Il-proċess tat-tisħin ta' materjali solidi f'ambjent ta' vakwu għoli biex jiġu sublimati jew evaporati u depożitati fuq sottostrat speċifiku biex jinkiseb film irqiq huwa magħruf bħala kisi ta' evaporazzjoni bil-vakwu (imsejjaħ kisi ta' evaporazzjoni).
L-istorja tal-preparazzjoni ta' films irqaq permezz tal-proċess ta' evaporazzjoni bil-vakwu tista' tiġi rintraċċata lura għas-snin 1850. Fl-1857, M. Farrar beda l-attentat ta' kisi bil-vakwu billi evapora wajers tal-metall fin-nitroġenu biex jifforma films irqaq. Minħabba t-teknoloġija b'vakwu baxx dak iż-żmien, il-preparazzjoni ta' films irqaq b'dan il-mod kienet tieħu ħafna ħin u ma kinitx prattika. Sal-1930 ġiet stabbilita sistema ta' ppumpjar mekkaniku b'pompa tad-diffużjoni taż-żejt, it-teknoloġija tal-vakwu setgħet tiżviluppa malajr, biss biex il-kisi bl-evaporazzjoni u l-isputtering sar teknoloġija prattika.
Għalkemm l-evaporazzjoni bil-vakwu hija teknoloġija antika għad-depożizzjoni ta' film irqiq, hija l-aktar metodu komuni użat fil-laboratorju u fl-oqsma industrijali. Il-vantaġġi ewlenin tagħha huma tħaddim sempliċi, kontroll faċli tal-parametri tad-depożizzjoni u purità għolja tal-films li jirriżultaw. Il-proċess ta' kisi bil-vakwu jista' jinqasam fit-tliet passi li ġejjin.
1) il-materjal tas-sors jissaħħan u jiddewweb biex jevapora jew jissublima; 2) il-fwar jitneħħa mill-materjal tas-sors biex jevapora jew jissublima.
2) Il-fwar jiġi trasferit mill-materjal tas-sors għas-sottostrat.
3) Il-fwar jikkondensa fuq il-wiċċ tas-sottostrat biex jifforma film solidu.
L-evaporazzjoni bil-vakwu ta' films irqaq, ġeneralment ikunu film polikristallin jew film amorfu, it-tkabbir tal-film għal gżira huwa dominanti, permezz tan-nukleazzjoni u żewġ proċessi ta' film. L-atomi (jew molekuli) evaporati jaħbtu mas-sottostrat, parti mit-twaħħil permanenti mas-sottostrat, parti mill-assorbiment u mbagħad jevaporaw mis-sottostrat, u parti mir-riflessjoni diretta lura mill-wiċċ tas-sottostrat. L-adeżjoni mal-wiċċ tas-sottostrat tal-atomi (jew molekuli) minħabba moviment termali tista' tiċċaqlaq tul il-wiċċ, bħal meta jmissu atomi oħra jakkumulaw fi gruppi. Il-gruppi huma l-aktar probabbli li jseħħu fejn l-istress fuq il-wiċċ tas-sottostrat huwa għoli, jew fuq il-passi ta' solvatazzjoni tas-sottostrat tal-kristall, għaliex dan jimminimizza l-enerġija ħielsa tal-atomi assorbiti. Dan huwa l-proċess ta' nukleazzjoni. Depożizzjoni ulterjuri ta' atomi (molekuli) tirriżulta fl-espansjoni tal-gruppi (nuklei) f'forma ta' gżira msemmija hawn fuq sakemm jiġu estiżi f'film kontinwu. Għalhekk, l-istruttura u l-proprjetajiet tal-films polikristallini evaporati bil-vakwu huma relatati mill-qrib mar-rata ta' evaporazzjoni u t-temperatura tas-sottostrat. Ġeneralment, iktar ma tkun baxxa t-temperatura tas-sottostrat, iktar tkun għolja r-rata ta' evaporazzjoni, iktar ikun fin u dens il-qamħ tal-film.
–Dan l-artiklu ġie ppubblikat minnmanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwuGuangdong Zhenhua
Ħin tal-posta: 23 ta' Marzu 2024