Nga taonga plasma
Ko te ahua o te plasma i roto i te whakahekenga kohu matū kua whakarei ake i te plasma ko te whakawhirinaki ki te kaha o te hiko o nga irahiko i roto i te plasma hei whakahohe i nga tauhohenga matū i te wahanga hau.I te mea ko te plasma he kohinga katote, irahiko, ngota ngota me te ngota ngota, he koretake te hiko i te taumata macroscopic.I roto i te plasma, he nui te nui o te kaha kei te rongoa i roto i te kaha o roto o te plasma.I wehea te plasma ki te plasma wera me te plasma makariri.i roto i te punaha PECVD he plasma makariri i hangaia e te whakaheke hau pehanga iti.Ko tenei plasma i puta mai i te whakahekenga iti o te pehanga i raro i te rau Pa, he plasma hau kore-equilibrium.
Ko te ahua o tenei plasma e whai ake nei:
(1)Ko te nekehanga waiariki kohikohiko o nga irahiko me nga katote ka nui ake i to raatau nekehanga.
(2) Ko te nuinga o tana tukanga ionization na te tukinga o nga irahiko tere me nga ngota hau.
(3) Ko te 1 ki te 2 ota te nui o te kaha o te nekehanga wera o nga irahiko he teitei ake i tera o nga matūriki taumaha, penei i te ngota ngota, te ngota, te katote me nga rauropi kore utu.
(4) Ko te ngaronga o te kaha i muri i te tukinga o nga irahiko me nga matūriki taumaha ka taea te utu mai i te papa hiko i waenga i nga tukinga.
He uaua ki te tohu i te plasma kore-kore-te-iti me te iti o nga tawhā, no te mea he iti-te-mahana-kore te plasma i roto i te punaha PECVD, kei te kore te pāmahana irahiko Te e rite ki te pāmahana Tj o nga matūriki taumaha.I roto i te hangarau PECVD, ko te mahi tuatahi o te plasma ko te whakaputa i nga katote hohe matū me nga tuuroro-kore.Ka tauhohe enei katote me nga katote-kore ki etahi atu katote, ngota me te ngota i roto i te wahanga hau, ka pakaru ranei te kurupae me nga tauhohenga matū i runga i te mata o te tïpako, a, ko te tukunga o nga rauemi hohe he mahi o te kiato irahiko, te kukū tauhohenga me te whakarea tuku.I etahi atu kupu, ko te tukunga o nga mea hohe e whakawhirinaki ana ki te kaha o te waahi hiko, te pehanga hau, me te awhe noa o nga matūriki i te wa o te tukinga.I te mea ka wehe te hau reactant i roto i te plasma na te tukinga o nga irahiko hiko teitei, ka taea te aukati i te aukati whakahohenga o te tauhohenga matū ka taea te whakaheke i te pāmahana o te hau reactant.Ko te rereketanga nui i waenga i te PECVD me te CVD tikanga he rereke nga maataapono thermodynamic o te tauhohenga matū.Ko te wehenga o nga ngota hau i roto i te plasma he kore-whiriwhiri, no reira ko te paparanga kiriata i whakatakotoria e te PECVD he rereke ke atu i te CVD tikanga.Ko te hanganga o te wahanga i hangaia e te PECVD he ahurei kore-taurite, a kua kore e whakawhäitihia te hanga e nga kinetics taurite.Ko te paparanga kiriata tino ahua he ahua amorphous.
Ko nga waahanga mo te PECVD
(1) He iti te pāmahana waipara.
(2) Whakaitihia te ahotea o roto na te kore o te tauritenga o te whakarea roha raina o te papanga / turanga.
(3) He tino teitei te tere o te whakaheke, ina koa ko te iti o te pāmahana, he pai ki te whiwhi kiriata amorphous me te microcrystalline.
Na te iti o te pāmahana o te PECVD, ka taea te whakaheke i te kino o te waiariki, te whakamaaramatanga me te tauhohenga i waenga i te paparanga kiriata me nga taputapu taputapu ka taea te whakaheke, me etahi atu, kia taea ai te whakakikorua i nga waahanga hiko i mua i te hanga, na te hiahia ranei. mo te mahi ano.Mo te hanga i nga waahanga hiko-nui-nui (VLSI, ULSI), kua pai te tono hangarau PECVD ki te hanga o te kiriata nitride silicon (SiN) hei kiriata whakamarumaru whakamutunga i muri i te hanganga o te waea hiko Al, me te papatahi me te te hanganga o te kiriata waikura silicon hei whakamaarama interlayer.Hei taputapu kiriata angiangi, kua pai te tono hangarau PECVD ki te hanga i nga transistors kiriata angiangi (TFT) mo nga whakaaturanga LCD, me etahi atu, ma te whakamahi i te karaihe hei taputapu i roto i te tikanga matrix hohe.Na te whanaketanga o nga iahiko whakauru ki te tauine nui ake me te whakauru teitei ake me te whakamahi whanui i nga taputapu semiconductor pūhui, me mahi te PECVD i te iti o te pāmahana me te teitei o nga tukanga hiko hiko.Hei whakatutuki i tenei whakaritenga, me whakawhanake nga hangarau ka taea te whakahiato i nga kiriata papatahi teitei ake i te pāmahana iti.Ko nga kiriata SiN me te SiOx kua tino akohia ma te whakamahi i te plasma ECR me te hangarau hou (PCVD) hangarau hou me te plasma helical, a kua eke ki te taumata whaihua ki te whakamahi i nga kiriata whakamaarama interlayer mo nga waahanga whakauru nui, me era atu.
Te wa tuku: Noema-08-2022