د لوړ خلا چاپیریال کې د جامدو موادو د تودوخې پروسه ترڅو د تودوخې یا تبخیر لپاره یې په یو ځانګړي سبسټریټ کې زیرمه کړي ترڅو یو پتلی فلم ترلاسه کړي د خلا تبخیر کوټینګ (د تبخیر کوټینګ په نوم یادیږي) په نوم پیژندل کیږي.
د ویکیوم تبخیر پروسې له لارې د پتلو فلمونو د چمتو کولو تاریخ د ۱۸۵۰ لسیزې پورې اړه لري. په ۱۸۵۷ کې، ایم فارار د فلزي تارونو په نایتروجن کې د تبخیر کولو له لارې د ویکیوم کوټینګ هڅه پیل کړه ترڅو پتلي فلمونه جوړ کړي. په هغه وخت کې د ټیټ ویکیوم ټیکنالوژۍ له امله، پدې ډول د پتلو فلمونو چمتو کول ډیر وخت نیسي او عملي نه و. تر هغه چې په ۱۹۳۰ کې د تیلو د خپریدو پمپ د میخانیکي پمپ ګډ پمپ کولو سیسټم رامینځته شو، د ویکیوم ټیکنالوژي کولی شي ګړندی پرمختګ وي، یوازې د تبخیر او سپټرینګ کوټینګ عملي ټیکنالوژي شي.
که څه هم د خلا تبخیر د پتلي فلم د زیرمه کولو یوه لرغونې ټیکنالوژي ده، مګر دا په لابراتوار او صنعتي سیمو کې کارول کیږي چې په خورا عام میتود کې کارول کیږي. د دې اصلي ګټې ساده عملیات، د زیرمه کولو پیرامیټرو اسانه کنټرول او د پایله لرونکي فلمونو لوړ پاکوالی دي. د خلا کوټینګ پروسه په لاندې دریو مرحلو ویشل کیدی شي.
۱) د سرچینې مواد تودوخه کیږي او ویلې کیږي ترڅو تبخیر یا لوړ شي؛ ۲) بخار د سرچینې موادو څخه لرې کیږي ترڅو تبخیر یا لوړ شي.
۲) بخار د سرچینې موادو څخه سبسټریټ ته لیږدول کیږي.
۳) بخار د سبسټریټ په سطحه غلیظ کیږي او یو جامد پرده جوړوي.
د پتلو فلمونو خلا تبخیر، عموما پولی کریسټالین فلم یا بې شکله فلم دی، د فلم څخه ټاپو ته وده غالبه ده، د نیوکلیشن او فلم دوه پروسو له لارې. تبخیر شوي اتومونه (یا مالیکولونه) د سبسټریټ سره ټکر کوي، د سبسټریټ سره د دایمي ضمیمې یوه برخه، د جذب یوه برخه او بیا د سبسټریټ څخه تبخیر کیږي، او د مستقیم انعکاس یوه برخه د سبسټریټ سطح څخه بیرته. د تودوخې حرکت له امله د اتومونو (یا مالیکولونو) د سبسټریټ سطح سره چپکیدل کولی شي د سطحې په اوږدو کې حرکت وکړي، لکه د نورو اتومونو لمس کول به په کلسترونو کې راټول شي. کلسترونه ډیر احتمال لري چیرې چې د سبسټریټ سطح فشار لوړ وي، یا د کرسټال سبسټریټ د حل مرحلو کې، ځکه چې دا د جذب شوي اتومونو وړیا انرژي کموي. دا د نیوکلیشن پروسه ده. د اتومونو (مالیکولونو) نور جمع کول د پورته ذکر شوي ټاپو په شکل کلسترونو (نیوکلی) پراخیدو پایله لري تر هغه چې دوی په دوامداره فلم کې وغځول شي. له همدې امله، د ویکیوم تبخیر شوي پولی کریسټالین فلمونو جوړښت او ملکیتونه د تبخیر نرخ او سبسټریټ تودوخې سره نږدې تړاو لري. په عمومي ډول، څومره چې د سبسټریټ تودوخه ټیټه وي، د تبخیر کچه لوړه وي، د فلم دانې هومره نازک او ګڼې وي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: مارچ-۲۳-۲۰۲۴