Оборудование для нанесения покрытий методом испарения — это тип оборудования, используемого для нанесения тонкопленочных материалов на поверхность подложки, которое широко используется в областях оптических устройств, электронных устройств, декоративных покрытий и т. д. В основном для нанесения покрытий методом испарения используется высокая температура для преобразования твердых материалов в газообразное состояние, а затем они наносятся на подложку в условиях вакуума. Ниже приведен принцип работы оборудования для нанесения покрытий методом испарения:
Вакуумная среда:
Работа оборудования для нанесения покрытий методом испарения должна осуществляться в условиях высокого вакуума, чтобы предотвратить реакцию материала с кислородом или другими примесями в воздухе во время испарения и обеспечить чистоту нанесенной пленки.
Вакуумная камера обеспечивает необходимый уровень вакуума с помощью такого оборудования, как механические насосы и диффузионные насосы.
Источник испарения:
Источник испарения — это устройство, используемое для нагрева и испарения материала покрытия. Обычные источники испарения включают в себя источники резистивного нагрева, источники электронно-лучевого испарения и источники лазерного испарения.
Резистивный нагрев: нагревание материала через резистивную проволоку с целью его испарения.
Электронно-лучевое испарение: использование электронной пушки для испускания электронного луча с целью непосредственного нагревания покрытого материала и его испарения.
Лазерное испарение: облучайте материал высокоэнергетическим лазерным лучом, чтобы он быстро испарился.
Процесс испарения:
Покрытый материал под воздействием высокой температуры источника испарения переходит из твердого или жидкого состояния в газообразное, образуя пар.
Эти молекулы пара свободно движутся в вакуумной среде и диффундируют во всех направлениях.
Нанесение пленки:
Молекулы пара при движении сталкиваются с охлажденной поверхностью подложки, конденсируются и осаждаются, образуя тонкую пленку.
Подложку можно вращать или иным образом равномерно подвергать воздействию паровой среды, чтобы обеспечить однородность и консистенцию пленки.
Охлаждение и отверждение:
После осаждения пленка охлаждается и отверждается на поверхности подложки, образуя тонкий пленочный слой с определенными физическими и химическими свойствами.
Области применения
Оптическое покрытие: используется для изготовления антибликовых пленок, зеркал, фильтров и других оптических компонентов.
Электронные устройства: используются для производства интегральных схем, полупроводниковых приборов, устройств отображения информации и т. д.
Декоративные покрытия: используются для покрытия поверхностей украшений, часов, ювелирных изделий и т. д. с целью улучшения их эстетического вида и износостойкости.
Функциональные покрытия: используются для создания пленок со специальными функциями, такими как антикоррозионные, антиокислительные и износостойкие.
Благодаря высокой чистоте, однородности и многофункциональности технология нанесения покрытий методом испарения широко используется во многих высокоточных и востребованных приложениях.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 23 июля 2024 г.