Дулааны ууршуулагч бүрэх системийн ажлын зарчим

Ууршуулах бүрэх төхөөрөмж нь оптик төхөөрөмж, электрон төхөөрөмж, гоёл чимэглэлийн бүрээс гэх мэт салбарт өргөн хэрэглэгддэг субстратын гадаргуу дээр нимгэн хальсан материалыг хуримтлуулах зориулалттай нэг төрлийн төхөөрөмж юм. Ууршуулах бүрхүүл нь хатуу материалыг хийн төлөвт хувиргахад ихэвчлэн өндөр температурыг ашигладаг бөгөөд дараа нь вакуум орчинд субстрат дээр хадгалдаг. Ууршуулах бүрэх төхөөрөмжийн ажиллах зарчим нь дараах байдалтай байна.

Вакуум орчин:
Ууршилтын үед материалыг агаар дахь хүчилтөрөгч болон бусад хольцтой урвалд оруулахаас сэргийлж, хуримтлагдсан хальсны цэвэр байдлыг хангахын тулд ууршуулах бүрэх төхөөрөмжийн ажлыг өндөр вакуум орчинд хийх шаардлагатай.
Вакуум камер нь механик шахуурга, диффузын насос зэрэг тоног төхөөрөмжөөр дамжуулан шаардлагатай вакуум түвшинд хүрдэг.
Ууршилтын эх үүсвэр:
Ууршилтын эх үүсвэр нь бүрэх материалыг халаах, ууршуулах төхөөрөмж юм. Ууршилтын нийтлэг эх үүсвэрт эсэргүүцлийн халаалтын эх үүсвэр, электрон цацрагийн ууршилтын эх үүсвэр, лазерын ууршилтын эх үүсвэр орно.
Эсэргүүцлийн халаалт: материалыг эсэргүүцэх утсаар халааж ууршуулна.
Электрон цацрагийн ууршилт: бүрсэн материалыг шууд халааж, ууршуулахын тулд электрон туяа ялгаруулахын тулд электрон буу ашиглана.
Лазер ууршилт: материалыг өндөр энергитэй лазер туяагаар цацруулж хурдан ууршуулна.
Ууршилтын процесс:
Бүрсэн материал нь ууршилтын эх үүсвэрийн өндөр температурт хатуу эсвэл шингэн төлөвөөс хийн төлөвт шилжиж, уур үүсгэдэг.
Эдгээр уурын молекулууд вакуум орчинд чөлөөтэй хөдөлж, бүх чиглэлд тархдаг.
Киноны зураглал:
Уурын молекулууд нь хөдөлж, өтгөрч, нимгэн хальс үүсгэх үед субстратын хөргөсөн гадаргуутай тулгардаг.
Киноны жигд, тууштай байдлыг хангахын тулд субстратыг эргүүлэх эсвэл уурын орчинд жигд байлгах боломжтой.
Хөргөх ба хатууруулах:
Тунадасжсаны дараа хальс нь хөргөж, субстратын гадаргуу дээр хатуурч, физик, химийн өвөрмөц шинж чанартай нимгэн хальс үүсгэдэг.
Хэрэглээний талбарууд
Оптик бүрээс: Цацруулахаас хамгаалах хальс, толь, шүүлтүүр болон бусад оптик эд ангиудыг хийхэд ашигладаг.
Цахим төхөөрөмж: нэгдсэн хэлхээ, хагас дамжуулагч төхөөрөмж, дэлгэцийн төхөөрөмж гэх мэтийг үйлдвэрлэхэд ашигладаг.
Чимэглэлийн бүрээс: гоёл чимэглэл, цаг, үнэт эдлэл гэх мэт гадаргууг бүрэхийн тулд гоо зүй, элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг сайжруулахад ашигладаг.
Функциональ бүрээс: зэврэлтээс хамгаалах, исэлдэлтээс хамгаалах, элэгдэлд тэсвэртэй гэх мэт тусгай функц бүхий хальс хийхэд ашигладаг.
Өндөр цэвэршилттэй, жигд, олон үйлдэлтэй тул ууршуулах бүрэх технологи нь өндөр нарийвчлалтай, өндөр эрэлт хэрэгцээтэй олон төрлийн хэрэглээнд өргөн хэрэглэгддэг.

-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэлГуандун Жэнхуа