Ytelsen til ulike vakuumpumper har andre forskjeller i tillegg til evnen til å pumpe vakuum til kammeret. Derfor er det svært viktig å avklare arbeidet pumpen utfører i vakuumsystemet når man velger, og rollen pumpen spiller i ulike arbeidsfelt er oppsummert som følger.
1. Å være hovedpumpen i systemet
Hovedpumpen er vakuumpumpen som direkte pumper det pumpekammeret i vakuumsystemet for å oppnå den vakuumgraden som kreves for å oppfylle prosesskravene.
2. Grov pumpepumpe
Grovpumpepumpen er vakuumpumpen som begynner å reduseres fra lufttrykket, og trykket fra vakuumsystemet når et annet pumpesystem som kan begynne å fungere.
3. Forstadiepumpe
En fortrinnspumpe er en vakuumpumpe som brukes til å holde fortrinnstrykket til en annen pumpe under dens høyeste tillatte fortrinnstrykk.
4. Holdepumpe
En holdepumpe er en pumpe som ikke effektivt kan bruke hovedforpumpen når vakuumsystemets pumping er svært liten. Av denne grunn brukes en annen type hjelpeforpumpe med lavere pumpehastighet i vakuumsystemet for å opprettholde hovedpumpens normale drift eller for å opprettholde det lave trykket som kreves av den tomme beholderen.
5. Grov vakuumpumpe eller lav vakuumpumpe
Grov- eller lavvakuumpumpe er en vakuumpumpe som starter fra luften og arbeider i området med lavt eller grovt vakuumtrykk etter å ha redusert trykket i den pumpede beholderen.
6. Høyvakuumpumpe
Høyvakuumpumpe refererer til vakuumpumper som arbeider i høyvakuumområdet.
7. Ultrahøy vakuumpumpe
Ultrahøy vakuumpumpe refererer til vakuumpumper som arbeider i et ultrahøyt vakuumområde.
8. Boosterpumpe
Boosterpumpe refererer vanligvis til vakuumpumpen som arbeider mellom lavvakuumpumpen og høyvakuumpumpen for å øke pumpekapasiteten til pumpesystemet i det middels trykkområdet eller redusere pumpehastighetsbehovet til den førstnevnte pumpen.
Introduksjon til ionrenser
Plasmarenser
1. Plasma er en ionisert gass der tettheten av positive ioner og elektroner er omtrent like. Den består av ioner, elektroner, frie radikaler og nøytrale partikler.
2. Det er materiens fjerde tilstand. Siden plasma er en kombinasjon av høyere energi enn gass, kan stoffet i plasmamiljøet oppnå flere fysisk-kjemiske og andre reaksjonsegenskaper.
3. Plasmarengjøringsmaskinens mekanisme er å stole på materialets "plasmatilstand" og "aktiveringseffekt" for å fjerne overflateflekker.
4. Plasmarensing er også den mest bunnløse strippemetoden blant alle rengjøringsmetoder. Den kan brukes mye i halvleder-, mikroelektronikk-, COG-, LCD-, LCM- og LED-prosesser.
5. Presisjonsrengjøring før emballering av enheter, vakuumelektronikk, kontakter og reléer, solcellepanelindustri, overflaterengjøring av plast, gummi, metall og keramikk, etsningsbehandling, askningsbehandling, overflateaktivering og andre felt innen biovitenskapelige eksperimenter.
Publisert: 07. november 2022