Услови за обложување на шупливи катодни јони

За палење на шупливата катодна лак светилка се потребни следните услови:

1. Шуплив катоден пиштол направен од танталова цевка е инсталиран на ѕидот на комората за обложување и може да се користи за емитување на проток на топли електрони. Внатрешниот дијаметар на рамната цевка е φ 6 ~ φ 15 mm, со дебелина на ѕидот од 0,8-2 mm.

1. Напојувањето е составено од паралелно напојување за стартување на лакот и напојување за одржување на лакот. Напонот на напојувањето за активирање на лакот е 800-1000V, а струјата на активирање на лакот е 30-50A; напонот на лакот е 40-70V, а струјата на лакот е 80-300A.

Процесот на празнење на шуплив катоден лак го следи процесот на конвертирање од абнормално празнење на сјај во празнење на лак во „кривата на карактеристична волт ампер“. Прво, потребно е напојување кое ќе обезбеди почетен напон од 800 V за да генерира празнење на сјај во танталовата цевка. Јоните на аргон со висока густина во внатрешноста на танталовата цевка ја бомбардираат и ја загреваат цевката до температура каде што се емитуваат топли електрони, што резултира со голема количина на проток на плазма електрони и ненадејно зголемување на струјата на шупливиот катоден лак. Потоа, потребно е и напојување со висока струја за одржување на празнењето на лак. Процесот на конвертирање од празнење на сјај во празнење на лак е автоматски, па затоа е потребно да се конфигурира напојување кое може да произведува и висок напон и висока струја.

Ако овие два барања се концентрирани на еден извор на енергија, секундарниот излезен крај на трансформаторот за енергија мора да биде намотан со многу дебели жици за многу намотки за да се произведе висок напон и висока струја, што ќе биде голем извор на енергија. По години на подобрување, можно е да се паралелизира мал извор на напојување со лачно стартување со извор на лачно напојување за одржување. Напојувањето со лачно стартување користи тенки жици за намотување на повеќе намотки, што може да произведе висок напон од 800V за палење на танталови цевки и генерирање на сјајно празнење; Напојувањето со лачно напојување може да произведе десетици волти и стотици ампери струја со намотување на дебела жица со помалку намотки за да се одржи стабилноста на шупливото катодно лачно празнење. Поради паралелното поврзување на два извора на енергија на танталови цевки, за време на процесот на конвертирање од абнормално сјајно празнење во лачно празнење, двата извора на енергија автоматски ќе се поврзат и ќе се префрлат од висок напон и ниска струја на низок напон и висока струја.

1. Брзо прилагодете го нивото на вакуум. Нивото на вакуум за сјајно празнење во танталови цевки е околу 100Pa, а наталожената филмска структура под такви услови на низок вакуум е неизбежно груба. Затоа, по палењето на лачното празнење, потребно е веднаш да се намали количината на проток на воздух и брзо да се прилагоди нивото на вакуум на 8×10-1~2Pa за да се добие фина почетна филмска структура.

1. Грамофонот на обработуваниот дел е инсталиран околу комората за обложување, при што обработуваниот дел е поврзан со негативниот пол на напојувањето со пристрасност, а вакуумската комора е поврзана со позитивниот пол. Поради високата густина на струјата на шупливиот катоден лак, пристрасниот напон на јонски обложеното обработуван дел не мора да достигне 1000V, обично 50-200V.

5. Поставете фокусирачка електромагнетна намотка околу колапсот на Gan, а електромагнетното поле генерирано со примена на струја на намотката може да го фокусира електронскиот зрак во центарот на металната ингота, зголемувајќи ја густината на моќноста на електронскиот проток.