Peralatan salutan penyejatan adalah sejenis peralatan yang digunakan untuk mendepositkan bahan filem nipis pada permukaan substrat, yang digunakan secara meluas dalam bidang peranti optik, peranti elektronik, salutan hiasan dan sebagainya. Salutan penyejatan terutamanya menggunakan suhu tinggi untuk menukar bahan pepejal kepada keadaan gas, dan kemudian didepositkan ke substrat di bawah persekitaran vakum. Berikut adalah prinsip kerja peralatan salutan penyejatan:
Persekitaran vakum:
Kerja peralatan salutan penyejatan perlu dijalankan dalam persekitaran vakum yang tinggi untuk mengelakkan bahan daripada bertindak balas dengan oksigen atau kekotoran lain di udara semasa penyejatan dan untuk memastikan ketulenan filem yang dimendapkan.
Ruang vakum mencapai tahap vakum yang diperlukan melalui peralatan seperti pam mekanikal dan pam resapan.
Sumber penyejatan:
Sumber penyejatan ialah peranti yang digunakan untuk memanaskan dan menyejat bahan salutan. Sumber penyejatan biasa termasuk sumber pemanasan rintangan, sumber penyejatan rasuk elektron dan sumber penyejatan laser.
Pemanasan rintangan: memanaskan bahan melalui wayar rintangan untuk menguapkannya.
Penyejatan rasuk elektron: menggunakan pistol elektron untuk memancarkan rasuk elektron untuk terus memanaskan bahan bersalut untuk menjadikannya sejat.
Penyejatan laser: menyinari bahan dengan pancaran laser tenaga tinggi untuk menjadikannya menyejat dengan cepat.
Proses penyejatan:
Bahan bersalut diubah daripada keadaan pepejal atau cecair kepada keadaan gas di bawah suhu tinggi sumber penyejatan, membentuk wap.
Molekul wap ini bergerak bebas dalam persekitaran vakum dan meresap ke semua arah.
Pemendapan filem:
Molekul wap menemui permukaan substrat yang disejukkan semasa ia bergerak, terpeluwap dan memendap untuk membentuk filem nipis.
Substrat boleh diputar atau sebaliknya terdedah secara seragam kepada persekitaran wap untuk memastikan keseragaman dan konsistensi filem.
Penyejukan dan Pengawetan:
Selepas pemendapan, filem menyejukkan dan menyembuhkan pada permukaan substrat untuk membentuk lapisan filem nipis dengan sifat fizikal dan kimia tertentu.
Bidang Permohonan
Salutan Optik: Digunakan untuk membuat filem anti-reflektif, cermin, penapis dan komponen optik lain.
Peranti elektronik: digunakan untuk mengeluarkan litar bersepadu, peranti semikonduktor, peranti paparan, dsb.
Salutan hiasan: digunakan untuk salutan permukaan hiasan, jam tangan, barang kemas, dll. untuk meningkatkan estetika dan rintangan hausnya.
Salutan berfungsi: digunakan untuk membuat filem dengan fungsi khas seperti anti-karat, anti-pengoksidaan dan rintangan haus.
Dengan ketulenan yang tinggi, keseragaman dan pelbagai fungsi, teknologi salutan penyejatan telah digunakan secara meluas dalam banyak aplikasi berketepatan tinggi dan permintaan tinggi.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengilang mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: Jul-23-2024