uporablja za segrevanje in izhlapevanje premaznega materiala. Med pogoste vire izhlapevanja spadajo viri uporovnega segrevanja, viri izhlapevanja z elektronskim žarkom in viri laserskega izhlapevanja.
Uporovno segrevanje: segrevanje materiala z uporovno žico za njegovo izhlapevanje.
Izhlapevanje z elektronskim žarkom: uporaba elektronskega topa za oddajanje elektronskega žarka za neposredno segrevanje prevlečenega materiala, da ta izhlapi.
Lasersko izhlapevanje: obsevanje materiala z visokoenergijskim laserskim žarkom povzroči hitro izhlapevanje.
Postopek izhlapevanja:
Prevlečeni material se pod vplivom visoke temperature vira izhlapevanja pretvori iz trdnega ali tekočega stanja v plinasto stanje, pri čemer tvori paro.
Te molekule pare se prosto gibljejo v vakuumu in difundirajo v vse smeri.
Nanos filma:
Molekule pare med gibanjem naletijo na ohlajeno površino substrata, se kondenzirajo in odlagajo ter tvorijo tanek film.
Podlago je mogoče vrteti ali kako drugače enakomerno izpostaviti parnemu okolju, da se zagotovi enakomernost in konsistenca filma.
Hlajenje in strjevanje:
Po nanašanju se film ohladi in strdi na površini substrata, da tvori tanko plast filma s specifičnimi fizikalnimi in kemičnimi lastnostmi.
Področja uporabe
Optični premaz: Uporablja se za izdelavo antirefleksnih filmov, ogledal, filtrov in drugih optičnih komponent.
Elektronske naprave: uporabljajo se za izdelavo integriranih vezij, polprevodniških naprav, prikazovalnih naprav itd.
Dekorativni premazi: uporabljajo se za površinsko premazovanje okraskov, ur, nakita itd. za izboljšanje njihove estetike in odpornosti proti obrabi.
Funkcionalni premazi: uporabljajo se za izdelavo filmov s posebnimi funkcijami, kot so protikorozijska zaščita, protioksidacija in odpornost proti obrabi.
Zaradi visoke čistosti, enakomernosti in večfunkcionalnosti se tehnologija izhlapevalnega premazovanja pogosto uporablja v številnih visoko natančnih in zahtevnih aplikacijah.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko premazovanjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 23. julij 2024