Fordampningsbeleggsutstyr er en type utstyr som brukes til å avsette tynnfilmmaterialer på overflaten av substratet, og er mye brukt innen optiske enheter, elektroniske enheter, dekorative belegg og så videre. Fordampningsbelegg bruker hovedsakelig høy temperatur for å omdanne faste materialer til gassform, og deretter avsettes de på substratet under vakuum. Følgende er arbeidsprinsippet for fordampningsbeleggsutstyr:
Vakuummiljø:
Arbeidet med fordampningsbeleggsutstyr må utføres i et høyvakuummiljø for å forhindre at materialet reagerer med oksygen eller andre urenheter i luften under fordampning og for å sikre renheten til den avsatte filmen.
Vakuumkammeret oppnår det nødvendige vakuumnivået gjennom utstyr som mekaniske pumper og diffusjonspumper.
Fordampningskilde:
En fordampningskilde er en enhet som brukes til å varme opp og fordampe beleggmaterialet. Vanlige fordampningskilder inkluderer motstandsvarmekilder, elektronstrålefordampningskilder og laserfordampningskilder.
Motstandsoppvarming: oppvarming av materialet gjennom en motstandstråd for å fordampe det.
Elektronstrålefordampning: bruk av en elektronpistol til å sende ut en elektronstråle for å varme opp det belagte materialet direkte slik at det fordamper.
Laserfordampning: bestråle materialet med en høyenergilaserstråle for å få det til å fordampe raskt.
Fordampningsprosess:
Det belagte materialet omdannes fra fast eller flytende tilstand til gassformig tilstand under den høye temperaturen i fordampningskilden, og danner damp.
Disse dampmolekylene beveger seg fritt i et vakuummiljø og diffunderer i alle retninger.
Filmavsetning:
Dampmolekyler møter den avkjølte overflaten av substratet når de beveger seg, kondenserer og avsettes for å danne en tynn film.
Underlaget kan roteres eller på annen måte jevnt eksponeres for dampmiljøet for å sikre ensartethet og konsistens i filmen.
Avkjøling og herding:
Etter avsetning avkjøles filmen og herder på substratoverflaten for å danne et tynt filmlag med spesifikke fysiske og kjemiske egenskaper.
Bruksområder
Optisk belegg: Brukes til å lage antireflekterende filmer, speil, filtre og andre optiske komponenter.
Elektroniske enheter: brukes til å produsere integrerte kretser, halvlederenheter, skjermenheter osv.
Dekorative belegg: brukes til overflatebelegg av dekorasjoner, klokker, smykker osv. for å forbedre deres estetikk og slitestyrke.
Funksjonelle belegg: brukes til å lage filmer med spesielle funksjoner som antikorrosjon, antioksidasjon og slitestyrke.
Med sin høye renhet, ensartethet og multifunksjonalitet har fordampningsbeleggteknologi blitt mye brukt i mange høypresisjons- og høye etterspørselsapplikasjoner.
– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publisert: 23. juli 2024