Хатуу материалыг өндөр вакуум орчинд халааж, сублиматжуулах буюу ууршуулж, тодорхой субстрат дээр буулгаж, нимгэн хальс авах үйл явцыг вакуум ууршуулах бүрхүүл (ууршилтын бүрээс гэж нэрлэдэг) гэж нэрлэдэг.
Вакуум ууршилтын аргаар нимгэн хальс бэлтгэсэн түүхийг 1850-иад оноос харж болно. 1857 онд М.Фаррар металл утсыг азотод ууршуулж, нимгэн хальс үүсгэх замаар вакуум бүрэх оролдлого хийжээ. Тухайн үед вакуум технологи багатай байсан тул ийм аргаар нимгэн хальс бэлтгэх нь маш их цаг хугацаа шаардсан бөгөөд практикт нийцдэггүй байв. 1930 он хүртэл газрын тосны диффузын насос нь механик шахуургын үе мөчний шахуургын систем бий болсон бөгөөд вакуум технологи нь хурдацтай хөгжиж, зөвхөн ууршилт, шүрших бүрээсийг практик технологи болгох боломжтой юм.
Хэдийгээр вакуум ууршилт нь нимгэн хальсан дээр буулгах эртний технологи боловч хамгийн түгээмэл арга нь лаборатори, үйлдвэрлэлийн газар юм. Үүний гол давуу тал нь энгийн ажиллагаа, тунадасжилтын параметрүүдийг хялбар хянах, үүссэн хальсны өндөр цэвэршилт юм. Вакуум бүрэх үйл явцыг дараах гурван үе шатанд хувааж болно.
1) эх материалыг халааж, хайлуулж, ууршуулах буюу сублимат болгох; 2) ууршуулах буюу сублиматжуулахын тулд эх материалаас уурыг зайлуулна.
2) Уур нь эх материалаас субстрат руу шилждэг.
3) Уур нь субстратын гадаргуу дээр өтгөрч, хатуу хальс үүсгэдэг.
Нимгэн хальсыг вакуум ууршуулах нь ерөнхийдөө поликристал хальс эсвэл аморф хальс бөгөөд цөм, хальс хоёр процессоор арлууд руу ургах нь давамгайлдаг. Ууршсан атомууд (эсвэл молекулууд) субстраттай мөргөлдөж, субстраттай байнгын бэхэлгээний хэсэг, шингээлтийн хэсэг, дараа нь субстратаас ууршдаг ба субстратын гадаргуугаас шууд тусгах хэсэг. Дулааны хөдөлгөөний улмаас атомуудын (эсвэл молекулуудын) субстратын гадаргууд наалдсан нь гадаргуугийн дагуу хөдөлж, жишээлбэл, бусад атомуудад хүрч бөөгнөрөх болно. Кластерууд нь субстратын гадаргуу дээрх ачаалал ихтэй газар эсвэл болор субстратын уусмалын үе шатууд дээр үүсдэг, учир нь энэ нь шингээгдсэн атомуудын чөлөөт энергийг багасгадаг. Энэ бол бөөмжих процесс юм. Цаашид атомууд (молекулууд) хуримтлагдах нь дээр дурдсан арал хэлбэртэй бөөгнөрөл (цөм) нь тасралтгүй хальс болж өргөжих хүртэл тэлэхэд хүргэдэг. Тиймээс вакуум ууршуулсан поликристал хальсны бүтэц, шинж чанар нь ууршилтын хурд ба субстратын температуртай нягт холбоотой байдаг. Ерөнхийдөө субстратын температур бага байх тусам ууршилт ихсэх тусам хальс нь илүү нарийн, нягт болно.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 3-р сарын 23-ны хооронд